下载一种晶圆棒中实石英焊接治具的技术资料

文档序号:32622270

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本实用新型提供一种晶圆棒中实石英焊接治具,用于对于中实石英进行固定,方便其与石墨进行焊接;包括固定底座,石英固定组件和石英管;所述固定底座所述固定底座呈直角设置,承载石英管及石英固定组件;所述石英固定组件包括设置在所述固定底座顶部的定位块,...
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