一种晶圆棒中实石英焊接治具制造技术

本实用新型专利技术提供一种晶圆棒中实石英焊接治具，用于对于中实石英进行固定，方便其与石墨进行焊接；包括固定底座，石英固定组件和石英管；所述固定底座所述固定底座呈直角设置，承载石英管及石英固定组件；所述石英固定组件包括设置在所述固定底座顶部的定位块，设置在所述固定底座垂直面的快速压板及固定在所述固定底座水平面的石英支撑座；所述定位块和快速压板配合将所述石英管固定在所述固定底座的垂直面上；所述石英支撑座支撑所述石英管的端部；所述固定底座的水平面上还设置有石墨；所述石墨设置在所述石英管的正下方；本实用新型专利技术的有益效果：可实现定位准确、防震动、操作简单，能严格保证并提高焊接时的精度；同时也防止因温度高伤到人。止因温度高伤到人。止因温度高伤到人。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆棒中实石英焊接治具


[0001]本技术主要涉及半导体晶元焊接治具
，尤其涉及一种晶圆棒中实石英焊接治具。

技术介绍

[0002]随着科学技术的飞速发展，石英在半导体设备中起到桥梁作用，但是石英的生产、焊接技术主要有国外控制。目前现有技术在焊接石英时，都是由人工拿着焊接，质量的好坏，都取决于操作人员的技术，且焊接时会遇到以下几个问题：1、焊接温度高达1750度容易伤到人。2、焊接精度低。3、容易破损等一系列问题。

技术实现思路

[0003]针对现有技术的上述缺陷，本技术提供一种晶圆棒中实石英焊接治具，用于对于中实石英进行固定，方便其与石墨进行焊接。
[0004]本技术提供一种晶圆棒中实石英焊接治具，包括固定底座9，石英固定组件和石英管2；
[0005]所述固定底座9呈直角设置，承载石英管2及石英固定组件；
[0006]所述石英固定组件包括设置在所述固定底座9顶部的定位块1，设置在所述固定底座9垂直面的快速压板5及固定在所述固定底座9水平面的石英支撑座3；所述定位块1和快速压板5配合将所述石英管2固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆棒中实石英焊接治具，包括固定底座(9)，石英固定组件和石英管(2)；其特征在于，所述固定底座(9)呈直角设置，承载石英管(2)及石英固定组件；所述石英固定组件包括设置在所述固定底座(9)顶部的定位块(1)，设置在所述固定底座(9)垂直面的快速压板(5)及固定在所述固定底座(9)水平面的石英支撑座(3)；所述定位块(1)和快速压板(5)配合将所述石英管(2)固定在所述固定底座(9)的垂直面上；所述石英支撑座(3)支撑所述石英管(2)的端部；所述固定底座(9)的水平面上还设置有石墨(4)；所述石墨(4)设置在所述石英管(2)的正下方。2.根据权利要求1所述的晶圆棒中实石英焊接治具，其特征在于：还包括固定板(8)；所述固定板(8)固定在所述固定底座(9)的垂直面上；所述快速压板(5)设置在所述固定板(8)上。3.根据权利要求2所...

【专利技术属性】
技术研发人员：程宪良，刘刚，
申请(专利权)人：无锡诺莱德智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：