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阵列基板制造用的光掩模、阵列基板及其制造方法技术
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下载阵列基板制造用的光掩模、阵列基板及其制造方法的技术资料
文档序号:3175328
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本发明提供一种使用相同的光掩模由母玻璃基板制作多片阵列基板的情况下可以自由地形成或切断连接相邻的曝光区域的配线;即使是在由相同的母玻璃基板制造不同大小的阵列基板的情况下也可以利用相同的检查用探针装置进行检查的光掩模、阵列基板及其制造方法。解...
该专利属于龙腾光电(控股)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过龙腾光电(控股)有限公司授权不得商用。
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