光元件,生产该元件的方法,和光拾取器技术

一种具有由光材料形成的基底的光元件，能够提高机械强度，其中基底具有一个起凸透镜作用的凸起部分，一个位于凸起部分周围的平面部分，和一个位于平面部分周围的外圆周部分。在外圆周部分处的基底的厚度比在平面部分处基底的厚度厚。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光元件，生产该元件的方法，和包括该光元件的光拾取器。
技术介绍
近来，需要制造高密度光盘存储介质。因此，在光盘设备中，对缩短光源的波长和增大再现光盘系统的数值孔径(NA)的研究和开发已经进行。另外，希望增加在这种再现光盘系统中的数据传输率。当缩短光源的波长和增大再现光盘系统的NA时，除了光点的尺寸变小的事实之外，焦深变浅，所以希望减少聚焦伺服误差。另外，光盘存储介质的数据记录宽度(轨道宽度)变窄，所以希望减少跟踪伺服误差。为了增加数据传输率，希望使用于聚焦伺服和跟踪伺服的激励器的带宽更高。结果，伺服特征要求两种改善减少误差的残余量和提高带宽。激励器能够通过减少激励器的重量提高它的伺服特征。附图说明图1A是说明相关技术光元件的剖面图，图1B是图1A中光元件的平面图。这个光元件10具有由光材料形成的基底14A。基底14A具有一个形成凸透镜的凸起部分11和位于该凸起部分11的周围的平面部分12。光元件10能够通过热处理由形成在平面光材料的前表面上的圆屏蔽层形成，来通过表面张力形成透镜形状，然后蚀刻平面光材料使得透镜形被转到光材料上。当通过蚀刻传递该形状的时候，在凸起部分11的外圆周形成一个被称为“沟”的凹槽19。凹槽19清楚地把凸起部分11和平面部分12分开。在图1A和1B的光元件10中，除了凸起部分11的其它部分被蚀刻掉从而形成薄的平面形状。当与其它光元件结合使用这个光元件10的时候，必须注意在其它结合的光元件中的光路被保持。图2A和2B是在图1A和1B中的光元件10的剖面图和它的透镜保持器。图2A显示了当通过透镜保持器10A夹住光元件10的平面部分12的圆周边缘的情况。图2B显示了当通过透镜保持器10B夹住光元件10的平面部分12的上表面的情况。如图2A和2B所示，为了把图1A和1B中的光元件10装配在透镜保持器10A和10B上，必须增大平面部分12。另外，考虑到在连接和挤压出多余粘合剂时位置的偏差，不仅在当使用与其它光元件相结合的光元件10时的情况下，必须增大平面部分12。例如，当凸起部分11具有大约200μm的凸透镜的有效直径(直径)和具有大约150μm的凸透镜的曲率半径的时候，平面部分12的厚度变为大约50μm或者更小。假如在连接过程的定位精度的公差和被积压出的粘合剂量之和是大约500μm，凸透镜最终被定位在大约50μm厚度和大约500μm长度的薄板上。因此，提高其机械强度是如图1A和1B所示的光元件希望的。另外，因为平板部分12是薄的，由于在厚度方向的振动导致的共振容易发生。因此，希望形成不容易共振的结构。
技术实现思路
本专利技术的一个目的是提供一种具有由光材料形成的，具有提高的机械强度和没有临界共振的基底的光元件。本专利技术的另一个目的是提供一种具有该光元件的光拾取器。本专利技术的另外一个目的是提供一种用于有效和高准确地生产该光元件的方法。根据本专利技术的第一方面，提供一种具有由光材料形成的基底的光元件，其中该基底具有一个起凸透镜作用的凸起部分，一个位于凸起部分周围的平面部分，和位于平面部分周围的外圆周部分，外圆周部分的厚度比平面部分的厚度厚。更好地，外圆周部分的厚度比凸起部分的厚度厚。更好地，基底具有形成在凸起部分和平面部分之间的界限上的第一凹槽，用来定义凸起部分的范围。