用于对半导体设备进行分类的方法技术

一种使用视觉相机检查对象的外观并根据所述检查的结果对所述对象进行分类的半导体设备分类方法，该方法包括：　　　　通过从装载单元转移用于容纳所述对象的盘并且将通过视觉相机获取的图像信息与对应对象的存储图像信息进行比较来确定所述对象是否是次等的；　　　　根据所述确定的结果通过所述对象的状态来对被容纳在转移盘中的对象进行分类和卸除；　　　　当完成对应批次中的所有对象的分类时，通过对缓冲盘中的正规对象进行卸载来执行批次最终分类；以及　　　　当在所述批次最终分类期间输入新批次中的对象的预定信号执行现有批次的批次最终分类时，执行新批次中的对象的可视检查。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种对半导体设备进行分类的方法，特别涉及一种当继续半 导体设备的常规批次最终分类时，使用在备用模式的其它设备对新类型半导 体设备进行检查，从而增强半导体设备的外观的检查效率的方法。
技术介绍
在通过制造工序制造出半导体设备之后，必须在发货前对其进行仔细检 査。如果封装的半导体设备具有次等的内部部件或略微次等的外观，对半导 体设备会造成重大影响。由于外部次等，如半导体设备的引脚或球(ball)的次等可产生于印刷 电路板的装配过程中，如四侧引脚扁平封装(QFP)的半导体的引脚或球的 检查是一个非常重要的过程。通常地，对于半导体封装的引脚或球的外部次等的检査由视觉相机 (vision camera )来执行。例如，韩国授权的技术No.339601公开了检查半导体设备的外观以 及根据检查结果对半导体设备进行快速而有效地分类的技术。然而，由于传统技术仅对位于半导体设备的下端的引脚或球进行检查， 因此传统技术存在必须通过不同的检查仪器来检査印制于半导体设备上端 的标记和半导体设备的总体外观的缺点。为解决上述缺点，本申请的申请人开发了一种新的检査仪器。该半导体 设备检査仪器通过在容纳半导体设备的盘的转移期间将所述盘进行反转来 对半导体设备的下端和上端进行拍摄，并且对被容纳在盘内的半导体设备进 行分类，所述盘被转移到次等品存储器、卸载单元以及缓冲器。也就是说，当从被容纳在被转移到卸载单元的卸载盘中的半导体设备中 发现次等品时，分类器对对应的半导体设备进行挑选以将同类品移至次等品 盘，并且从被容纳在缓冲盘中的半导体设备中将正规半导体设备挑选到空4i 置，次等半导体被从该空位置移除，从而被转移到卸载单元的卸载盘仅容纳 正规半导体设备。当完成在上述过程中被容纳在被转移到卸载单元的卸载盘中的半导体 设备的可视检查时，保留在缓冲盘中的最近的正规半导体设备被转移到卸载单元的卸载盘(这一过程被称为批次最终分类(lot end sorting))以卸除 保留在缓冲盘中的正规半导体设备，从而完成对对应批次的可视检査。因此，由上述描述构成的单独检查仪器可以通过对位于半导体设备的下 端的球和引脚、印制在半导体设备的上端的标记以及半导体设备的总体外观 的次等进行检查来解决在传统技术中产生的问题。然而，当使用检查仪器执行对于其它类型的半导体设备的可视检查时， 由于必须等到在现有批次中的半导体设备的分类被完成时才能开始对于新 批次的可视检査，因此所述可视检査的效率是较低的。也就是说，在分类器上在对于现有批次的批次最终分类期间，用于将保 留在缓冲盘中的半导体设备挑选到卸载单元的分类组件被操作，并且诸如视 觉相机的其它设备以及处理器的其它驱动组件被转换到备用模式并维持备 用状态直到完成批次最终分类。因此，由于不是分类器的其它组件处于备用模式直到完成对于现有批次 的批次最终分类，当在新批次的半导体设备的可视检查开始时，在新批次的 半导体设备的可视检査以延迟时间被延时，从而降低了分类半导体设备的效 率，所述可视检查在该分类半导体设备中完成。
技术实现思路
因此，本专利技术考虑上述问题而提出，并且本专利技术的目的是提供一种当执 行对于不同类型的半导体设备的可视检査时，在继续现有批次中的半导体设 备的批次最终分类时通过驱动除分类器之外的其它设备，如视觉相机、处理 器的其它驱动设备或类似设备来对半导体设备进行分类，以增强半导体设备 的检查效率的方法。根据本专利技术的一方面，上述及其他目的可以通过半导体设备分类方法的 规定来完成，该方法使用视觉相机检查对象的外观并根据检查结果对所述对 象进行分类，该方法包括通过转移来自装载单元的用于容纳对象的盘并将 通过视觉相机获取的图像信息与对应对象的存储图像信息进行比较来确定 所述对象是否是次等的；根据所述确定的结果通过对象的状态来对容纳在转 移盘中的对象进行分类和卸除；当完成对应批次中的所有对象的分类时，通 过对缓冲盘中的正规对象进行卸载来执行批次最终分类；以及当在批次最终 分类期间输入新批次中的对象的预定信号时执行现有批次的批次最终分类 时，执行新批次中的对象的可视检查。