【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种存贮和输送光掩模的方法,包括: 提供光掩模存贮容器,该存贮容器具有流体密封壁、用于将光掩模移动到容器中和从容器中移出的开口、以及用于存贮流体的可密封入口; 通过开口将光掩模放置在存贮容器中; 通过入口将存贮流体导入到容器中; 关闭容器开口;以及 密封存贮流体入口, 其中存贮流体相对于光掩模基本上是惰性的。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:埃米丽伊丽沙白加拉切尔,路易斯M金特,
申请(专利权)人:国际商业机器公司,
类型:发明
国别省市:US[美国]
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