用于存放光罩的光罩架制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于存放光罩的光罩架，涉及半导体制造领域的装置。该光罩架包括架体及数个隔板，所述架体包括两侧板和连接两侧板的后板，光罩从架体的前端竖直放置于每层隔板上，所述隔板以倾斜的方式安装于两侧板上，且隔板靠近架体前端的高度高于靠近架体后板的高度。与现有技术相比，本实用新型专利技术的光罩架采用倾斜隔板有效增加了存放光罩的安全性。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造领域的装置，具体地说，涉及一种用于存放光罩(mask)的光軍架。 背景技木光刻技术广泛用于半导体制造领域。进行光刻时需要用到光罩对半导体芯 片进行曝光，而且根据客户对曝光图形的不同需要，需要具有不同图形的光罩。 随着半导体芯片类型增多，光罩也越来越多，因此光罩如何存放就成为一个比 较关键的问题。目前，业界用光罩架存放光罩。较常用的光罩架有两种立拒式光罩架和 图书馆式光罩架。立拒式光罩架一般用于存放经常使用的光罩，图书馆式光罩 架一般用于不经常使用的光罩。立拒式光罩架包括四个与地面平行的隔板，每 个隔板分为四个区域，每个隔板上可以橫向(即平行于地平面的方向)放置4块光 罩，这样一个立柜式光罩架只能存放16个光罩。由于每个光罩架的成本比较高， 一个立拒式光罩架^f义能存放16个光罩，导致光罩的存放成本升高。另外，立拒 式光罩架存放的光罩是横向放置的，不方便取出和放入，且安全性不高。图书馆式光罩架，顾名思义，存放光罩的方式类似图书馆存放图书的方式， 可存放光罩数量较多。图书馆式光罩架包括安装于仓库导轨上的数个并排的架 体，使用时，摇动架体的操作杆，架体沿导轨移动，两架体间一般只能容一人 进入，受到仓库空间的限制。另外，某些情况比如清理仓库时，也需要移出图 书馆式光罩架，但现有的图书馆式是安装在仓库的导轨上的，不方便移动。虽 然图书馆式光罩架存放光罩数量较多，但其成本却是立拒式光罩架的4倍，光罩的存放成本也相对较高。有鉴于此，需要提供一种新的用于存放光罩的光罩架
技术实现思路
本技术解决的技术问题是提供一种成本较低且存放光罩安全性较高的光罩架。为解决上述技术问题，本技术提供一种用于存放光罩的光罩架，其包 括架体及数个隔板，所述架体包括两侧板和连接两侧板的后板，光罩从架体的 前端竖直放置于每层隔4反上，所述隔板以倾斜的方式安装于两侧板上，且隔板 靠近架体前端的高度高于靠近架体后板的高度。进一步地，隔板与地平面倾斜的角度为5度。进一步地，该光罩架还包括对应每层隔板保护光罩意外掉落的可移动保护杆。进一步地，可移动保护杆的两端分别可活动的连接于架体的两侧板上。 进一步地，该光罩架包括安装于隔板上的数个倒U型挡架，所述光罩竖直 放置于每两倒U型挡架之间。进一步地，每一隔板上设有数个插孔，所述倒u型挡架的两端可拆卸地插 入隔板的插孔上。进一步地，该光罩架底部还设有可移动车轮。进一步地，在光罩架底部设有4个可移动车轮。与现有技术相比，本技术光罩架通过将隔板倾斜安装于架体上，增加 了光罩放置的安全性；通过设置可移动保护杆，进一步增加光罩放置的安全性; 挡架设置成可拆卸的，根据光罩形状、大小选择最合适方式的放置光罩，增加 了该光罩架的容量；通过设置可移动车轮方便移动光罩架。附图说明通过以下对本技术一实施例结合其附图的描述，可以进一步理解其实 用新型的目的、具体结构特征和优点。其中，附图为 图1为本技术光罩架的立体示意图。 图2为本技术光罩架的正视示意图。 图3为本技术光罩架的局部剖视示意图。具体实施方式本技术提供了一种新的存放光罩的光罩架1。