在本专利技术的半导体设备分类方法中，当通过单独的检查仪器执行对不同 类型的半导体设备的可视检查时，可以通过在继续进行对于现有批次的最终 检查，即批次最终分类时驱动分类器和其它设备以执行对于新类型的半导体 设备的可视检査。也就是说，与为批次最终分类保留其它备用设备的传统方法不同的是， 本专利技术的半导体设备的分类方法使用其它备用设备，如视觉相机、处理器的 驱动设备或类似的设备来开始在新批次中的半导体设备的检査，以增强检査 仪器的效率。更进一步地，通过视觉相机进行的新批次的检査在现有批次的批次最终 分类期间被执行，从而可以减少在新批次中的半导体设备的检查的准备时间 并增强检査效率。附图说明结合附图，从以下详细描述中可以更详细地了解本专利技术的上述及其它目 的、特征和其它优点，其中图1是说明采用根据本专利技术的优选实施方式的半导体设备分类方法的可 视检査仪器的示意图；以及图2是说明根据本专利技术的优选实施方式的半导体设备分类方法的流程图。具体实施例方式下面将参考附图对本专利技术的优选实施方式进行详细描述，从而本领域技 术人员可以容易地理解和实施本专利技术。图1是说明采用根据本专利技术的优选实施方式的半导体设备分类方法的可 视检查仪器的示意图，而图2是说明根据本专利技术的优选实施方式的半导体设 备分类方法的流程图。在检查仪器中实施半导体设备分类方法，如图1所示，该检查仪器包括 主体10;装载单元21，在装载单元21上对容纳将被检査的半导体设备(之 后称之为将被检査的对象)的盘进行装载；检査单元30，该检查单元30 用于拍摄容纳在从装载单元21被装载的盘中的对象的外观；缓冲器25，用 于暂时容纳用于容纳已完成检査的对象的缓冲盘T3;次等品存储器23，在 该次等品存储器23上用于容纳被确定为次等品的对象的盘T1被装载，对象 被确定为次等品作为检查结果；卸载单元24，在该卸载单元24上用于容纳 被确定为正规品的对象的盘T2被装载，对象被确定为正规品作为检查结果； 盘转移器40，分别连接到装载单元21、缓冲器25、次等品存储器23和卸载 单元24以向前和向后移动被装载的盘；转移器60，安装在主体的上端以进 行往复运动，以便将盘在装载单元21、缓冲器25、次等品存储23和卸载单元24之间进行转移；分类单元70，用于从被容纳在卸载盘T2中的对象中 挑选次等品，该卸载盘T2被转移到卸载单元，并且将所述次等品转移到次 等品盘T1，以及从被容纳在缓冲盘T3中的对象中挑选正规品并将其转移至次等品已被移除的空位置；以及控制器(未示出)，用于控制检査仪器。检查仪器包括空盘单元22，该空盘单元22用于装载和存储空盘以向连 接至次等品存储器23的盘转移器40提供新的盘。更进一步地，检查仪器包 括空盘存储器26，该空盘存储器26提供于缓冲器25的前面以装载缓冲盘 T3，该缓冲盘T3的对象被完全分类和移除。检査单元30包括用于检査对象外观的视觉相机，优选为两个视觉相机。第一视觉照相机31被安装在装载单元21的一侧以检査被容纳在从装载 单元21被转移的盘中的对象，从而获取被容纳在盘中的对象的上端。第二 视觉相机32本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种使用视觉相机检查对象的外观并根据所述检查的结果对所述对象进行分类的半导体设备分类方法，该方法包括通过从装载单元转移用于容纳所述对象的盘并且将通过视觉相机获取的图像信息与对应对象的存储图像信息进行比较来确定所述对象是否是次等的；根据所述确定的结果通过所述对象的状态来对被容纳在转移盘中的对象进行分类和卸除；当完成对应批次中的所有对象的分类时，通过对缓冲盘中的正规对象进行卸载来执行批次最终分类；以及当在所述批次最终分类期间输入新批次中的对象的预定信号执行现有批次的批次最终分类时，执行新批次中的对象的可视检查。2. 根据权利要求1所述的半导体设备分类方法，其中所述执行新批次 中的对象的可视检查包括根据所述预定信号，参照所存储的用于新批次中的对象的相应驱动设备 的驱动信息来重新设置除了分类模块之外的备用的相应驱动设备的驱动环 境；通过装载来自装载单元的新批次...

【专利技术属性】
技术研发人员：李相允，林双根，
申请(专利权)人：英泰克普拉斯有限公司，
类型：发明
国别省市：