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本实用新型提供一种光刻机的不间断放料设备，包括带式输送机构，所述带式输送机构上端左侧边缘位置固定连接矩形盒，所述矩形盒上端后侧边缘位置固定连接U型定位板，所述矩形盒前端上侧边缘位置转动连接平板，所述矩形盒前端固定连接U型支撑架且U型支撑架处...
该专利属于江苏微影半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏微影半导体有限公司授权不得商用。

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