具有InP衬底的光半导体装置制造方法及图纸

技术编号:3313199 阅读:203 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术针对通常情况下成为p型传导但载流子浓度仅得到小于1×10↑[17]cm↑[-3]的值这样的材料,提供得到大于等于1×10↑[17]cm↑[-3]的高p型载流子浓度的结构,进而,提供发光特性等特性良好、可靠性也高、长寿命的半导体光学元件和装置。作为解决方法,在InP衬底上作为在与InP衬底晶格匹配的主层Mg↓[0.5]Zn↓[0.29]Cd↓[0.21]Se层(10ML(原子层)厚度)之间插入ZnSe↓[0.53]Te↓[0.47]层(2ML)作为插入的特定层,通过以适度间隔插入单层的、大于等于10↑[18]cm↑[-3]的充分的载流子浓度这样的特定层,在以往仅得到小于1×10↑[17]cm↑[-3]这样的材料中全体结晶得到大于等于1×10↑[17]cm↑[-3]的充分的空穴浓度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及具有InP衬底的光半导体装置,主要涉及具有在由II族元素和VI族元素构成的化合物半导体中,通过向具有宽带隙但难以高浓度掺杂的半导体包覆层等中插入可以得到p型高载流子浓度的半导体层,能够得到充分的(大于等于1×1017cm-3)p型载流子浓度和宽带隙的p型包覆层等的光半导体装置。另外,本专利技术还涉及使用了上述方法的p型包覆层的半导体激光二极管(LD)、发光二极管(LED)、光敏元件(PD)等光学元件,其适宜用于光学装置中。
技术介绍
在可见光至紫外光区域发光的半导体器件即半导体激光或发光二极管,在光信息记录装置(压缩光盘(CD)、数字多功能光盘(DVD)、蓝光光盘(BD))、彩色显示装置用的光源、固体激光激发用、加工用、传感器用、测定仪用、医疗用或者白色灯用等现代社会/产业界正成为重要的半导体器件之作为这些光学元件的半导体材料,迄今为止,在780nm、808nm、860nm、915nm、980nm波段等的红外光器件中使用了AlGa(In)As III-V族化合物。发光波长为600nm波段(特别是635~670nm)的红色光器件中使用AlGaInP III-V族化合物本文档来自技高网...

【技术保护点】
光半导体装置,其特征在于,在InP衬底上具有n型包覆层、活性层和p型包覆层,所述p型包覆层具有第1层和第2层,作为所述第1层使用下面的(a)~(e)中的至少一种,(a)MgZnCdSe层,(b)具有MgSe层和ZnCdSe层 的超晶格,(c)具有MgZnSeTe、BeZnCdSe或BeZnSeTe中的至少一种的层,(d)使用具有MgSe层和ZnSe层的超晶格,包括在所述MgSe层含有Be、Zn或Te中的至少一种的情况,也包括在所述ZnSe层含有B e、Cd、Mg或Te中的至少一种的情况,(e)作为所述第1层使用Ⅱ-Ⅵ族材料,所述Ⅱ族材...

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:岸野克巳野村一郎玉村好司中村均
申请(专利权)人:株式会社日立制作所学校法人上智学院索尼株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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