一种半导体扩散炉用花篮翻转支架制造技术

本实用新型专利技术提供一种半导体扩散炉用花篮翻转支架，用于第一晶圆的生产；包括翻转架1，固定在翻转架1上的第一花篮固定组件2和第二花篮固定组件3，分别固定在第一花篮固定组件2和第二花篮固定组件3上的第一花篮5和第二花篮6，以及固定在翻转架1后侧用于固定第一花篮5和第二花篮6的后固定架4；所述第一花篮5为6寸花篮，所述第二花篮6为8寸花篮；本实用新型专利技术的有益效果：本机械支架本体采用PTFE制成，洁净度高，传感器感应灵敏，安装位置与原厂匹配，固定支架内部采用铝制作，强度高，外部喷涂PTFE,以防止花篮与金属支架直接接触。PTFE,以防止花篮与金属支架直接接触。PTFE,以防止花篮与金属支架直接接触。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体扩散炉用花篮翻转支架


[0001]本技术主要涉及半导体扩散炉
，尤其涉及一种半导体扩散炉用花篮翻转支架。

技术介绍

[0002]随着科学技术的飞速发展，客户对产品有多元化需求，在扩散炉中，也需要一台机器可以生产多种尺寸晶圆。
[0003]现有扩散炉TEL 853V只能生产8寸的wafer(晶圆),当需要生产6寸晶圆时，原配花篮翻转支架无法使用。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的上述缺陷，本技术提供一种半导体扩散炉用花篮翻转支架，用于第一晶圆的生产。
[0005]本技术提供一种半导体扩散炉用花篮翻转支架，包括翻转架1，固定在翻转架1上的第一花篮固定组件2和第二花篮固定组件3，分别固定在第一花篮固定组件2和第二花篮固定组件3上的第一花篮5和第二花篮6，以及固定在翻转架1后侧用于固定第一花篮5和第二花篮6的后固定架4；
[0006]所述第一花篮5为6寸花篮，所述第二花篮6为8寸花篮；所述第一花篮固定组件2和第二花篮固定组件3并列设置在翻转架1上；所述后固定架4与翻转架1呈直角固定；所述后固定架4还设置有分别与第一花篮5和第二花篮6对应的第一固定槽41和第二固定槽42。
[0007]优选的，所述翻转架1包括上层翻转架11和下层翻转架12；所述上层翻转架11和下层翻转架12平行设置。
[0008]优选的，所述上层翻转架11还设置有两处镂空，分别用于固定所述第一花篮5和第二花篮6。
[0009]优选的，所述第一花篮固定组件2包括第一下固定架21，第一传感器探头22，第一分隔片支架23，第一分隔片24；
[0010]所述第一下固定架21固定在上层翻转架11上，上方固定第一花篮5；所述第一传感器探头22固定在第一下固定架21一侧；所述第一分隔片支架23底部固定在下城翻转架12上，顶部固定设置有第一分隔片24。
[0011]优选的，所述第二花篮固定组件3包括第二下固定架31，第二传感器探头32，第二分隔片支架33，第二分隔片34；
[0012]所述第二下固定架31固定在上层翻转架11上，上方固定第二花篮6；所述第二传感器探头32固定在第二下固定架31一侧；所述第二分隔片支架33底部固定在下城翻转架12上，顶部固定设置有第二分隔片34。
[0013]优选的，所述第一下固定架21的高度大于第二下固定架31的高度。
[0014]优选的，所述第一分隔片支架23与第二分隔片支架33的底部通过C型钢与下层翻
转架12固定；所述第一分隔片支架23底部的C型钢高于第二分隔片支架33底部的C型钢。
[0015]优选的，所述第一花篮固定组件2和第二花篮固定组件3材质为铝。
[0016]优选的，所述第一花篮5和第二花篮6外表面喷涂设置PTFE材料。
[0017]本技术的有益效果：本机械支架本体采用PTFE制成，洁净度高，传感器感应灵敏，安装位置与原厂匹配，固定支架内部采用铝制作，强度高，外部喷涂PTFE,以防止花篮与金属支架直接接触，专为TEL 853V机台，6寸花篮的设计，位置并可以微量调整，解决了原厂无法调整的缺陷。
附图说明
[0018]图1为本技术结构示意图；
[0019]图2为本技术正视图；
[0020]图3为本技术另一角度结构示意图；
[0021]图中，
[0022]1、翻转架，11、上层翻转架，12、下城翻转架；
[0023]2、第一花篮固定组件，
[0024]21、第一下固定架，22、第一传感器探头，23、第一分隔片支架，24、第一分隔片；
[0025]3、第二花篮固定组件，
[0026]31、第二下固定架，32、第二传感器探头，33、第二分隔片支架，34、第二分隔片；
[0027]4、后固定架，41、第一固定槽，42、第二固定槽；
[0028]5、第一花篮；
[0029]6、第二花篮。
