激光加工状态检查方法及装置以及太阳能电池板制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术可在加工时检查激光束的光轴状态及激光束的输出状态，且能早期检测激光束加工状态，而据此早期反馈激光束加工时的条件，减少不合格产生率。本发明专利技术是，照射激光束对工件实施加工，随后立即获取工件的加工部位的图像，并根据此图像来检查加工状态。根据本发明专利技术，将基于激光束加工才结束后的图像来实时地辨识激光束的加工状态，并将该状态反馈使加工条件最佳化，明显减少不合格产生率。本发明专利技术中，检查激光束的光轴偏移、脉冲宽度、脉冲高度(激光功率)、漏脉冲之中的至少一个，来作为激光加工时的激光束状态，且将提取机构配置在激光束的光路中，分叉提取一部分激光束，由光接收机构来接收经分叉提取后的激光束，并据此光接收信号来进行检查。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种对利用激光束来加工薄膜等时的加工状态进行检查的激光加工状态检查方法及装置、以及太阳能电池板(solar panel)制造方法，尤其涉及一种对太阳能电池板制作时所进行的激光切割(laser scribe)加工处理时的加工状态、激光束的光轴状态以及激光束的输出状态进行检查的激光加工状态检查方法及装置、以及太阳能电池板制造方法。
技术介绍
以往在太阳能电池板制造步骤中是在透光性衬底(玻璃衬底)上依次形成金属层、半导体层、透明电极层，并在形成后的各步骤中利用激光束将各层加工为狭条状 (comblike form)，从而完成太阳能电池板模块(solar panel module)。在如此制造太阳能电池板模块时，是在玻璃衬底上的薄膜上利用激光束例如以IOmm间距形成切割线。此切割线由线宽约为30 μ m、且线和线的间隔约为30μπι的3根线所构成。在利用激光束形成切割线时，通常是对恒速移动的玻璃衬底照射激光束。由此，便可形成深度及线宽稳定的切割线。关于此类太阳能电池板(光电转换装置)的制造方法，众所周知有日本专利特开 2006-0Μ2Μ号公报(专利文献1)中揭示的方法。而且，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：下田勇一，荒木正树，
申请(专利权)人：株式会社日立高科技，
类型：发明
国别省市：