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本实用新型公开了低压扩散石英舟六轴插卸片机构,包括六轴机械手臂,六轴机械手臂的一端固定安装有连接架,连接架的底部固定连接有安装框架,安装框架的底部对称设置有吸盘组件,安装板的底部等距固定连接有多个真空吸盘,安装板的一侧等距固定连接有多个连接...该专利属于江苏创生源智能装备股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏创生源智能装备股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了低压扩散石英舟六轴插卸片机构,包括六轴机械手臂,六轴机械手臂的一端固定安装有连接架,连接架的底部固定连接有安装框架,安装框架的底部对称设置有吸盘组件,安装板的底部等距固定连接有多个真空吸盘,安装板的一侧等距固定连接有多个连接...