【技术实现步骤摘要】
一种用于大尺寸石英管的焊管卡套装置
[0001]本技术涉及半导体材料制备
，尤其涉及一种用于大尺寸石英管的焊管卡套装置。
技术介绍
[0002]在VGF/VB砷化镓单晶生长工艺中，由于大尺寸的晶棒收益更高，所以现在各个企业都在进行大尺寸晶棒的生长研究；大尺寸晶棒的生长需要大尺寸的石英管，在单晶生长前，需要先将原辅料放在石英料管中后盖上石英帽，然后使用氢氧气焊接石英帽和石英管，保证石英管内的高真空。目前在焊接2/3/4寸石英管时，因为其管壁薄，氢氧气火焰小，焊管时间短，工作强度低，而6/8寸石英管壁比小尺寸石英管壁厚2倍，一般需要使用更多气孔的焊枪，这样的焊枪火焰大、焊管时间长，工作强度也更大。
[0003]目前在石英管的焊接时，需要需要使用到焊管卡套装置，焊管卡套装置包括卡头和卡圈，焊接时，将卡头连接在机械真空泵的管道上，石英管水平放置且与卡头保持在同一水平线上，石英管口套好卡圈，管口对准卡头上的胶圈，锁紧卡圈；最后启动机械泵抽真空进行焊接。
[0004]因为石英管外径尺寸是一个范围，所以卡头和卡圈一般...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于大尺寸石英管的焊管卡套装置，包括卡圈和卡头，所述卡圈和卡头可拆卸连接，其特征在于：所述卡头远离卡圈的一侧连通有真空管接头，所述卡圈上设置有第一缺口，所述第一缺口的宽度为5
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10mm，所述第一缺口两侧的卡圈上均固定连接有连接块，两个所述连接块上均设置有通孔，两个所述通孔内穿设有第一螺杆，所述第一螺杆的两端均螺纹连接有紧固螺母；所述卡圈远离卡头的一侧上设置有冷却管，所述冷却管的一端为进水端，所述冷却管的另一端为出水端。2.根据权利要求1所述的一种用于大尺寸石英管的焊管卡套装置，其特征在于：所述卡头的周向上设置有若干第一U型卡箍头，所述卡圈的周向上设置有若干与第一U型卡箍头位置匹配的第二U型卡箍头，所述第二U型卡...
【专利技术属性】
技术研发人员：肖雨，李勇，
申请(专利权)人：威科赛乐微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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