阵列基板制造用的光掩模、阵列基板及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种使用相同的光掩模由母玻璃基板制作多片阵列基板的情况下可以自由地形成或切断连接相邻的曝光区域的配线；即使是在由相同的母玻璃基板制造不同大小的阵列基板的情况下也可以利用相同的检查用探针装置进行检查的光掩模、阵列基板及其制造方法。解决手段是，构成上述光掩模以使得：在阵列基板的上端部形成上部上下走向配线，在下端部形成下部上下走向配线；以及在所述下部上下走向配线的左侧或右侧，形成向所述阵列基板下端侧的边界Ｕ转弯的“向边界Ｕ转弯部”和再次向所述阵列基板中央部Ｕ转弯的“向中央部Ｕ转弯部”。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于制作液晶显示装置阵列基板用的光掩模、阵列基板 及其制造方法。
技术介绍
用于液晶显示装置的阵列基板通常是由大母玻璃基板制作多片阵列 基板而成，即从一张母玻璃基板取得多片的阵列基板。在从母玻璃基 板上制得阵列基板后的状态下检查各个阵列基板时，利用检查用的探针(probe)电气接触设置在母玻璃基板周边的检查用焊盘(pad)来 进行检查。这时，即使阵列基板的尺寸或者从一张母玻璃基板取得的 阵列基板的片数不同，只要设置在母玻璃基板周边的检查用的焊盘的 位置相同，就可以使用相同的检查用探针装置(probe block,它是按 照检查焊盘的位置嵌入检查用的探针的装置)进行检查，这样能够节 约费用，同时还能提高生产率。因此，在阵列基板的尺寸、或者从一 张母玻璃基板上取得的阵列基板的片数不同的情况下，也尽可能的使 检查用的焊盘的位置相同，并谋求检查用的探针装置的通用化。但是，在使用1张母玻璃基板制作n英寸的阵列基板和使用1张母 玻璃基板制作19英寸的阵列基板的情况下，设置在母玻璃基板周边的 检查用焊盘的位置不同，不能使用相同的检查用探针装置进行检查。 其理由是，在与配置17英寸阵本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光掩模，用于制造能多片取得液晶显示装置用的ＴＦＴ阵列基板、即以下简称为“阵列基板”，其特征在于，　　　　所述光掩模具有在阵列基板的上端部形成上下走向的配线、即下述“上部上下走向的配线”的区域、在阵列基板的下端部形成上下走向的配线、即下述“下部上下走向的配线”的区域，以及在所述下部上下走向的配线与所述上部上下走向的配线两者中的至少一配线的任一侧形成转弯部的区域。

【技术特征摘要】
JP 2006-12-19 2006-3418701.一种光掩模，用于制造能多片取得液晶显示装置用的TFT阵列基板、即以下简称为“阵列基板”，其特征在于，所述光掩模具有在阵列基板的上端部形成上下走向的配线、即下述“上部上下走向的配线”的区域、在阵列基板的下端部形成上下走向的配线、即下述“下部上下走向的配线”的区域...

【专利技术属性】
技术研发人员：川野英郎，砂山英树，
申请(专利权)人：龙腾光电控股有限公司，
类型：发明
国别省市：VG[英属维尔京群岛]