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本申请属于半导体加工技术领域，具体涉及一种晶圆中转装置。该中转装置包括传输台以及用于输送晶圆的输送板，传输台内设置有传输腔，传输台设置有和传输腔相通的进料口以及出料口，进料口上设置有可开启的进料阀门，出料口设置有可开启的出料阀门；输送板设置...
该专利属于无锡邑文电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡邑文电子科技有限公司授权不得商用。

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