【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于在衬底表面形成由多层组成的膜的薄膜形成装置和一种制造光学元件的方法，其中该光学元件有一个衬底和一个由形成在该衬底表面上的多层组成的光学薄膜。
技术介绍
在诸如滤光片、透镜和反射镜的光学元件中，通常在这种光学元件的表面上形成由多层组成的光学薄膜，目的在于把各个波长处的透射率和反射率调节到特定的特性，把在各个波长处的相位特性调节到特定的特性，或提供抗反射特性。这种薄膜中的层数可以达到几十层，并且可以通过控制构成此光学薄膜的各个层的厚度来获得特定的光学特性。将诸如溅射装置和真空蒸发装置的薄膜形成装置用于形成这种光学薄膜或其它薄膜。在常规的薄膜形成装置中，安装有可见区域光学监视器，其根据形成在薄膜中的各层测量可见区域内波段的光谱特性，并试图获得具有理想特性的薄膜，该薄膜的理想特性通过确定根据由该可见区域光学监视器测得的光谱特性形成的各个层的膜厚度、并通过使形成为一定中间层的各个膜层厚度反映到随后形成的层的膜厚度中来精确地再现。例如日本专利申请JP2001-174226中所述的技术。但是，在此常规的薄膜形成装置中，只安装可见区域光学监视器作为测量由...
【技术保护点】
一种薄膜形成装置，用于在衬底表面上形成由多层组成的膜，该薄膜形成装置包括：第一光学监视器，测量形成的层在第一波段中显现的光谱特性；和第二光学监视器，测量形成的层在第二波段中显现的光谱特性。
【技术特征摘要】
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