具有视觉检查装置的薄膜晶体管阵列面板及其检查方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种具有视觉检查装置的薄膜晶体管阵列面板及其检查方法，其中多条栅极线和与栅极线相交以限定显示区域的多条数据线形成在包括显示区域和围绕区域的绝缘衬底上。在围绕区域上，形成了连接到栅极线上的栅极驱动电路和夹置在栅极驱动电路和栅极线之间并具有多个第一到第三或非门的用于Ⅵ的逻辑电路。用于Ⅵ的逻辑电路的第一或非门的第一输入端子连接到栅极驱动电路的输出端子上，且其第二输入端子连接到ＣＯＮ１端子上，其输出端子连接到第二或第三或非门的第一输入端子上。第二或非门的第二输入端子连接到ＣＯＮ２端子上。而其输出端子连接到奇数栅极线上，或非门的第二输入端子连接到ＣＯＮ３端子上，而其输出端子连接到偶数栅极线上。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种薄膜晶体管阵列面板，尤其是涉及一种视觉检查(visual inspection)装置和在其中集成了栅极驱动电路的薄膜晶体管阵列面板中进 4亍一见觉4全查的方法。
技术介绍
薄膜晶体管阵列面板用作液晶显示器(LCD)或有机电致发光(EL)显示 器等等中独立驱动每个像素的电路板，在薄膜晶体管面板中，形成了用于 传输扫描信号的扫描信号线或栅极线、和用于传输图像信号的图像信号线 或数据线。其中也形成了连接到栅极线和数据线的薄膜晶体管、连接到薄 膜晶体管上的像素电极、用于覆盖和绝缘栅极线的栅极绝缘层以及用于覆 盖并用于绝缘薄膜晶体管和数据线的钝化层。薄膜晶体管包括与作为栅极 线一部分的栅极电极、源极电极和作为数据线一部分的漏极电极一起形成 通道的半导体层，栅极绝缘层、和钝化层。薄膜晶体管为开关元件，其根 据通过栅极线传输的扫描信号将通过数据线传输的图像信号传送到像素电 极上。LCD是利用这种薄膜晶体管面板的显示装置的代表，尤其是如反射型 或半透射型LCD的中小型LCD大部分采用COG (玻璃上芯片)型。在这 种情况下，视觉检查(visual inspection)(VI)和总体测试(gross test)(GT)在COG IC安装步骤之前进行，以便节省昂贵的COGIC、偏振器和补偿薄膜，并提 高产量。由于测试需要昂贵的设备，此外需要很长的处理时间，因此难于 将GT应用到实际过程中。另外，目前可用的VI是在形成用于检查的导线 之后进行的，该导线连接到COG端子之间的栅极线和数据线上，或连接到相对侧上，以进行VI，然后，与面板一起进行金刚石切割，或进行激光切 割来分开用于检查的导线。在这种情况下，在这种切割过程中，产生污染 物颗粒，或者导线通过其切割侧被腐蚀，从而使可靠性下降。同时，TFT面板可以通过如下的方法制造，即，驱动集成电路或是局 部地或是作为一个整体地直接形成在薄膜晶体管上。作为这种示例，存在多晶硅薄膜晶体管面板(多晶硅TFT面板)和无定形驱动集成电路面板(a-si IC面板)。在TFT面一反上作为一个整体地直l妾形成驱动IC的方法中，GT可 以通过TFT自身来进行。然而，在TFT面板上直接形成仅一部分驱动IC 的方法需要昂贵的设备来执行GT。此外，由于形成在TFT工件上的驱动IC在激光切割时作用为障碍物， 在^r查后难于采用激光切割，并且由于TFT面板和滤光片形成为相同的尺 寸，所以难于获得用于激光切割的空间。
技术实现思路
本专利技术通过解决这些问题提高了液晶显示器的可靠性。 本专利技术提供了一种用于在具有驱动集成电路的薄膜晶体管中进行视觉 检查的装置。本专利技术也提供了 一种用于在具有驱动集成电路的薄膜晶体管中进行视 觉才全查的方法。在一个方面中，本专利技术提供了一种薄膜晶体管面板，其包括用于VI的 逻辑电路，该电路连接在栅极驱动电路和栅极线之间，以施加栅极检查信详细地说，薄膜晶体管面板包括具有显示区域和围绕区域的绝缘衬底； 形成在绝缘衬底上的第一信号线；形成在绝缘衬底上并与第一信号线绝缘 且交叉以限定显示区域的第二信号线；形成在绝缘衬底的围绕区域上并连 接到V。