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本发明是一边高速移动基板，一边均匀地干燥基板。喷嘴（２１）向基板１的表面供给清洗液，气刀（２２ａ、２２ｂ）向基板（１）的表面或者背面喷射空气。通过从气刀（２２ａ）喷射出的空气，使从喷嘴（２１）供给的清洗液在基板（１）的表面上，向基板移动方向...
该专利属于株式会社日立高科技所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高科技授权不得商用。

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