更好地，基底具有形成在所述平面部分和所述外圆周部分之间的界限上的第二凹槽，用来定义所述平面部分的范围。更好地，光材料由熔凝石英组成。更好地，外圆周部分的表面是平的或者是近似平的。更好地，在外圆周部分上形成多个台阶，并且基底在外侧台阶处的厚度比基底在内侧台阶处的厚度要厚。根据本专利技术的第一方面，提供一种具有由光材料形成的基底的光元件，其中该基底具有一个起凸透镜作用的凸起部分，一个位于凸起部分周围的平面部分，位于平面部分周围的外圆周部分，形成在凸起部分和平面部分之间的界限处的第一凹槽，用来定义凸起部分的范围，和形成在平面部分和外圆周部分之间的界限处的第二凹槽，用来定义平面部分的范围，其中外圆周部分的厚度比平面部分的厚度厚，平面部分和外圆周部分二者在厚度方向具有平面形状，并且凸起部分，平面部分，和外圆周部分通过基底被集成成一个单元。根据本专利技术的第一方面，提供一种具有由光材料形成的基底的光元件，其中该基底具有一个起凸透镜作用的凸起部分，一个位于凸起部分周围的平面部分，位于平面部分周围的外圆周部分，形成在凸起部分和平面部分之间的界限处的一凹槽，用来定义凸起部分的范围，其中外圆周部分的厚度比凸起部分的厚度厚，平面部分和外圆周部分二者在厚度方向具有平面形状，并且凸起部分，平面部分，和外圆周部分通过基底被集成成一个单元。根据本专利技术的第一方面，提供一种具有由光材料形成的基底的光元件，其中该基底具有一个起凸透镜作用的凸起部分，一个位于凸起部分周围的平面部分，位于平面部分周围的第一外圆周部分，位于第一外圆周部分周围的第二外圆周部分，形成在凸起部分和平面部分之间的界限处的第三凹槽，用来定义凸起部分的范围，和形成在平面部分和第一外圆周部分之间的界限处的第四凹槽，用来定义平面部分的范围，其中第一和第二外圆周部分的厚度比平面部分的厚度厚，并且第二外圆周部分的厚度比第一外圆周部分的厚度厚，所有的平面部分与第一和第二外圆周部分在厚度方向具有平面形状，并且凸起部分，平面部分，和第一和第二外圆周部分通过基底被集成成一个单元。根据本专利技术的第二方面，提供一种用于制造光元件的方法，包括步骤在由光材料形成的基底上形成第一屏蔽层和围绕第一屏蔽层的第二屏蔽层，热处理第一屏蔽层来把它形成凸透镜形状，和蚀刻基底来把第一屏蔽层的凸透镜形状转换到基底上。更好地，在形成第一和第二屏蔽层的步骤中，通过在基底上由感光材料形成的屏蔽层上形成图案形成第一和第二屏蔽层。更好地，在热处理第一屏蔽层来形成凸透镜形状的步骤中，热处理温度高于第一屏蔽层的玻变温度。更好地，在热处理第一屏蔽层来形成凸透镜形状的步骤中，热处理温度低于第一屏蔽层的碳化温度。更好地，在热处理第一屏蔽层来形成凸透镜形状的步骤中，热处理温度高于室温或常温。更好地，在形成第一和第二屏蔽层的步骤中，具有敞开部分的第二屏蔽层被形成，然后第一屏蔽层被形成在敞开部分。在这种情况下，第二屏蔽层由抗蚀材料形成。更好地，第二屏蔽层包括由抗蚀材料形成的第三屏蔽层和重叠在第三屏蔽层上使得覆盖基底上的第三屏蔽层的第四屏蔽层。在这种情况下，第四屏蔽层由与第一屏蔽层相同的材料形成。更好地，基底由熔凝石英形成，第一和第四屏蔽层由具有用于形成厚膜的良好特性的光学透明材料形成，和第二和第三屏蔽层由铂形成。根据本专利技术的第三方面，提供一种具有光元件和光电探测器的光拾取器，当安装在光存储介质的记录和/或再现设备上时光元件起到物镜的作用，光电探测器用来接收用于记录和/或再现到和从光存储介质的反射光束，光元件包括由光材料形成的基底，该基底包括一个起凸透镜作用的凸起部分，一个位于凸起部分周围的平面部分，和位于平面部分周围的外圆周部分，外圆周部分的厚度比平面部分的厚度厚从而提高了机械强度和增加了共振频率。