【技术实现步骤摘要】
一种芯片晶圆加工用切割装置
本专利技术涉及切割装置结构领域,特别涉及一种芯片晶圆加工用切割装置。
技术介绍
芯片晶圆加工用切割装置,即是利用激光对芯片晶圆按需求进行剪切,现有的公开专利CN109920759A中的切割装置,在使用中具有缺陷,芯片晶圆直接放置在切割区域,固定效果较差,在切割过程中,芯片晶圆存在移动的情况,影响切割质量,同时不具有清洁的功能,切割产生的碎屑,易落入到装置内各个零件的内部,影响正常工作,为此,我们提出一种芯片晶圆加工用切割装置。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种芯片晶圆加工用切割装置,可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的,本专利技术采取的技术方案为:一种芯片晶圆加工用切割装置,包括装置主体,所述装置主体的上端设置有激光切割装置,所述装置主体的两侧设置有散热窗,所述装置主体的下端设置有支撑脚,所述装置主体的上表面设置有漏口,所述激光切割装置的下端设置有固定装置,所述装置主体的外表面设置有显示屏,所述显示屏的下侧设置有控制按钮,所述装置主体的下表面设置有 ...
【技术保护点】
1.一种芯片晶圆加工用切割装置,包括装置主体(1),其特征在于:所述装置主体(1)的上端设置有激光切割装置(5),所述装置主体(1)的两侧设置有散热窗(3),所述装置主体(1)的下端设置有支撑脚(2),所述装置主体(1)的上表面设置有漏口(11),所述激光切割装置(5)的下端设置有固定装置(4),所述装置主体(1)的外表面设置有显示屏(6),所述显示屏(6)的下侧设置有控制按钮(7),所述装置主体(1)的下表面设置有储物箱(10),所述储物箱(10)的内部设置有储屑箱(8),所述储屑箱(8)的外表面设置有拉手(9)。/n
【技术特征摘要】
1.一种芯片晶圆加工用切割装置,包括装置主体(1),其特征在于:所述装置主体(1)的上端设置有激光切割装置(5),所述装置主体(1)的两侧设置有散热窗(3),所述装置主体(1)的下端设置有支撑脚(2),所述装置主体(1)的上表面设置有漏口(11),所述激光切割装置(5)的下端设置有固定装置(4),所述装置主体(1)的外表面设置有显示屏(6),所述显示屏(6)的下侧设置有控制按钮(7),所述装置主体(1)的下表面设置有储物箱(10),所述储物箱(10)的内部设置有储屑箱(8),所述储屑箱(8)的外表面设置有拉手(9)。
2.根据权利要求1所述的一种芯片晶圆加工用切割装置,其特征在于:所述散热窗(3)的数量为两组,所述散热窗(3)对称分布于装置主体(1)的两侧,所述激光切割装置(5)活动安装于装置主体(1)的上端内部,所述固定装置(4)固定安装于装置主体(1)的上端。
3.根据权利要求1所述的一种芯片晶圆加工用切割装置,其特征在于:所述显示屏(6)的数量为两组,所述显示屏(6)固定安装于装置主体(1)表面,所述控制按钮(7)的数量为若干组,所述控制按钮(7)均匀分布于显示屏(6)的下端,所述控制按钮(7)与显示屏(6)之间为电性连接。
4.根据权利要求1所述的一种芯片晶圆加工用切割装置,其特征在于:所述储物箱(10)与装置主体(1)之间为固定安装,所述储屑箱(8)与储物箱(10)之间为活动安装,所述漏口(11)贯穿于装置主体(1)上表面,所述储物箱(10)的内部设置有风机(12),所述风机(12)与储物箱(10)之间为固定连接,所述装置主体(1)的侧边内表面设置有吸气孔(23),所述吸气孔(23)的数量为若干组,所述吸气孔(23)与风机(12)之间设置有通风管(13)...
【专利技术属性】
技术研发人员:任晓伟,
申请(专利权)人:复汉海志江苏科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。