质谱分析用基板及质谱分析用基板的制造方法技术

本发明专利技术提供一种用于高效地进行离子化的质谱用分析基板。所述质谱分析用基板由基体、在该基体上形成的多孔膜、在该多孔膜上形成的无机材料膜构成，其特征为，该无机材料膜具有相对于该基体垂直形成的多个凹部，该凹部的直径在１ｎｍ以上低于１μｍ。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于质谫分析的质谞分析用基板，更详细而言， 涉及一种用于基于激光解吸电离法的质语分析的质谱分析用基板。
技术介绍
迄今为止，质谱分析一直用作鉴定物质特别是有机物质的一种方 法。其基本原理在于，在短时间内给与试样较大能量使其离子化，用 检测装置分析该离子的质量。作为检测器，可以使用四重极质谱分析 装置、飞行时间型质谱分析装置等。特别是后者即飞行时间型检测器 目前正逐渐成为主流。作为引起离子化的能量源，可以使用居里点热裂解器(Curie point pyrolyzer )或激光。质语分析能够良好地用于低 分子量物质的分析，但测定对象物质的分子量增大时，具有引起原物 质片断化而分解成质量较小的离子的倾向。因此，公开了一种方法， 用于将此质谱分析法应用于生物分子之类分子量较大的材料的检测。 此方法称为基质辅助激光解吸电离质镨法(MALDI-MS; Matrix Assisted Laser Desorption Ionization Mass Spectrometry ) 。 i亥方；去通过 将检测对象和称为基质的材料的混合物作为试样，对其进行激光照 射，即使为分子量较大本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种质谱分析用基板，所述质谱分析用基板由基体、在该基体上形成的多孔膜、在该多孔膜上形成的无机材料膜构成，其特征为，所述无机材料膜具有相对于所述基体垂直形成的多个凹部，所述凹部的直径在１ｎｍ以上低于１μｍ。

【技术特征摘要】
JP 2006-7-11 190418/20061、一种质谱分析用基板，所述质谱分析用基板由基体、在该基体上形成的多孔膜、在该多孔膜上形成的无机材料膜构成，其特征为，所述无机材料膜具有相对于所述基体垂直形成的多个凹部，所述凹部的直径在1nm以上低于1μm。2、 如权利要求1所述的质谱分析用基板，其中，在所述凹部上 具有与构成所述无机材料膜的材料不同的导电性材料。3、 如权利要求1所述的质i普分析用基板，其中，所述无机材料 膜为硅或金属中的任一种。4、 如权利要求1所述的质语分析用基板，其中，在所述无机材 料膜的表面具有有机物，所述有机物是与形成所述无机材料膜的物质 不同的物质。5、 如权利要求1所述的质语分析用基板，其中，所述多孔膜含 有珪成分。6、 如权利要求1所述的质语分析用基板，其中，所述多孔膜含 有二氧化硅。7、 如权利要求1所述的质谦分析用基板，其中，所述多孔膜在 所述多孔膜的X射线衍射分析中在与lnm以上的结构周期相对应的 角度区域内具有1个以上的衍射峰。8、 一种质语分析用基板，所述质i普分析用基板由基体、在该基 体上形成的多孔膜、在该多孔膜上形成的无机材料膜构成，其特征为， 所述无机材料膜具有相对于所述基体垂直形成的多个凸部，所述凸部 的直径在lnm以上^f氐于1^im。9、 如权利要求8所述的质傳分析用基板，其中，在所述凸部上 具有与构成所述无机材料膜的材料不同的导电性材料。10、 一种质...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫田浩克，山内一浩，吉村公博，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]