更好地，外圆周部分的厚度比凸起部分的厚度厚。更好地，外圆周部分的表面是平的或者是近似平的。光元件的控制通过这种结构是容易的。更好地，在外圆周部分上形成多个台阶，并本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有由光材料形成的基底的光元件，所述基底包括：一个起凸透镜作用的凸起部分；一个位于所述凸起部分周围的平面部分；和一个位于所述平面部分周围的外圆周部分，其中所述外圆周部分的厚度比所述平面部分的厚度厚，从而机械强度被提高，并且共振频率被增加。

【技术特征摘要】
JP 2000-8-22 251240/001.一种具有由光材料形成的基底的光元件，所述基底包括一个起凸透镜作用的凸起部分；一个位于所述凸起部分周围的平面部分；和一个位于所述平面部分周围的外圆周部分，其中所述外圆周部分的厚度比所述平面部分的厚度厚，从而机械强度被提高，并且共振频率被增加。2.根据权利要求1的光元件，其中所述外圆周部分的厚度比所述凸起部分的厚度厚。3.根据权利要求1的光元件，其中所述基底包括形成在所述凸起部分和所述平面部分之间的界限上的第一凹槽，用来定义所述凸起部分的范围。4.根据权利要求3的光元件，其中所述基底包括形成在所述平面部分和所述外圆周部分之间的界限上的第二凹槽，用来定义所述平面部分的范围。5.根据权利要求1的光元件，其中所述光材料由熔凝石英组成。6.根据权利要求1的光元件，其中所述外圆周部分的表面是平的或者是近似平的，并且从而容易被保持。7.根据权利要求1的光元件，其中在所述外圆周部分上形成多个台阶，所述基底在外侧台阶处的厚度比所述基底在内侧台阶处的厚度要厚，并且从而防止遮蔽。8.一种具有由光材料形成的基底的光元件，所述基底包括一个起凸透镜作用的凸起部分；一个位于所述凸起部分周围的平面部分；一个位于所述平面部分周围的外圆周部分；形成在所述凸起部分和所述平面部分之间的界限处的第一凹槽，用来定义所述凸起部分的范围；和形成在所述平面部分和所述外圆周部分之间的界限处的第二凹槽，用来定义所述平面部分的范围，其中所述外圆周部分的厚度比所述平面部分的厚度厚；所述平面部分和所述外圆周部分二者在厚度方向具有平面形状；和所述凸起部分，所述平面部分，和所述外圆周部分通过所述基底被结合成一个单元。9.一种具有由光材料形成的基底的光元件，所述基底包括一个起凸透镜作用的凸起部分；一个位于所述凸起部分周围的平面部分；一个位于所述平面部分周围的外圆周部分；和形成在所述凸起部分和所述平面部分之间的界限处的一凹槽，用来定义所述凸起部分的范围，其中所述外圆周部分的厚度比所述凸起部分的厚度厚；所述平面部分和所述外圆周部分二者在厚度方向具有平面形状；和所述凸起部分，所述平面部分，和所述外圆周部分通过所述基底被结合成一个单元。10.一种具有由光材料形成的基底的光元件，所述基底包括一个起凸透镜作用的凸起部分；一个位于所述凸起部分周围的平面部分；一个位于所述平面部分周围的第一外圆周部分；一个位于所述第一外圆周部分周围的第二外圆周部分；形成在所述凸起部分和所述平面部分之间的界限处的第三凹槽，用来定义所述凸起部分的范围；和形成在所述平面部分和所述第一外圆周部分之间的界限处的第四凹槽，用来定义所述平面部分的范围，其中所述第一和第二外圆周部分的厚度比所述平面部分的厚度厚，并且所述第二外圆周部分的厚度比所述第一外圆周部分的厚度厚；所...

【专利技术属性】
技术研发人员：木岛公一朗，河内山彰，
申请(专利权)人：索尼公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]