ff电压施加端子上的多条驱动信号线；形成在绝缘衬底的围绕区域上 的多条检查信号线；用于检查的第一薄膜晶体管，其具有连接到第一信号 线上的漏极电极、连接到任一条检查信号线上的源极电极、以及连接到任 一条驱动信号线上的栅极电极；以及用于检查的第二薄膜晶体管，其具有 连接到第二信号线上的漏极电极、连接到任一条检查信号线上的源极电极、以及连接到任 一条驱动信号线上的栅极电极。连接到用于检查的第二薄膜晶体管上的检查信号线包括第一检查信号 线和第二检查信号线。用于检查的第二薄膜晶体管可以交替地连接到第一 检查信号线或第二检查信号线上。连接到用于检查的第一薄膜晶体管上的 第一检查信号线包括第三和第四检查信号线。用于检查的第一薄膜晶体管 可以交替地连接到第三检查信号线和第四检查信号线上。另外，连接到用于检查的第二薄膜晶体管上的检查信号线包括第一 、 第二和第三检查信号线。用于检查的第二薄膜晶体管可以依次连接到第一、 第二和第三检查信号线上。连接到用于检查的第一薄膜晶体管上的检查信 号线包括第四和第五检查信号线。用于检查的第 一薄膜晶体管交替地连接 到第四和第五检查信号线上。连接到用于检查的第二薄膜晶体管上的驱动信号线包括第 一 、第二和 第三驱动信号线。用于检查的第二薄膜晶体管可以依次连接到第一、第二 和第三驱动信号线上。具有用于检查的薄膜晶体管的薄膜晶体管面板的详细结构如下。薄膜晶体管面板包括具有显示区域和围绕区域的绝缘衬底；形成在绝 缘衬底上的栅极线；形成在绝缘衬底的围绕区域上的数据驱动信号线；形 成在绝缘衬底的围绕区域上的数据检查信号线；形成在栅极线、数据驱动 信号线和数据检查信号线上的栅极绝缘层；形成在栅极绝缘层上的半导体 图案，其至少一部分与数据驱动信号线重叠；形成在第一半导体图案上并 在其间暴露出与数据驱动信号线相对应的一部分第一半导体图案的第一和 第二欧姆接触层；形成在栅极绝缘层上并与栅极线相交以限定显示区域的 数据线，其至少一部分形成在第二欧姆接触层上；形成在栅极绝缘层上的 用于检查的第一电极，其至少一部分形成在第一欧姆接触层上；形成在数 据线和用于检查的第 一电极上的钝化层；以及形成在钝化层上并与数据检 查信号线和用于检查的第一电极相连的第一连接部分。薄膜晶体管面板还包括形成在绝缘衬底的围绕区域上的栅极驱动信号 线；形成在绝缘衬底围绕区域上的栅极检查信号线；形成在栅极绝缘层上 的第二半导体图案，其至少一部分与栅极驱动信号线重叠；形成在第二半 导体图案上并在其间暴露出与栅极驱动信号线相对应的一部分第二半导体 图案的第三和第四欧姆接触层；形成在栅极绝缘层上的用于检查的第二电极，其至少一部分形成在第三欧姆接触层上；形成在栅极绝缘层上的用于 检查的第三电极，其至少一部分形成在第四欧姆接触层上；形成在钝化层 上并连接栅极线和用于^f全查的第三电极的第二连接部分；以及形成在钝化 层上并连接栅极检查信号线和用于检查的第二电极的第三连接部分。第一 到第四欧姆接触层分别形成在数据线和用于检查的第 一到第三电极的整个 表面上。薄膜晶体管面板还可以包括形成在围绕区域上的传输门电路，其输 出端子连接到数据线上；以及连接到传输门电路的输入端子上的短路条。 或还包括形成在绝缘衬底的围绕区域上并具有连接到数据线上的输出的传 输门电路；形成在绝缘衬底的围绕区域上并连接到V。ff电压施加端子上的驱 动信号线；形成在绝缘衬底的围绕区域上的检查信号线；以及用于检查的 薄膜晶体管，其具有连接到数据线上的漏极电极、连接到检查信号线上的 源极电极、以及连接到驱动信号线上的栅极电极。另外，连接到用于检查 的薄膜晶体管上的检查信号线包括第一和第二检查信号线，并且优选的是用于检查的薄膜晶体管依次连接到第一检查信号和第二检查信号上。同时，薄膜晶体管面板还包括连接到奇数数据线上的第一短路条和连 接到偶数数据线上的第二短路条。即使未形成这种逻辑电路，在如下的液晶显示器中，视觉检查通过将 V。