一种用于半导体扩散炉陶瓷机械臂的传感器支架制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于半导体扩散炉陶瓷机械臂的传感器支架，用于固定传感器，以配合检测机械臂上是否有晶圆；包括机械臂固定单元，传感器固定单元，第一传感器固定架，第二传感器固定架，传感器和设备固定总成；机械臂固定单元固定在所述设备固定总成上；传感器固定单元固定在所述机械臂固定单元的侧面；第二传感器固定架固定在设备固定总成的侧面，位于传感器固定单元的下方；机械臂固定单元自上至下平行设置有多个机械臂固定板，每个机械臂固定板上固定一个机械臂。本实用新型专利技术采用高强度铝制成，不易受高温变形，硬度高，洁净度高，安装位置与原厂匹配，便于更换，位置并可以微量调整，解决了原厂无法调整的缺陷。解决了原厂无法调整的缺陷。解决了原厂无法调整的缺陷。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体扩散炉陶瓷机械臂的传感器支架


[0001]本技术主要涉及半导体扩散炉
，尤其涉及一种用于半导体扩散炉陶瓷机械臂的传感器支架。

技术介绍

[0002]随着科学技术的飞速发展，机器人手臂(fork)在扩散炉中起到传递wafer(晶圆)作用。现有扩散炉TEL 853V使用8寸陶瓷机械臂(fork),只能生产8寸的wafer(晶圆),没法使用传递6寸wafer (晶圆)，这样的设备存在通用性低的缺点。而用于传递6寸晶圆的陶瓷机械臂由于尺寸调整，需要设置与传感器适配的传感器槽，此外，固定的传感器用的传感器支架因为陶瓷机械臂尺寸改变，也需要进行相应改变，否则，无法对陶瓷机械臂进行准确检测。

