【技术实现步骤摘要】
用于半导体器件封装的可搬运级联式百级洁净装置及方法
本专利技术属于半导体器件封装的洁净装置
，更具体地，涉及用于半导体器件封装的可搬运级联式百级洁净装置及方法。
技术介绍
各种净化级别的洁净室、环境本质上都可以称之为是一种隔离装置，使加工工序过程及其所加工的产品远离和隔离污染，提高成品的优良率。洁净技术本质就是隔离技术，在洁净技术的发展中曾依次使用过四种半导体工业中的洁净室模式，它们是：全室型、混合型、洁净隧道型和洁净管理型。从四种洁净室的发展方向可以看出，洁净技术的发展方向就是在努力提高洁净度等级的同时，尽可能的减少超洁净区域的容积，降低洁净厂房的造价和运行费用，达到最小化生产成本的目的。目前现有百级洁净间建造费用昂贵，一次性建设组装固定后无法进行移动，且占地面积较大。因此，本领域技术人员亟待提供一种移动方便且占地面积小的百级洁净装置。
技术实现思路
针对现有技术的以上缺陷或改进需求，本专利技术提供用于半导体器件封装的可搬运级联式百级洁净装置及方法。本专利技术实现了百级洁净装置自由移动、占...
【技术保护点】
1.一种用于半导体器件封装的可搬运级联式百级洁净装置，其特征在于，包括：/n依次连通设置样品除水操作橱、真空周转箱以及键合工艺橱；/n所述样品除水操作橱的侧壁设有第一进口、第一出口、洁净气体进气口和单向排气构造；所述第一进口设有用于启闭所述第一进口的第一进口阀门；所述第一出口与所述真空周转箱连通；洁净气体由所述洁净气体进气口进入所述样品除水操作橱的内部空间并对所述内部空间进行吹扫和增压以干燥和洁净所述内部空间，后由所述单向排气构造排出所述内部空间；/n所述真空周转箱的侧壁设有第二进口、第二出口和用于抽真空的真空抽气口；所述第二进口设有用于启闭所述第二进口的第二进口阀门，所述...
【技术特征摘要】
1.一种用于半导体器件封装的可搬运级联式百级洁净装置，其特征在于，包括：
依次连通设置样品除水操作橱、真空周转箱以及键合工艺橱；
所述样品除水操作橱的侧壁设有第一进口、第一出口、洁净气体进气口和单向排气构造；所述第一进口设有用于启闭所述第一进口的第一进口阀门；所述第一出口与所述真空周转箱连通；洁净气体由所述洁净气体进气口进入所述样品除水操作橱的内部空间并对所述内部空间进行吹扫和增压以干燥和洁净所述内部空间，后由所述单向排气构造排出所述内部空间；
所述真空周转箱的侧壁设有第二进口、第二出口和用于抽真空的真空抽气口；所述第二进口设有用于启闭所述第二进口的第二进口阀门，所述第一出口和所述第二进口通过所述第二进口阀门实现导通或封堵；所述第二出口设有用于启闭所述第二出口的第一出口阀门；
所述键合工艺橱的侧壁设有第三进口，所述第三进口和所述第二出口通过所述第一出口阀门实现导通或封堵；
所述键合工艺橱的侧壁设有无氧洁净气体进气口、用于监测所述内部腔室的压强的压力表和用于所述内部腔室泄压的泄压阀；
无氧洁净气体由所述无氧洁净气体进气口进入所述内部腔室以使得所述内部腔室形成一正压腔体。
2.如权利要求1所述的用于半导体器件封装的可搬运级联式百级洁净装置，其特征在于，还包括：
周转箱和化学清洗通风橱，所述化学清洗通风橱通过所述周转箱与所述样品除水操作橱连通；
所述周转箱的侧壁设有第四进口和第三出口，所述第四进口设有用于启闭所述第四进口的第三进口阀门；所述第三出口和所述第一进口通过所述第一进口阀门实现导通或封堵；
所述化学清洗通风橱包括通风橱体、清洗池、冲洗管、废液收集箱和排气系统；
所述通风橱体的侧壁设有用于过滤进入所述通风橱体的内部空腔的气流的过滤组件、用于将待清洗物品送入所述内部空腔的第五进口以及用于与所述第四进口连通的第四出口，所述第四出口和所述第四进口通过所述第三进口阀门实现导通或封堵；所述第五进口设有用于启闭所述第五进口的第四进口阀门；
一个以上清洗池设置于所述通风橱体，且所述清洗池与所述内部空腔连通；所述清洗池配置有所述冲洗管和所述废液收集箱；
所述排气系统与所述内部空腔连通，用于抽出所述内部空腔的气体。
3.如权利要求2所述的用于半导体器件封装的可搬运级联式百级洁净装置，其特征在于：
所述通风橱体的外侧壁对应所述第五进口围设有进物通道，所述进入通道远离所述第五进口一侧的端部设有所述第四进口阀门。
4.如权利要求2所述的用于半导体器件封装的可搬运级联式百级洁净装置，其特征在于：
所述内部空腔对应所述第五进口容置有载物台；和/或，
所述通风橱体、所述样品除水操作橱、所述键合工艺橱三个设...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵坤，王晓飞，胡金萌，庹文波，李子熙，张璐，姜永亮，李强，
申请(专利权)人：武汉光谷航天三江激光产业技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42
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