蒸发源装置、成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种蒸发源装置、成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法，可以通过简单的控制进行控制，以便在针对容器的开口部附近防止过度的温度上升并保持为高温的状态下将蒸镀速率保持恒定。容器(244)具有：放出被加热后的蒸镀材料(242)的开口部(244e)、第一区域(244a)、以及相比第一区域从开口部离开的区域即第二区域(244b)，蒸发源装置具有：对第一区域进行加热的第一加热器、对第二区域进行加热的第二加热器、分别独立地控制第一加热器和第二加热器的控制部、以及配置在第一加热器和第二加热器之间并至少对来自第一加热器的热的至少一部分进行反射的中间反射部件，随着收容于容器的蒸镀材料的减少而提高向第二加热器输入的电力。

【技术实现步骤摘要】
蒸发源装置、成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法
本专利技术涉及蒸发源装置、成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法。
技术介绍
近年来，作为显示器的一种，具备使用了有机材料的电场发光的有机EL元件的有机EL装置备受关注。在该有机EL显示器等有机电子器件制造中，具有如下工序：使用蒸发源装置在基板上蒸镀有机材料、金属电极材料等蒸镀材料来进行成膜。在蒸镀工序中使用的蒸发源装置具有：作为收容蒸镀材料的容器的功能；以及用于使蒸镀材料的温度上升而使其蒸发，并使其附着在基板的表面的加热功能。作为以往的蒸发源装置，例如，如专利文献1所记载的那样，具有对容器的上部进行加热的上部加热器(第一加热器)和对坩埚的下部进行加热的下部加热器(第二加热器)并对两个加热器独立地进行加热控制的蒸发源装置是已知的。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2019-31705号公报专利技术要解决的课题在使用专利文献1那样的具有两个加热器的蒸发源装置进行蒸镀的情况下，为了抑制蒸镀材料向容器的开口部的附着，优选将容器开口部附近保持为高温。但是，若欲以将容器的开口部附近保持为高温并将蒸镀速率保持恒定的方式进行加热器的加热控制，则有可能受到来自下部加热器的辐射热的影响而使得容器坩埚的开口部附近的温度过度上升从而使材料劣化。因此，需要考虑来自下部加热器的辐射热来对上部加热器进行加热控制，会产生各加热器的加热控制变得复杂这种课题。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述课题而作出的，其目的在于提供一种蒸发源装置、成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法，可以通过简单的控制进行控制，以便在针对容器的开口部附近抑制过度的温度上升并保持为高温的状态下将蒸发速率保持恒定。用于解决课题的方案为了实现上述目的，本专利技术的第一蒸发源装置对收容有蒸镀材料的容器进行加热，其特征在于，所述容器具有：放出被加热后的蒸镀材料的开口部、第一区域、以及相比所述第一区域从所述开口部离开的区域即第二区域，所述蒸发源装置具有：第一加热器，所述第一加热器对所述第一区域进行加热；第二加热器，所述第二加热器对所述第二区域进行加热；控制部，所述控制部分别独立地控制所述第一加热器和所述第二加热器；以及中间反射部件，所述中间反射部件配置在所述第一加热器与所述第二加热器之间，对来自所述第一加热器的热的至少一部分进行反射，所述控制部随着收容于所述容器的蒸镀材料的减少而提高向所述第二加热器输入的电力。另外，本专利技术的第二蒸发源装置对收容有蒸镀材料的容器进行加热，其特征在于，所述容器具有：放出被加热后的所述蒸镀材料的开口部、第一区域、以及相比所述第一区域从所述开口部离开的区域即第二区域，所述蒸发源装置具有：第一加热器，所述第一加热器对所述第一区域进行加热；第二加热器，所述第二加热器对所述第二区域进行加热；控制部，所述控制部分别独立地控制所述第一加热器和所述第二加热器；以及中间反射部件，所述中间反射部件配置在所述第一加热器与所述第二加热器之间，对来自所述第一加热器的热的至少一部分进行反射，所述控制部进行第一加热控制和第二加热控制，在所述第一加热控制中，向所述第一加热器输入第一电力，并且，向所述第二加热器输入第二电力，在进行所述第一加热控制之后，在所述第二加热控制中，向所述第一加热器输入所述第一电力，并且，向所述第二加热器输入比所述第二电力大的第三电力。另外，本专利技术的第一成膜装置的特征在于，具备蒸发源装置和真空腔，在所述真空腔内配置有所述蒸发源装置并进行蒸镀材料的蒸镀，所述蒸发源装置对收容有所述蒸镀材料的容器进行加热，所述容器具有：放出被加热后的蒸镀材料的开口部、第一区域、以及相比所述第一区域从所述开口部离开的区域即第二区域，所述蒸发源装置具有：第一加热器，所述第一加热器对所述第一区域进行加热；第二加热器，所述第二加热器对所述第二区域进行加热；控制部，所述控制部分别独立地控制所述第一加热器和所述第二加热器；以及中间反射部件，所述中间反射部件配置在所述第一加热器与所述第二加热器之间，对来自所述第一加热器的热的至少一部分进行反射，所述控制部随着收容于所述容器的蒸镀材料的减少而提高向所述第二加热器输入的电力。另外，本专利技术的第二成膜装置的特征在于，具备蒸发源装置和真空腔，在所述真空腔内配置有所述蒸发源装置并进行蒸镀材料的蒸镀，所述蒸发源装置对收容有所述蒸镀材料的容器进行加热，所述容器具有：放出被加热后的所述蒸镀材料的开口部、第一区域、以及相比所述第一区域从所述开口部离开的区域即第二区域，所述蒸发源装置具有：第一加热器，所述第一加热器对所述第一区域进行加热；第二加热器，所述第二加热器对所述第二区域进行加热；控制部，所述控制部分别独立地控制所述第一加热器和所述第二加热器；以及中间反射部件，所述中间反射部件配置在所述第一加热器与所述第二加热器之间，对来自所述第一加热器的热的至少一部分进行反射，所述控制部进行第一加热控制和第二加热控制，在所述第一加热控制中，向所述第一加热器输入第一电力，并且，向所述第二加热器输入第二电力，在进行所述第一加热控制之后，在所述第二加热控制中，向所述第一加热器输入所述第一电力，并且，向所述第二加热器输入比所述第二电力大的第三电力。另外，本专利技术的第一成膜方法对收容有蒸镀材料的容器进行加热而对被蒸镀体进行所述蒸镀材料的蒸镀，其特征在于，所述容器具有：放出被加热后的所述蒸镀材料的开口部、第一区域、以及相比所述第一区域从所述开口部离开的区域即第二区域，具有：第一加热器，所述第一加热器对所述第一区域进行加热；第二加热器，所述第二加热器对所述第二区域进行加热；以及中间反射部件，所述中间反射部件配置在所述第一加热器与所述第二加热器之间，对来自所述第一加热器的热的至少一部分进行反射，所述成膜方法根据进行蒸发的所述蒸镀材料的减少，提高向所述第二加热器输入的电力。另外，本专利技术的第二成膜方法对收容有蒸镀材料的容器进行加热而对被蒸镀体进行所述蒸镀材料的蒸镀，其特征在于，所述容器具有：放出被加热后的所述蒸镀材料的开口部、第一区域、以及相比所述第一区域从所述开口部离开的区域即第二区域，具有：第一加热器，所述第一加热器对所述第一区域进行加热；第二加热器，所述第二加热器对所述第二区域进行加热；以及中间反射部件，所述中间反射部件配置在所述第一加热器与所述第二加热器之间，对来自所述第一加热器的热的至少一部分进行反射，所述成膜方法进行第一加热控制和第二加热控制，在所述第一加热控制中，向所述第一加热器输入第一电力，并且，向所述第二加热器输入第二电力，在进行所述第一加热控制之后，在所述第二加热控制中，向所述第一加热器输入所述第一电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸发源装置，对收容有蒸镀材料的容器进行加热，其特征在于，/n所述容器具有：放出被加热后的蒸镀材料的开口部、第一区域、以及相比所述第一区域从所述开口部离开的区域即第二区域，/n所述蒸发源装置具有：/n第一加热器，所述第一加热器对所述第一区域进行加热；/n第二加热器，所述第二加热器对所述第二区域进行加热；/n控制部，所述控制部分别独立地控制所述第一加热器和所述第二加热器；以及/n中间反射部件，所述中间反射部件配置在所述第一加热器与所述第二加热器之间，对来自所述第一加热器的热的至少一部分进行反射，/n所述控制部随着收容于所述容器的蒸镀材料的减少而提高向所述第二加热器输入的电力。/n

