晶圆中转装置制造方法及图纸

本申请属于半导体加工技术领域，具体涉及一种晶圆中转装置。该中转装置包括传输台以及用于输送晶圆的输送板，传输台内设置有传输腔，传输台设置有和传输腔相通的进料口以及出料口，进料口上设置有可开启的进料阀门，出料口设置有可开启的出料阀门；输送板设置在传输腔内，输送板通过驱动机构可在进料口以及出料口之间往返移动，驱动机构包括主动轮、从动轮、齿条，主动轮和从动轮传动连接，传输板设置在齿条上，齿条分别和主动轮和从动轮啮合传动。本申请的中转装置的输送板的驱动结构简单可靠，能满足快速测试切换功能，以提高晶圆的传输中转效率，具有很好的实用性。具有很好的实用性。具有很好的实用性。

【技术实现步骤摘要】
晶圆中转装置


[0001]本申请属于半导体加工
，具体涉及一种晶圆中转装置。

技术介绍

[0002]在晶圆工艺测试和采集数据中，需要一款可在真空传输且结构简单、切换较快满足多个工艺制程传输的中转装置。
[0003]现有技术中，晶圆的中转装置结构复杂，不能满足快速测试切换功能，影响晶圆的传输中转效率。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本申请提供一种晶圆中转装置，旨在至少能够在一定程度上解决现有技术中的晶圆中转装置结构复杂，不能满足快速测试切换功能，影响晶圆的传输中转效率的技术问题。
[0005]本申请的技术方案为：一种晶圆中转装置，其特殊之处在于，所述中转装置包括：传输台，所述传输台内设置有传输腔，所述传输台设置有和所述传输腔相通的进料口以及出料口，所述进料口上设置有可开启的进料阀门，所述出料口设置有可开启的出料阀门；用于输送晶圆的输送板，所述输送板设置在所述传输腔内，所述输送板通过驱动机构可在所述进料口以及所述出料口之间往返移动，所述驱动机构包括电机、主动轮、从动轮、同步带以及齿条，所述电机的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆中转装置，其特征在于，所述中转装置包括：传输台，所述传输台内设置有传输腔，所述传输台设置有和所述传输腔相通的进料口以及出料口，所述进料口上设置有可开启的进料阀门，所述出料口设置有可开启的出料阀门；用于输送晶圆的输送板，所述输送板设置在所述传输腔内，所述输送板通过驱动机构可在所述进料口以及所述出料口之间往返移动，所述驱动机构包括电机、主动轮、同步带、从动轮、齿条，其中，所述电机的输出端设置在所述传输腔内，所述主动轮设置在所述电机的输出端上，所述主动轮和所述从动轮通过所述同步带传动连接，所述传输板设置在所述齿条上，所述齿条分别和所述主动轮和所述从动轮啮合传动。2.根据权利要求1所述的晶圆中转装置，其特征在于，所述传输腔内设置有滑槽，所述齿条上设置有滑动设置在所述滑槽中的滑轨。3.根据权利要求1所述的晶圆中转装置，其特征在于，所述输送板的顶部设置有定位部，所述定位部上设置有多个用以定位晶圆的定位槽，多个所述定位槽呈台阶设置。4.根据权利要求3所述的晶圆中转装置，其特征在于，所述输送板上设置有安装部，所述安装部和所述定位部间隔设置，所述安装部上设置有定位孔以及连接孔，所述定位孔设置有三个，三个所述定位孔呈三角设置，所述连接孔设置有两组，两组所述连接孔沿所述输送板的输送方向对称设置，每组所述连接孔均包括两个以上的所述连接孔。5.根据权利要求1
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4任一项所述的晶圆中转装置，其特征在于，所述进料阀门的横向一侧可转动地连接在所述传输台上，所述进料阀门可开合地覆盖在所述进料口上；所述进料...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴建波，孙文彬，
申请(专利权)人：无锡邑文电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：