基板干燥装置、基板干燥方法以及基板制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术是一边高速移动基板，一边均匀地干燥基板。喷嘴（２１）向基板１的表面供给清洗液，气刀（２２ａ、２２ｂ）向基板（１）的表面或者背面喷射空气。通过从气刀（２２ａ）喷射出的空气，使从喷嘴（２１）供给的清洗液在基板（１）的表面上，向基板移动方向的相反侧移动。调整从喷嘴（２１）供给的清洗液的量以及从气刀（２２ａ）喷射出的空气的流量及速度，以使清洗液的移动速度慢于基板移动速度。由此，在通过气刀（２２ａ）的下方的基板（１）的整个表面上，形成清洗液的连续且较薄的液膜。形成在基板（１）表面上的液膜，在通过卤素灯（３１）的下方时被加热后蒸发，并被从基板（１）的一端开始依次连续地去除。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种干燥平面显示器(Flat Panel Display)装置用的面板基板(panel substrate)等的基板干燥装置、基板干燥方法、以及使用了这些的基板制造方法，特别涉及一种适于一边高速移动基板一边干燥基板的基板干燥装置、基板干燥方法、以及使用了这些的基板制造方法。
技术介绍
在如液晶显示器(liquid crystal Display)装置或等离子显示器(plasma Display)装置等的平面显示器装置用的面板基板的制造工序中，为了在基板上形成电路图案或彩色滤光片(color filter)等，进行显影或蚀刻等药液处理。而且，在药液处理之前或者药液处理之后，必须使用纯水等清洗液对基板进行清洗，以及对清洗后的基板进行干燥。对于包括基板的清洗以及干燥的一系列处理而言，较多的是一边使用滚筒式移动机等移动装置移动基板，一边进行清洗以及干燥处理，并且一般而言，基板的干燥是，使用气刀向基板喷射空气，由此从基板表面冲掉并去除清洗液。利用气刀对基板进行干燥，其干燥基板的能力较高，但另一方面，有时被来自气刀的空气从基板表面吹掉的清洗液的水滴会再次附着在基板表面上，在基板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板干燥装置，其特征在于包括：移动基板的基板移动装置；液膜形成装置，具有清洗液供给装置以及气刀，其中所述清洗液供给装置向由所述基板移动装置移动的基板的表面供给清洗液，所述气刀喷射空气，通过由该气刀喷射出的空气，使由所述清 洗液供给装置供给的清洗液，在基板的表面上，以慢于基板移动速度的速度向基板移动方向的相反侧移动，其后在基板的整个表面上形成连续的液膜；以及液膜去除装置，从基板的一端开始依次连续去除由所述液膜形成装置所形成的液膜。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：森口善弘，安池良友，
申请(专利权)人：株式会社日立高科技，
类型：发明
国别省市：JP[日本]