n电压施加到栅极驱动电路的第一和第二时钟信号端子、开关电源端子、 扫描起始端子和驱动信号端子上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜晶体管面板，包括：具有显示区域和围绕区域的绝缘衬底；形成在绝缘衬底上的第一信号线；形成在绝缘衬底上并与第一信号线绝缘且交叉的第二信号线；形成在绝缘衬底的围绕区域上的多条驱动信号线；形成在绝缘衬 底的围绕区域上的多条检查信号线；　用于检查的第一薄膜晶体管，其具有连接到第一信号线上的漏极电极、连接到任一条检查信号线上的源极电极、以及连接到任一条驱动信号线上的栅极电极；以及用于检查的第二薄膜晶体管，其具有连接到第二信号线 上的漏极电极、连接到任一条检查信号线上的源极电极、以及连接到任一条驱动信号线上的栅极电极，其中所述多条驱动信号线连接到截止电压施加端子和用于检查的驱动信号施加焊盘。

【技术特征摘要】
KR 2001-10-11 62619/01;KR 2001-12-19 81049/011.一种薄膜晶体管面板，包括具有显示区域和围绕区域的绝缘衬底；形成在绝缘衬底上的第一信号线；形成在绝缘衬底上并与第一信号线绝缘且交叉的第二信号线；形成在绝缘衬底的围绕区域上的多条驱动信号线；形成在绝缘衬底的围绕区域上的多条检查信号线；用于检查的第一薄膜晶体管，其具有连接到第一信号线上的漏极电极、连接到任一条检查信号线上的源极电极、以及连接到任一条驱动信号线上的栅极电极；以及用于检查的第二薄膜晶体管，其具有连接到第二信号线上的漏极电极、连接到任一条检查信号线上的源极电极、以及连接到任一条驱动信号线上的栅极电极，其中所述多条驱动信号线连接到截止电压施加端子和用于检查的驱动信号施加焊盘。2. 如权利要求1所述的薄膜晶体管面板，其中，连接到用于检查的第 二薄膜晶体管上的检查信号线包括第一检查信号线和第二检查信号线，且用于检查的第二薄膜晶体管交替地连接到第一检查信号线和第二检查信号 线上。3. 如权利要求2所述的薄膜晶体管面板，其中，连接到用于检查的第 一薄膜晶体管上的第一检查信号线包括第三和第四检查信号线，且用于检查的第 一薄膜晶体管交替地连接到第三检查信号线和第四检查信号线上。4. 如权利要求1所述的薄膜晶体管面板，其中，连接到用于检查的第 二薄膜晶体管上的检查信号线包括第一、第二和第三检查信号线，且用于检查的第二薄膜晶体管依次连接到第一、第二和第三检查信号线上。5. 如权利要求4所述的薄膜晶体管面板，其中，连接到用于检查的第 一薄膜晶体管上的检查信号线包括第四和第五检查信号线，且用于检查的 第 一 薄膜晶体管交替地连接到第四和第五检查信号线上。6. 如权利要求1所述的薄膜晶体管面板，其中，连接到用于检查的第 二薄膜晶体管上的驱动信号线包括第一、第二和第三驱动信号线，且用于检查的第二薄膜晶体管依次连接到第一、第二和第三驱动信号线上。7. 如权利要求1所述的薄膜晶体管面板，其中所述第一信号线是栅极线，且所述第二信号线是数据线，所述第一薄膜晶体管包括 具有显示区域和围绕区域的绝缘衬底； 形成在绝缘衬底上的多条栅极线； 形成在绝缘衬底的围绕区域上的数据驱动信号线； 形成在绝缘衬底的围绕区域上的数据检查信号线； 形成在栅极线、数据驱动信号线和数据检查信号线上的栅极绝缘层； 形成在栅极绝缘层上的第一半导体图案，其至少一部分与数据驱动信号线重叠；形成在第一半导体图案上并在其间暴露出与数据驱动信号线相对应的一部分第 一半导体图案的第 一和第二欧姆接触层；形成在栅极绝缘层上并与栅极线相交的多条数据线；形成在栅极绝缘层上的用于检查的第 一 电极，其至少 一部分形成在第一欧姆接触层上；形成在数据线和用于检查的第 一 电极上的钝化层；以及 形成在钝化层上并与数据检查信号线和用于检查的第一电极相连的第一连接部分，其中所述多条数据线形成在所述栅极绝缘层上并与所述栅极线相交以 限定所述显示区域，其至少 一部分形成在第二欧姆接触层上。8. 如权利要求7所述的薄膜晶体管面板，还包括 形成在绝缘衬底的围绕区域上的栅极驱动信号线； 形成在绝缘村底的围绕区域上的片册极检查信号线； 所述第二薄膜晶体管包括形成在栅极绝缘层上的第二半导体图案，其至少一部分与栅极驱动信 号线重...

【专利技术属性】
技术研发人员：张龙圭，李源规，全珍，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]