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本发明可在加工时检查激光束的光轴状态及激光束的输出状态，且能早期检测激光束加工状态，而据此早期反馈激光束加工时的条件，减少不合格产生率。本发明是，照射激光束对工件实施加工，随后立即获取工件的加工部位的图像，并根据此图像来检查加工状态。根据本...
该专利属于株式会社日立高科技所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高科技授权不得商用。

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