一种单向自锁酸洗阀制造技术

本实用新型专利技术提供一种单向自锁酸洗阀，安装在主管道上，可以在管道内无酸性液体通过时，自动锁阀；包括气缸组件，阀座组件和管道；所述气缸组件包括气缸和设置在所述气缸内部的活塞，所述活塞与所述气缸共轴垂直设置；所述阀座组件包括设置在所述气缸正下方的阀座和设置在所述阀座内部的阀芯；所述阀芯与所述活塞共轴设置；所述活塞连接阀芯，通过阀体内的压力，控制阀芯垂直上下运动，控制阀呈现打开或关闭状态；还设置有自锁弹簧；所述自锁弹簧套设在所述活塞的外表面；所述管道水平贯穿设置在阀座上；本实用新型专利技术的有益效果：实现管道内无酸性液体通过时，自动锁阀，防止酸性液体流出，以防酸性液体造成损伤。以防酸性液体造成损伤。以防酸性液体造成损伤。

【技术实现步骤摘要】
一种单向自锁酸洗阀


[0001]本技术主要涉及半导体清洗
，尤其涉及一种单向自锁酸洗阀。

技术介绍

[0002]随着科学技术的飞速发展，清洗在半导体中起到桥梁作用，但是在使用时会遇到以下几个问题：1、当设备断电或发生意外时，阀无法自动恢复，并锁住酸；2、容易造成酸的回流问题；3、酸属于危险品，对人生存在很大的伤害等一系列问题。

技术实现思路

[0003]针对现有技术的上述缺陷，本技术提供一种单向自锁酸洗阀，安装在主管道上，可以在管道内无酸性液体通过时，自动锁阀。
[0004]本技术提供一种单向自锁酸洗阀，包括气缸组件，阀座组件和管道6；
[0005]所述气缸组件包括气缸1和设置在所述气缸1内部的活塞2，所述活塞2与所述气缸1共轴垂直设置；
[0006]所述阀座组件包括设置在所述气缸1正下方的阀座3和设置在所述阀座3内部的阀芯4；所述阀芯4与所述活塞2共轴设置；所述活塞2连接阀芯4，通过阀体内的压力，控制阀芯4垂直上下运动，控制阀呈现打开或关闭状态；
[0007]还设置有自锁弹簧5；所述自锁弹簧5本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单向自锁酸洗阀，包括气缸组件，阀座组件和管道(6)；其特征在于，所述气缸组件包括气缸(1)和设置在所述气缸(1)内部的活塞(2)，所述活塞(2)与所述气缸(1)共轴垂直设置；所述阀座组件包括设置在所述气缸(1)正下方的阀座(3)和设置在所述阀座(3)内部的阀芯(4)；所述阀芯(4)与所述活塞(2)共轴设置；所述活塞(2)连接阀芯(4)，通过阀体内的压力，控制阀芯(4)垂直上下运动，控制阀呈现打开或关闭状态；还设置有自锁弹簧(5)；所述自锁弹簧(5)套设在所述活塞(2)的外表面；当阀体内无酸性液体进入时，自锁弹簧(5)控制阀芯(4)复位，使阀呈关闭状态；所述管道(6)水平贯穿设置在阀座(3)上。2.根据权利要求1所述的单向自锁酸洗阀，其特征在于：所述气缸(1)顶部还设置有气缸盖(11)，底部还设置有气缸座(12)；所述气缸盖(11)与气缸座(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：程宪良，钟明军，
申请(专利权)人：无锡诺莱德智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：