【技术特征摘要】
20190528 JP 2019-0990341.一种蒸发源装置，对收容有蒸镀材料的容器进行加热，其特征在于，
所述容器具有：放出被加热后的蒸镀材料的开口部、第一区域、以及相比所述第一区域从所述开口部离开的区域即第二区域，
所述蒸发源装置具有：
第一加热器，所述第一加热器对所述第一区域进行加热；
第二加热器，所述第二加热器对所述第二区域进行加热；
控制部，所述控制部分别独立地控制所述第一加热器和所述第二加热器；以及
中间反射部件，所述中间反射部件配置在所述第一加热器与所述第二加热器之间，对来自所述第一加热器的热的至少一部分进行反射，
所述控制部随着收容于所述容器的蒸镀材料的减少而提高向所述第二加热器输入的电力。


2.一种蒸发源装置，对收容有蒸镀材料的容器进行加热，其特征在于，
所述容器具有：放出被加热后的所述蒸镀材料的开口部、第一区域、以及相比所述第一区域从所述开口部离开的区域即第二区域，
所述蒸发源装置具有：
第一加热器，所述第一加热器对所述第一区域进行加热；
第二加热器，所述第二加热器对所述第二区域进行加热；
控制部，所述控制部分别独立地控制所述第一加热器和所述第二加热器；以及
中间反射部件，所述中间反射部件配置在所述第一加热器与所述第二加热器之间，对来自所述第一加热器的热的至少一部分进行反射，
所述控制部进行第一加热控制和第二加热控制，
在所述第一加热控制中，向所述第一加热器输入第一电力，并且，向所述第二加热器输入第二电力，
在进行所述第一加热控制之后，在所述第二加热控制中，向所述第一加热器输入所述第一电力，并且，向所述第二加热器输入比所述第二电力大的第三电力。


3.如权利要求1或2所述的蒸发源装置，其特征在于，
所述中间反射部件的与所述第一加热器相向的面为反射面。


4.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，
所述控制部随着收容于所述容器的蒸镀材料的减少，维持所述第一加热器的输出并且增大向所述第二加热器输入的电力。


5.如权利要求4所述的蒸发源装置，其特征在于，
所述蒸发源装置还具备检测所述第一加热器附近的温度的温度检测构件，
所述控制部基于所述温度检测构件的检测信号，调节所述第一加热器的输出，以便将所述第一加热器附近的温度保持恒定。


6.如权利要求1或2所述的蒸发源装置，其特征在于，
所述蒸发源装置具备检测所述蒸镀材料的蒸发速率的速率检测构件，
所述控制部基于来自所述速率检测构件的信号来调节向所述第二加热器输入的电力。

【专利技术属性】
技术研发人员：菅原由季，风间良秋，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP