一种晶圆棒中实石英焊接治具制造技术

本实用新型专利技术提供一种晶圆棒中实石英焊接治具，用于对于中实石英进行固定，方便其与石墨进行焊接；包括固定底座，石英固定组件和石英管；所述固定底座所述固定底座呈直角设置，承载石英管及石英固定组件；所述石英固定组件包括设置在所述固定底座顶部的定位块，设置在所述固定底座垂直面的快速压板及固定在所述固定底座水平面的石英支撑座；所述定位块和快速压板配合将所述石英管固定在所述固定底座的垂直面上；所述石英支撑座支撑所述石英管的端部；所述固定底座的水平面上还设置有石墨；所述石墨设置在所述石英管的正下方；本实用新型专利技术的有益效果：可实现定位准确、防震动、操作简单，能严格保证并提高焊接时的精度；同时也防止因温度高伤到人。止因温度高伤到人。止因温度高伤到人。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆棒中实石英焊接治具


[0001]本技术主要涉及半导体晶元焊接治具
，尤其涉及一种晶圆棒中实石英焊接治具。

技术介绍

[0002]随着科学技术的飞速发展，石英在半导体设备中起到桥梁作用，但是石英的生产、焊接技术主要有国外控制。目前现有技术在焊接石英时，都是由人工拿着焊接，质量的好坏，都取决于操作人员的技术，且焊接时会遇到以下几个问题：1、焊接温度高达1750度容易伤到人。2、焊接精度低。3、容易破损等一系列问题。

技术实现思路

[0003]针对现有技术的上述缺陷，本技术提供一种晶圆棒中实石英焊接治具，用于对于中实石英进行固定，方便其与石墨进行焊接。
[0004]本技术提供一种晶圆棒中实石英焊接治具，包括固定底座9，石英固定组件和石英管2；
[0005]所述固定底座9呈直角设置，承载石英管2及石英固定组件；
[0006]所述石英固定组件包括设置在所述固定底座9顶部的定位块1，设置在所述固定底座9垂直面的快速压板5及固定在所述固定底座9水平面的石英支撑座3；所述定位块1和快速压板5配合将所述石英管2固定在所述固定底座9的垂直面上；所述石英支撑座3支撑所述石英管2的端部；
[0007]所述固定底座9的水平面上还设置有石墨4；所述石墨4设置在所述石英管2的正下方。
[0008]优选的，还包括固定板8；所述固定板8固定在所述固定底座9的垂直面上；所述快速压板5设置在所述固定板8上。
[0009]优选的，还包括压板座7；所述压板座7固定设置在所述固定板8上；所述压板座7上还设置有弧形凹面；所述快速压板5与所述压板座7配合固定石英管2。
[0010]优选的，所述快速压板5和压板座7均设置有两组，分别设置在所述固定板8的两端。
[0011]优选的，所述石英支撑座3设置有三个，以石英管2为圆心呈圆周均布。
[0012]优选的，还包括有定位销6；所述定位销6固定在所述固定底座9的水平面上，与石英支撑座3配合。
[0013]优选的，所述定位块1卡嵌设置在所述固定板8的顶端。
[0014]本技术的有益效果：可实现定位准确、防震动、操作简单，能严格保证并提高焊接时的精度。同时也防止因温度高伤到人。
附图说明
[0015]图1为本技术结构示意图；
[0016]图中，
[0017]1、定位块；2、石英管；3、石英支撑座；4、石墨；5、快速压板；6、定位销；7、压板座；8、固定板；9、固定底座。
具体实施方式
[0018]下面结合附图对本实用进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本技术的保护范围有任何的限制作用。
[0019]本技术提供一种晶圆棒中实石英焊接治具，包括固定底座9，石英固定组件和石英管2；
[0020]所述固定底座9呈直角设置，承载石英管2及石英固定组件；
[0021]所述石英固定组件包括设置在所述固定底座9顶部的定位块1，设置在所述固定底座9垂直面的快速压板5及固定在所述固定底座9水平面的石英支撑座3；所述定位块1和快速压板5配合将所述石英管2固定在所述固定底座9的垂直面上；所述石英支撑座3支撑所述石英管2的端部；
[0022]所述固定底座9的水平面上还设置有石墨4；所述石墨4设置在所述石英管2的正下方。
[0023]本实施例中优选的，还包括固定板8；所述固定板8固定在所述固定底座9的垂直面上；所述快速压板5设置在所述固定板8上。
[0024]本实施例中优选的，还包括压板座7；所述压板座7固定设置在所述固定板8上；所述压板座7上还设置有弧形凹面；所述快速压板5与所述压板座7配合固定石英管2。
[0025]本实施例中优选的，所述快速压板5和压板座7均设置有两组，分别设置在所述固定板8的两端。
[0026]设置上述结构，可以使石英管2固定得更加稳定，有利于提高焊接的精确度。
[0027]本实施例中优选的，所述石英支撑座3设置有三个，以石英管2为圆心呈圆周均布。
[0028]设置上述结构，均匀支撑石英管2，使其受力均匀，不会在焊接过程中发生偏斜，影响产品良率。
[0029]本实施例中优选的，还包括有定位销6；所述定位销6固定在所述固定底座9的水平面上，与石英支撑座3配合。
[0030]设置上述结构，用于固定石英支撑座3。
[0031]本实施例中优选的，所述定位块1卡嵌设置在所述固定板8的顶端。
[0032]当需要对石英管2进行焊接时，先打开快速压板5和定位块1，将石英管2安置在压板座7的弧形凹面槽位内,然后安装石英支撑座3，将石英支撑座3锁紧在定位销6上，再锁紧快速压板5，最后进行火焰焊接。
[0033]需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于
描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0034]以上所述的本技术实施方式，并不构成对本技术保护范围的限定。任何在本技术的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的权利要求保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆棒中实石英焊接治具，包括固定底座(9)，石英固定组件和石英管(2)；其特征在于，所述固定底座(9)呈直角设置，承载石英管(2)及石英固定组件；所述石英固定组件包括设置在所述固定底座(9)顶部的定位块(1)，设置在所述固定底座(9)垂直面的快速压板(5)及固定在所述固定底座(9)水平面的石英支撑座(3)；所述定位块(1)和快速压板(5)配合将所述石英管(2)固定在所述固定底座(9)的垂直面上；所述石英支撑座(3)支撑所述石英管(2)的端部；所述固定底座(9)的水平面上还设置有石墨(4)；所述石墨(4)设置在所述石英管(2)的正下方。2.根据权利要求1所述的晶圆棒中实石英焊接治具，其特征在于：还包括固定板(8)；所述固定板(8)固定在所述固定底座(9)的垂直面上；所述快速压板(5)设置在所述固定板(8)上。3.根据权利要求2所...

【专利技术属性】
技术研发人员：程宪良，刘刚，
申请(专利权)人：无锡诺莱德智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：