技术实现思路

[0003]针对现有技术的上述缺陷，本技术提供一种用于半导体扩散炉陶瓷机械臂的传感器支架，用于固定传感器，以配合检测机械臂上是否有晶圆。
[0004]本技术提供一种用于半导体扩散炉陶瓷机械臂的传感器支架，包括机械臂固定单元1，传感器固定单元2，第一传感器固定架 3，第二传感器固定架4，传感器5和设备固定总成7；
[0005]所述机械臂固定单元1固定在所述设备固定总成7上；所述传感器固定单元2固定在所述机械臂固定单元1的侧面；所述第二传感器固定架4固定在设备固定总成7的侧面，位于传感器固定单元2的下方；
[0006]所述机械臂固定单元1自上至下平行设置有多个机械臂固定板 11，每个机械臂固定板11上固定一个机械臂6；
[0007]所述传感器固定单元2自上至下依次平行设置有多个传感器支架21，分别与多个机械臂固定板11一一对应固定连接；所述传感器支架21一端与机械臂固定板11固定，另一端并列固定设置有两个传感器5，用于检测机械臂6上的晶圆；
[0008]所述第一传感器固定架3固定设置在最上的一个机械臂固定板 11的一侧边缘，第一传感器固定架3上固定设置有传感器5；所述第一传感器固定架3上固定设置的传感器5与该机械臂固定板11另一侧边缘固定的传感器支架21上设置的传感器5配合；
[0009]所述第二传感器固定支架4固定在所述设备固定总成7的侧面，端部固定设置有传感器5。
[0010]优选的，每个所述传感器支架21上各设置有一组传感器5，一组传感器5并列设置有两个。
[0011]优选的，所述第一传感器固定架3上设置有一个传感器5。
[0012]优选的，所述第二传感器固定架4上设置有一个传感器5。
[0013]优选的，所述传感器支架21与机械臂6的固定端设置有支架固定孔8；所述支架固
定孔8为条形孔，端部为圆弧状。
[0014]优选的，所述机械臂固定单元1和传感器固定单元2，材质为铝。
[0015]优选的，所述机械臂6上靠近传感器支架21的一侧还设置有传感器让位槽61，传感器让位槽61与设置在传感器支架21上的传感器5配合。
[0016]本技术的有益效果：本机械臂支架采用高强度铝制成，不易受高温变形，硬度高，洁净度高，安装位置与原厂匹配，便于更换，专为TEL 853V机台机械臂用传感器设计，位置并可以微量调整，解决了原厂无法调整的缺陷。
附图说明
[0017]图1为本技术结构示意图；
[0018]图中，
[0019]1、机械臂固定单元，11，机械臂固定板；2、传感器固定单元，21、传感器支架；3、第一传感器固定架；4、第二传感器固定架；5、传感器；6、机械臂，61、传感器让位槽；7、设备固定总成；8、支架固定孔。
具体实施方式
[0020]下面结合附图对本实用进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本技术的保护范围有任何的限制作用。
[0021]本技术提供一种用于半导体扩散炉陶瓷机械臂的传感器支架，包括机械臂固定单元1，传感器固定单元2，第一传感器固定架 3，第二传感器固定架4，传感器5和设备固定总成7；
[0022]所述机械臂固定单元1固定在所述设备固定总成7上；所述传感器固定单元2固定在所述机械臂固定单元1的侧面；所述第二传感器固定架4固定在设备固定总成7的侧面，位于传感器固定单元2的下方；
[0023]所述机械臂固定单元1自上至下平行设置有多个机械臂固定板 11，每个机械臂固定板11上固定一个机械臂6；
[0024]所述传感器固定单元2自上至下依次平行设置有多个传感器支架21，分别与多个机械臂固定板11一一对应固定连接；所述传感器支架21一端与机械臂固定板11固定，另一端并列固定设置有两个传感器5，用于检测机械臂6上的晶圆；
[0025]所述第一传感器固定架3固定设置在最上的一个机械臂固定板11的一侧边缘，第一传感器固定架3上固定设置有传感器5；所述第一传感器固定架3上固定设置的传感器5与该机械臂固定板11另一侧边缘固定的传感器支架21上设置的传感器5配合；
[0026]所述第二传感器固定支架4固定在所述设备固定总成7的侧面，端部固定设置有传感器5。
[0027]本实施例中优选的，每个所述传感器支架21上各设置有一组传感器5，一组传感器5并列设置有两个。
[0028]本实施例中优选的，所述第一传感器固定架3上设置有一个传感器5。
[0029]本实施例中优选的，所述第二传感器固定架4上设置有一个传感器5。
[0030]如图1所示，每个传感器支架21上都设置有一组两个的传感器 5，位于最上的即图
示中第一层传感器支架21上靠近机械臂6的一个传感器5与第一传感器固定架3上的传感器5配合，形成传感器检测平面，对于该层机械臂固定板11上的机械臂6进行检测是否有晶圆。而位于第一层传感器支架21正下方的传感器支架21上的每组传感器 5，皆为下一层原理机械臂6的传感器5与上一层靠近机械臂6的传感器5配合形成传感器检测平面，对该层机械臂固定板11上的机械臂6进行检测是否有晶圆。
[0031]例如，每层传感器支架21上的传感器5分为A和B，A为远离机械臂的传感器，B为靠近机械臂的传感器，第一层传感器支架21上的传感器为A1和B1，而第一传感器固定架3上的传感器为S1，第二传感器固定架4上的传感器为S2，传感器支架21设有n层，则：A1与 S1配合，A2与B1配合，A3与B2配合
……
以此类推，S2与B
n
配合。
[0032]本实施例中优选的，所述传感器支架21与机械臂6的固定端设置有支架固定孔8；所述支架固定孔8为条形孔，端部为圆弧状。
[0033]设置上述结构，相较于圆形通孔，条形孔的可调节空间更大，可以调节传感器支架21与机械臂固定板11的相对位置，用于调试传感器5，使其能感应到相应层面的机械臂。
[0034]本实施例中优选的，所述机械臂固定单元1和传感器固定单元2，材质为铝。
[0035]设置上述结构，铝为高强度材质，高温不易变形，硬度高，清洁度高。
[0036]本实施例中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体扩散炉陶瓷机械臂的传感器支架，包括机械臂固定单元(1)，传感器固定单元(2)，第一传感器固定架(3)，第二传感器固定架(4)，传感器(5)和设备固定总成(7)；其特征在于，所述机械臂固定单元(1)固定在所述设备固定总成(7)上；所述传感器固定单元(2)固定在所述机械臂固定单元(1)的侧面；所述第二传感器固定架(4)固定在设备固定总成(7)的侧面，位于传感器固定单元(2)的下方；所述机械臂固定单元(1)自上至下平行设置有多个机械臂固定板(11)，每个机械臂固定板(11)上固定一个机械臂(6)；所述传感器固定单元(2)自上至下依次平行设置有多个传感器支架(21)，分别与多个机械臂固定板(11)一一对应固定连接；所述传感器支架(21)一端与机械臂固定板(11)固定，另一端并列固定设置有两个传感器(5)，用于检测机械臂(6)上的晶圆；所述第一传感器固定架(3)固定设置在最上的一个机械臂固定板(11)的一侧边缘，第一传感器固定架(3)上固定设置有传感器(5)；所述第一传感器固定架(3)上固定设置的传感器(5)与该机械臂固定板(11)另一侧边缘固定的传感器支架(21)上设置的传感器(5)配合；所述第二传感器固定架(4...

【专利技术属性】
技术研发人员：程宪良，
申请(专利权)人：无锡诺莱德智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：