请参阅图1至图2,该光罩架1包括大致呈长方体的架体2、位于架体2内 的彼此平行的三个隔板3、安装于隔板3上的若千倒U型挡架4及四个可移动 的车轮6。架体2包括相对设置的两侧板22、具有若干通气孔用于连接两侧板 22顶端的顶板21、平行于顶板21的底架23和后板24 (如图3 )。在本实施例 中，三个隔板3两端是焊接于侧板22的内壁上的，显然地，对于本领域的普通装于底架23的四个角的底部以方便移动该光罩架1。请参阅图3，每个隔板3是与地平面倾斜一定角度安装的，较佳的倾斜角度 是5度，且每个隔板3靠近架体2前端8的高度高于隔板3靠近架体后板的高 度，可有效防止光罩意外掉落。每个隔板3上设有若干插孔31,所述倒U型挡架4通过两个插脚41插入 插孔31内固定于隔板3上。每两挡架4之间形成的收容槽7用于存放光罩，光 罩通过架体2的前端8竖直放置于收容槽7内。U型挡架4和隔板3的配合方 式可以根据需要调节收容槽7的大小，以占用空间最小的方式放置光罩，可有 效增加存;Jt数量。该光罩架1的前端8还设置了用于保护放置在隔板3上的光罩意外掉落的 保护杆5。如图4所示，光罩架1具有三个保护杆5,每一保护杆5两端可以采 用螺紋连接于侧板22上，也可以其他方式连接，且该保护杆5安装后是可移动 的。每一保护杆5保护一层光罩。当需要取光罩时，只要移动保护杆5就可以 取到，不影响取置的方便性；不使用时，保护杆5回到原位防止光罩意外掉落 (图2所示)。权利要求1.一种用于存放光罩的光罩架，其包括架体及数个隔板，所述架体包括两侧板和连接两侧板的后板，光罩从架体的前端竖直放置于每层隔板上，其特征在于所述隔板以倾斜的方式安装于两侧板上，且隔板靠近架体前端的高度高于靠近架体后板的高度。2. 如权利要求1所述的光罩架，其特征在于隔板与地平面倾斜的角度为5度。3. 如权利要求1所述的光罩架，其特征在于该光罩架还包括对应每层隔板保 护光罩意外掉落的可移动保护杆。4. 如权利要求3所述的光罩架，其特征在于可移动保护杆的两端分别可活动 的连接于架体的两側板上。5. 如权利要求1所述的光罩架，其特征在于该光罩架包括安装于隔板上的数 个倒U型挡架，所述光罩竖直放置于每两倒U型挡架之间。6. 如权利要求5所述的光軍架，其特征在于每一隔板上设有数个插孔，所述 倒U型挡架的两端可拆卸地插入隔板的插孔上。7. 如权利要求1所述的光罩架，其特征在于该光罩架底部还设有可移动车轮。8. 如权利要求7所述的光罩架，其特征在于在光罩架底部设有4个可移动车 轮。专利摘要本技术公开了一种用于存放光罩的光罩架，涉及半导体制造领域的装置。该光罩架包括架体及数个隔板，所述架体包括两侧板和连接两侧板的后板，光罩从架体的前端竖直放置于每层隔板上，所述隔板以倾斜的方式安装于两侧板上，且隔板靠近架体前端的高度高于靠近架体后板的高度。与现有技术相比，本技术的光罩架采用倾斜隔板有效增加了存放光罩的安全性。文档编号G03F7/20GK201035321SQ200720069180公开日2008年3月12日 申请日期2007年4月20日 优先权日2007年4月20日专利技术者何少平, 颖 杨, 丹 郑 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于存放光罩的光罩架，其包括架体及数个隔板，所述架体包括两侧板和连接两侧板的后板，光罩从架体的前端竖直放置于每层隔板上，其特征在于：所述隔板以倾斜的方式安装于两侧板上，且隔板靠近架体前端的高度高于靠近架体后板的高度。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郑丹，何少平，杨颖，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[]