一种半导体扩散炉花篮传送治具制造技术

本实用新型专利技术提供一种半导体扩散炉花篮传送治具，用于适配可以同时生产6寸晶圆与8寸晶圆的花篮支架；包括传送架1，设置在传送架1上的定位支架1，限位支架3，垫片4和安装孔5；所述传送架1呈工字型设置，在工字型顶部设置有垫片4，所述传送架1中部上表面设置有定位支架2，所述传送架1底部设置有限位支架3，与垫片4配合定位花篮；所述限位支架3靠近传送架1中部的一侧设置有安装孔5；所述安装孔5设置有三个，为长圆形孔；本实用新型专利技术的有益效果：本机械传送架本体采用PTFE材质制成，洁净度高，传感器感应灵敏，安装位置与原厂匹配，固定支架内部采用铝制作，强度高，外部喷涂PTFE,以防止花篮与金属支架直接接触，可以对6寸晶圆和8寸晶圆都能进行限位，适配性高。适配性高。适配性高。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体扩散炉花篮传送治具


[0001]本技术主要涉及半导体扩散炉
，尤其涉及一种半导体扩散炉花篮传送治具。

技术介绍

[0002]随着科学技术的飞速发展，客户对产品有多元化需求，在扩散炉中，也需要一台机器可以生产多种尺寸晶圆。
[0003]现有扩散炉TEL853V只能生产8寸的wafer晶圆,当需要生产6寸晶圆时，原配花篮传送支架无法使用。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的上述缺陷，本技术提供一种半导体扩散炉花篮传送治具，用于适配可以同时生产6寸晶圆与8寸晶圆的花篮支架。
[0005]本技术提供一种半导体扩散炉花篮传送治具，包括传送架1，设置在传送架1上的定位支架1，限位支架3，垫片4和安装孔5；
[0006]所述传送架1呈工字型设置，在工字型顶部设置有垫片4，所述传送架1中部上表面设置有定位支架2，所述传送架1底部设置有限位支架3，与垫片4配合定位花篮；所述限位支架3靠近传送架1中部的一侧设置有安装孔5；所述安装孔5设置有三个，为长圆形孔。
[0007]优选的，所述垫片4对称设置有两个，分别设置在工字型所述传送架1顶部两侧端部。
[0008]优选的，所述定位支架2对称设置有两个，分别设置在传送架1中部两侧边缘上表面。
[0009]优选的，所述定位支架2上表面呈齿牙设置。
[0010]优选的，所述限位支架3对称设置有两个，分贝设置在传送架1底部两侧端部。
[0011]优选的，所述传送架1本体采用铝材质。
[0012]优选的，所述传送架1外表面喷射PTFE材质。
[0013]本技术的有益效果：本机械传送架本体采用PTFE材质制成，洁净度高，传感器感应灵敏，安装位置与原厂匹配，固定支架内部采用铝制作，强度高，外部喷涂PTFE,以防止花篮与金属支架直接接触，专为TEL853V机台6寸花篮设计，位置并可以通过垫片微量调整，解决了原厂无法调整的缺陷，且可以对6寸晶圆和8寸晶圆都能进行限位，适配性高。
附图说明
[0014]图1为本技术结构图；
[0015]图中，
[0016]1、传送架；2、定位支架；3、限位支架；4、垫片；5、安装孔。
具体实施方式
[0017]下面结合附图对本实用进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本技术的保护范围有任何的限制作用。
[0018]本技术提供一种半导体扩散炉花篮传送治具，包括传送架1，设置在传送架1上的定位支架1，限位支架3，垫片4和安装孔5；
[0019]所述传送架1呈工字型设置，在工字型顶部设置有垫片4，垫片4可以更换厚度，用以调节固定花篮的高度，与设备适配；所述传送架1中部上表面设置有定位支架2，用于对花篮进行定位，8寸花篮与6寸花篮的定位点完全不同，8寸是中心条定位，6寸是外形定位，图1中定位支架2就是根据花篮的不同设计的定位块。本定位块即能定位8寸同时也能定位6寸花篮。所述传送架1底部设置有限位支架3，与垫片4配合定位花篮；限位支架3的尺寸改进后，既可以匹配8寸花篮，也可以匹配6寸花篮。8寸花篮限位尺寸是内侧112.5mm,6寸花篮限位是外侧100mm。所述限位支架3靠近传送架1中部的一侧设置有安装孔5；所述安装孔5设置有三个，为长圆形孔。三个安装孔5的位置设置与设备上的机械手臂配合。
[0020]本实施例中优选的，所述垫片4对称设置有两个，分别设置在工字型所述传送架1顶部两侧端部。
[0021]设置上述结构，方便对花篮进行对称固定。
[0022]本实施例中优选的，所述定位支架2对称设置有两个，分别设置在传送架1中部两侧边缘上表面。
[0023]设置上述结构，用于对称定位，使定位更加精准。
[0024]本实施例中优选的，所述定位支架2上表面呈齿牙设置。
[0025]本实施例中优选的，所述限位支架3对称设置有两个，分贝设置在传送架1底部两侧端部。
[0026]设置上述结构，与垫片4配合。
[0027]本实施例中优选的，所述传送架1本体采用铝材质。
[0028]设置上述结构，铝，强度高，不易变形，硬度高，洁净度高。
[0029]本实施例中优选的，所述传送架1外表面喷射PTFE材质。
[0030]设置上述结构，可以防止花篮与金属支架直接接触。
[0031]需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0032]以上所述的本技术实施方式，并不构成对本技术保护范围的限定。任何在本技术的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的权利要求保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体扩散炉花篮传送治具，包括传送架(1)，设置在传送架(1)上的定位支架(2)，限位支架(3)，垫片(4)和安装孔(5)；其特征在于，所述传送架(1)呈工字型设置，在工字型顶部设置有垫片(4)，所述传送架(1)中部上表面设置有定位支架(2)，所述传送架(1)底部设置有限位支架(3)，与垫片(4)配合定位花篮；所述限位支架(3)靠近传送架(1)中部的一侧设置有安装孔(5)；所述安装孔(5)设置有三个，为长圆形孔。2.根据权利要求1所述的半导体扩散炉花篮传送治具，其特征在于：所述垫片(4)对称设置有两个，分别设置在工字型所述传送架(1)顶部两侧端部。3.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：程宪良，
申请(专利权)人：无锡诺莱德智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：