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本发明提供一种用于高效地进行离子化的质谱用分析基板。所述质谱分析用基板由基体、在该基体上形成的多孔膜、在该多孔膜上形成的无机材料膜构成，其特征为，该无机材料膜具有相对于该基体垂直形成的多个凹部，该凹部的直径在１ｎｍ以上低于１μｍ。...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

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