本实用新型提供一种半导体外延设备冷却盘，包括：底座由四周侧壁组成中空的腔体水道；顶盖通过螺栓固定在底座顶端；水水道注入口穿设在顶盖上，底部与腔体水道相连；水道输入口穿设在顶盖上，位于水道注入口右侧，底部与腔体水道相连。本实用新型通过将底...

本实用新型提供种半导体设备扩散炉用冷阱，用于对扩散炉中的特气进行收集；包括冷却筒1，内胆2，内冷却组件，和连接组件；所述冷却筒1，内胆2和内冷却组件依次由外至内共轴套设，通过顶部连接组件固定；连接组件，包括第二连接法兰6和内胆顶部的第一...

本实用新型提供一种LED外延炉气体导流罩，在LED外延炉中使用，用于对高温特殊气体进行导流；包括导向杆1，导流罩2，钼罩3和钼罩连接组件4；所述导流罩2和钼罩3呈环状共轴设置；所述导流罩2通过钼罩连接组件4与钼罩3固定连接；所述导流罩2...

本实用新型提供一种LED外延炉集气环，用于安装在LED外延炉内，收集特殊气体使用；包括集气环本体，气流道1，冷却水管2，和调节螺栓4；集气环本体，为圆盘设置，包括冷却水腔3，冷却水管2与冷却水腔3连通设置；冷却水腔3，包括外环腔31和内...

本实用新型提供一种半导体扩散炉花篮存储支架，解决原厂组件只能对寸晶圆进行存储，而无法对寸晶圆进行存储的问题；包括支架本体，固定槽部和花篮支架；支架本体上设置有固定槽部用于固定第一花篮和第二花篮；第一花篮为6寸花篮；第二花篮为8寸花篮；花...

本实用新型提供一种用于半导体扩散炉陶瓷机械臂的传感器支架，用于固定传感器，以配合检测机械臂上是否有晶圆；包括机械臂固定单元，传感器固定单元，第一传感器固定架，第二传感器固定架，传感器和设备固定总成；机械臂固定单元固定在所述设备固定总成上...

本实用新型提供一种半导体扩散炉支撑环架，用于在真空的法兰内支撑石英内管，生产6寸晶圆；包括底环1，中环2，上环3和压环4；所述底环1，中环2，上环3和压环4自下向上依次设置，所述中环2固定在底环1上；所述上环3固定在中环2上；所述压环4...

本实用新型提供一种半导体扩散炉用花篮翻转支架，用于第一晶圆的生产；包括翻转架1，固定在翻转架1上的第一花篮固定组件2和第二花篮固定组件3，分别固定在第一花篮固定组件2和第二花篮固定组件3上的第一花篮5和第二花篮6，以及固定在翻转架1后侧...

本实用新型提供一种半导体扩散炉用花篮支架，用于适配可以同时进行6寸及8寸晶圆生产的情况；包括下固定支架1，中心支架2和传感器支架3；所述下固定支架1设置有T型槽11用于配合固定第一花篮4或第二花篮5；所述第一花篮4为6寸；所述第二花篮为...

本实用新型提供一种半导体扩散炉花篮传送治具，用于适配可以同时生产6寸晶圆与8寸晶圆的花篮支架；包括传送架1，设置在传送架1上的定位支架1，限位支架3，垫片4和安装孔5；所述传送架1呈工字型设置，在工字型顶部设置有垫片4，所述传送架1中部...

本实用新型提供一种半导体扩散炉用陶瓷手臂，用于在半导体扩散炉中对6寸晶圆进行承载传递的工序；陶瓷手臂本体为一片状承载式手臂，包括安装孔位1，支撑位2，第一触点3，第二触点5；安装孔位1设置在陶瓷手臂本体端部，用于将陶瓷手臂本体安装在设备...

本实用新型提供一种管材自动倒角机，针对较长的管材进行倒角；包括夹具组件，刀具组件和机架；所述夹具组件和刀具组件均固定在所述机架上表面；所述夹具组件包括夹具和固定在夹具上的下压气缸；下压气缸控制夹具夹紧待磨削的管材；所述刀具组件包括旋转刀...

本实用新型提供一种晶圆棒中实石英焊接治具，用于对于中实石英进行固定，方便其与石墨进行焊接；包括固定底座，石英固定组件和石英管；所述固定底座所述固定底座呈直角设置，承载石英管及石英固定组件；所述石英固定组件包括设置在所述固定底座顶部的定位...

本实用新型提供一种晶圆棒中空石英焊接治具，用于对中空石英进行固定，方便其余石墨进行焊接；包括固定底座，石英固定组件和石英管；所述固定底座呈直角设置，承载石英管及石英固定组件；所述石英固定组件包括设置在所述固定底座顶部的石英定位块，设置在...

本实用新型提供一种全自动带锯条碰焊机，用于对带锯条进行固定焊接；包括气缸组件，托板组件，焊接组件，机架和电控箱；所述电控箱固定在所述机架的一侧，控制整个碰焊机的运作；所述托板组件固定设置在所述机架的顶部；所述气缸组件固定设置在所述托板组...

本实用新型提供一种往复式自锁酸阀，用于连接在使用酸洗液体的管道上，控制酸洗液体的开关；包括气缸组件和阀芯组件；所述气缸组件和阀芯组件水平共轴设置；所述气缸组件包括气缸，设置在气缸一端的端盖，设置在气缸内部的活塞和套接在所述活塞外部的自锁...

本实用新型提供一种半导体扩散炉炉管安装治具，解决上述安装精确度不高，容易伤人的问题；包括支撑固定底座，支撑定位组件，底座固定件，治具连接板和旋转把手；所述支撑固定底座为圆盘设置；所述治具连接板一端与所述底座固定件的侧面固定连接，另一端底...

本实用新型提供一种全自动型材切割开槽机，用于对型材进行切割开槽；包括操控面板，切割刀具，夹具，送料机和机架；所述机架承载所述操控面板切割刀具，夹具和送料机；所述传送机设置在所述机架的上表面，用于传送型材；所述传送机的一端固定设置有夹具，...

本实用新型提供一种全自动铝型材切割机，用于切割铝型材，并收集铝屑；包括工作台，主压气缸，送料气缸，送料机，铝屑收集箱和刀具及其组件；所述工作台底部设置有铝屑收集箱，顶部承载所述主压气缸，送料气缸和送料机；所述刀具及其组件固定在所述工作台...

本实用新型提供一种单向自锁酸洗阀，安装在主管道上，可以在管道内无酸性液体通过时，自动锁阀；包括气缸组件，阀座组件和管道；所述气缸组件包括气缸和设置在所述气缸内部的活塞，所述活塞与所述气缸共轴垂直设置；所述阀座组件包括设置在所述气缸正下方...