低压扩散石英舟六轴插卸片机构制造技术

本实用新型专利技术公开了低压扩散石英舟六轴插卸片机构，包括六轴机械手臂，六轴机械手臂的一端固定安装有连接架，连接架的底部固定连接有安装框架，安装框架的底部对称设置有吸盘组件，安装板的底部等距固定连接有多个真空吸盘，安装板的一侧等距固定连接有多个连接管，安装板底部的两侧均固定连接有防护板，多个真空吸盘位于两个防护板之间，安装板的顶部固定连接有固定板，固定板的顶部对称固定连接有第二连接块。本实用新型专利技术利用安装框架和两个吸盘组件的配合使用，两个吸盘组件可以各自吸附住五十片硅片，且两个吸盘组件可以在安装框架的底部进行移动和翻转，从而便于其抓取硅片和将其插在指定设备上，从而提高其实用性能。从而提高其实用性能。从而提高其实用性能。

【技术实现步骤摘要】
低压扩散石英舟六轴插卸片机构


[0001]本技术涉及插卸片机构领域，特别涉及低压扩散石英舟六轴插卸片机构。

技术介绍

[0002]硅片目前，在米粒大的硅片上，已能集成15.6万个晶体管，这是多学科协同努力的结晶，是科学技术进步 的又一个里程碑，微电子技术正在悄悄走进航空航天、工业、农业和国防，也正在悄悄进入每一个家庭，小小硅片的巨大“魔力”是我们的前人根本无法想象的，从早期的人工插片，碎片率高，效率低，演变到一代自动化龙门三轴从石英舟插取硅片，短期内满足了生产需求，但随着硅片尺寸越做越大、硅片越做越薄、产能需求越来越高，三轴弊端凸显，急需六轴机器人加第七轴工装出现。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供低压扩散石英舟六轴插卸片机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：低压扩散石英舟六轴插卸片机构，包括六轴机械手臂，所述六轴机械手臂的一端固定安装有连接架，所述连接架的底部固定连接有安装框架，所述安装框架的底部对称设置有吸盘组件；
[0005]所述吸盘组件包括安本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.低压扩散石英舟六轴插卸片机构，包括六轴机械手臂（1），其特征在于，所述六轴机械手臂（1）的一端固定安装有连接架（2），所述连接架（2）的底部固定连接有安装框架（3），所述安装框架（3）的底部对称设置有吸盘组件（4）；所述吸盘组件（4）包括安装板（41），所述安装板（41）的底部等距固定连接有多个真空吸盘（43），所述安装板（41）的一侧等距固定连接有多个连接管（44）。2.根据权利要求1所述的低压扩散石英舟六轴插卸片机构，其特征在于，所述安装板（41）底部的两侧均固定连接有防护板（42），多个所述真空吸盘（43）位于两个防护板（42）之间。3.根据权利要求1所述的低压扩散石英舟六轴插卸片机构，其特征在于，所述安装板（41）的顶部固定连接有固定板（...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐雷达，
申请(专利权)人：江苏创生源智能装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：