具体实施方式
[0030]下面结合附图对本实用进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本技术的保护范围有任何的限制作用。
[0031]本技术提供一种半导体扩散炉用花篮翻转支架，包括翻转架1，固定在翻转架1上的第一花篮固定组件2和第二花篮固定组件3，分别固定在第一花篮固定组件2和第二花篮固定组件3上的第一花篮5和第二花篮6，以及固定在翻转架1后侧用于固定第一花篮5和第二花篮6的后固定架4；
[0032]所述第一花篮5为6寸花篮，所述第二花篮6为8寸花篮；所述第一花篮固定组件2和第二花篮固定组件3并列设置在翻转架1上；所述后固定架4与翻转架1呈直角固定；所述后固定架4还设置有分别与第一花篮5和第二花篮6对应的第一固定槽41和第二固定槽42。
[0033]如图所示，第二花篮6及第二花篮固定组件3为原厂设备出厂设置，但因为只能配合生产8寸晶圆而有局限性，故而在其旁加设第一花篮固定组件2用于配合生产6寸的第一花篮5。同时，后固定架4开设有与6寸的第一花篮5配合的第一固定槽41。底部的翻转架1较原厂设计相比，延长至可以同时装载两个尺寸花篮的长度。8寸的第二花篮6采用中心定位，6寸的第一花篮5采用圆点定位，以便机械手对花篮内的晶圆进行抓取。
[0034]本实施例中优选的，所述翻转架1包括上层翻转架11和下层翻转架12；所述上层翻转架11和下层翻转架12平行设置。
[0035]设置上述结构，方便固定第一花篮固定组件2和第二花篮固定组件3。
[0036]本实施例中优选的，所述上层翻转架11还设置有两处镂空，分别用于固定所述第一花篮5和第二花篮6。
[0037]本实施例中优选的，所述第一花篮固定组件2包括第一下固定架21，第一传感器探头22，第一分隔片支架23，第一分隔片24；
[0038]所述第一下固定架21固定在上层翻转架11上，上方固定第一花篮5；所述第一传感器探头22固定在第一下固定架21一侧，检测上方是否有第一花篮5；所述第一分隔片支架23底部固定在下城翻转架12上，顶部固定设置有第一分隔片24，用于分割对应的6寸晶圆。
[0039]本实施例中优选的，所述第二花篮固定组件3包括第二下固定架31，第二传感器探头32，第二分隔片支架33，第二分隔片34；
[0040]所述第二下固定架31固定在上层翻转架11上，上方固定第二花篮6；所述第二传感器探头32固定在第二下固定架31一侧，检测上方是否有第二花篮6；所述第二分隔片支架33底部固定在下城翻转架12上，顶部固定设置有第二分隔片34，用于分割对应的6寸晶圆。
[0041]本实施例中优选的，所述第一下固定架21的高度大于第二下固定架31的高度。
[0042]设置上述结构，用于分别适配第一花篮5和第二花篮6。第一花篮5用于装载6寸晶圆，尺寸较小，故而第一下固定架21高度较高；而第二花篮5用于装载8寸晶圆，尺寸较大，故而第二下固定架31高本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体扩散炉用花篮翻转支架，其特征在于，包括翻转架(1)，固定在翻转架(1)上的第一花篮固定组件(2)和第二花篮固定组件(3)，分别固定在第一花篮固定组件(2)和第二花篮固定组件(3)上的第一花篮(5)和第二花篮(6)，以及固定在翻转架(1)后侧用于固定第一花篮(5)和第二花篮(6)的后固定架(4)；所述第一花篮(5)为6寸花篮，所述第二花篮(6)为8寸花篮；所述第一花篮固定组件(2)和第二花篮固定组件(3)并列设置在翻转架(1)上；所述后固定架(4)与翻转架(1)呈直角固定；所述后固定架(4)还设置有分别与第一花篮(5)和第二花篮(6)对应的第一固定槽(41)和第二固定槽(42)。2.根据权利要求1所述的半导体扩散炉用花篮翻转支架，其特征在于：所述翻转架(1)包括上层翻转架(11)和下层翻转架(12)；所述上层翻转架(11)和下层翻转架(12)平行设置。3.根据权利要求2所述的半导体扩散炉用花篮翻转支架，其特征在于：所述上层翻转架(11)还设置有两处镂空，分别用于固定所述第一花篮(5)和第二花篮(6)。4.根据权利要求3所述的半导体扩散炉用花篮翻转支架，其特征在于：所述第一花篮固定组件(2)包括第一下固定架(21)，第一传感器探头(22)，第一分隔片支架(23)，第一分隔片(24)；所述第一下固定架(21)固定在上层翻转架(11)上，上方固定第一花篮(...

【专利技术属性】
技术研发人员：程宪良，
申请(专利权)人：无锡诺莱德智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：