一种LED外延炉集气环制造技术

本实用新型专利技术提供一种LED外延炉集气环，用于安装在LED外延炉内，收集特殊气体使用；包括集气环本体，气流道1，冷却水管2，和调节螺栓4；集气环本体，为圆盘设置，包括冷却水腔3，冷却水管2与冷却水腔3连通设置；冷却水腔3，包括外环腔31和内环腔32；所述冷却水腔3自顶面垂直向下凹陷设置有气流道1；所述气流道1呈圆环状，外部为外环腔31和中部腔32；外环腔31与中部腔32连通设置；所述调节螺栓4轴向设置在中部腔32的冷却水通道323上。本实用新型专利技术的有益效果：增加了冷却水调节螺栓，调节冷却水流量，保证集气环的温度均匀，延长集气环使用寿命。延长集气环使用寿命。延长集气环使用寿命。

A gas collecting ring for LED epitaxial furnace

【技术实现步骤摘要】
一种LED外延炉集气环


[0001]本技术主要涉及半导体设备
，尤其涉及一种LED外延炉集气环。

技术介绍

[0002]随着LED行业的飞速发展，芯片的精度要求越来越高，在LED生产环节中，外延炉是一个非常关键的环节。而导流罩又是外延炉中重要部件，材料特殊，加工精度高，加工周期长。目前在国内各大公司都只能国外采购。国外的导流罩不但价格高，而且交货周期长，严重影响到国内各大公司的生产效率。
[0003]集气环是LED外延炉的重要部件，在真空环境中，温度到达1200度以上，在这样高温下通入，三甲基镓，三乙基镓，三甲基铟，三甲基铝等特殊气体，使蓝宝石上涨一层膜，使其不被腐蚀，在高温下，不变形。所有生产材料非常特殊。而且对气体的均匀性要求非常高，安装位置安装非常紧凑。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的上述缺陷，本技术提供一种LED外延炉集气环，用于安装在LED外延炉内，收集特殊气体使用。
[0005]本技术提供一种LED外延炉集气环，包括集气环本体，气流道1，冷却水管2，和调节螺栓4；
[0006]集气环本体，为圆盘设置，包括冷却水腔3，冷却水管2与冷却水腔3连通设置，冷却水自冷却水管2进入冷却水腔3；
[0007]冷却水腔3，包括外环腔31和内环腔32；所述冷却水腔3自顶面垂直向下凹陷设置有气流道1；所述气流道1呈圆环状，外部为外环腔31和中部腔32；外环腔31与中部腔32连通设置；
[0008]所述中部腔32上设置有轴向贯穿的中部顶气道321，和径向贯穿的中部侧气道322；所述中部顶气道321并列平行设置有多个，将中部腔32均匀分割成多个并列设置的冷却水通道323；
[0009]所述调节螺栓4轴向设置在中部腔32的冷却水通道323上。
[0010]优选的，所述冷却水管2固定设置在外环腔31上；与外环腔31连通设置。
[0011]优选的，所述中部顶气道321为长条状通孔。
[0012]优选的，所述中部顶气道321的长度自中部腔32的中部向两端逐渐递减。
[0013]优选的，所述中部顶气道321两侧内壁还设置有连接架；所述连接架两端连接中部顶气道321的两侧内壁。对气道起到支撑作用。
[0014]优选的，所述中部顶气道321沿集气环本体的轴向截面中部间距小于两端间距。
[0015]优选的，所述中部侧气道322与中部腔的冷却水通道323共轴设置。
[0016]本技术的有益效果：增加了冷却水调节螺栓，调节冷却水流量，保证集气环的温度均匀，延长集气环使用寿命。
附图说明
[0017]图1为本技术结构示意图；
[0018]图2为本技术正视图；
[0019]图3为图2中A
‑
A剖视图；
[0020]图中，
[0021]1、气流道；2、冷却水管；3、冷却水腔，31、外环腔，32、中部腔，321、中部顶气道，322、中部侧气道，323、冷却水通道；4、调节螺栓。
具体实施方式
[0022]下面结合附图对本实用进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本技术的保护范围有任何的限制作用。
[0023]本技术提供一种LED外延炉集气环，包括集气环本体，气流道1，冷却水管2，和调节螺栓4；
[0024]集气环本体，为圆盘设置，包括冷却水腔3，冷却水管2与冷却水腔3连通设置，冷却水自冷却水管2进入冷却水腔3；
[0025]冷却水腔3，包括外环腔31和内环腔32；所述冷却水腔3自顶面垂直向下凹陷设置有气流道1；所述气流道1呈圆环状，外部为外环腔31和中部腔32；外环腔31与中部腔32连通设置；所述冷却水管2固定设置在外环腔31上；与外环腔31连通设置。
[0026]所述中部腔32上设置有轴向贯穿的中部顶气道321，和径向贯穿的中部侧气道322；所述中部顶气道321并列平行设置有多个，将中部腔32均匀分割成多个并列设置的冷却水通道323；所述中部顶气道321为长条状通孔。所述中部顶气道321的长度自中部腔32的中部向两端逐渐递减。所述中部顶气道321两侧内壁还设置有连接架；所述连接架两端连接中部顶气道321的两侧内壁。设置上述结构，对气道起到支撑作用。所述中部顶气道321沿集气环本体的轴向截面中部间距小于两端间距。
[0027]所述中部侧气道322与中部腔的冷却水通道323共轴设置。
[0028]在真空高温环境下，三甲基镓，三乙基镓，三甲基铟，三甲基铝等特殊气体自上而下流动，流经气流道1，中部顶气道321和中部侧气道322。因为温度达到1200度以上，冷却水自冷却水管2进入冷却水腔3，对集气环本体进行冷却，保证其正常工作。
[0029]所述调节螺栓4轴向设置在中部腔32的冷却水通道323上。冷却水腔3内部为冷却水循环对集气环进行冷却降温，而集气环本体为圆盘状，故而中部腔32上并列平行设置的冷却水通道323长短不一，长度自中部向两端逐渐减少，由此会导致中部腔32冷却水流量不同，进而导致集气环本体温度不均造成损坏。所以轴向设置调节螺栓4对中部腔32上冷却水通道323内的冷却水流量进行调节，保证其流速均匀，延长集齐环的使用寿命。
[0030]需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0031]以上所述的本技术实施方式，并不构成对本技术保护范围的限定。任何
在本技术的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的权利要求保护范围之内。。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种LED外延炉集气环，包括集气环本体，气流道(1)，冷却水管(2)，和调节螺栓(4)；其特征在于，集气环本体，为圆盘设置，包括冷却水腔(3)，冷却水管(2)与冷却水腔(3)连通设置，冷却水腔(3)，包括外环腔(31)和内环腔(32)；所述冷却水腔(3)自顶面垂直向下凹陷设置有气流道(1)；所述气流道(1)呈圆环状，外部为外环腔(31)和中部腔(32)；外环腔(31)与中部腔(32)连通设置；所述中部腔(32)上设置有轴向贯穿的中部顶气道(321)，和径向贯穿的中部侧气道(322)；所述中部顶气道(321)并列平行设置有多个，将中部腔(32)均匀分割成多个并列设置的冷却水通道(323)；所述调节螺栓(4)轴向设置在中部腔(32)的冷却水通道(323)上。2.根据权利要求1所述的LED外延炉集气环，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：程宪良，
申请(专利权)人：无锡诺莱德智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：