【技术实现步骤摘要】
一种原位拉曼光谱检测的蒸发镀膜设备
本专利技术涉及镀膜设备的
，尤其是一种原位拉曼光谱检测的蒸发镀膜设备。
技术介绍
镀膜的应用比较广泛，一般常见的有汽车镀膜以及光学镜片镀膜，而本专利技术中针对的是光学镜片的镀膜，现代光学透镜通常都镀有单层或多层氟化镁的增透膜，本专利技术中的端盖下方是连接有镀膜室的，两者是可拆卸的，目前已有的镀膜方式为用喷枪将需要镀的膜料气化喷出以喷洒在被镀基片上，这种镀膜方式不严谨，没有在真空的环境下实现膜料的气化容易使金属膜料气化后被氧化，也会受到空气的影响而使得镀膜不均匀，无法实现快速的膜料切换；而且现有的镀膜方式均是先将基片镀完之后人工取出放入检测机构内进行原位拉曼光谱检测，因此本专利技术需要的解决的问题是如何在真空环境下对基片的膜料进行切换，且将原位拉曼光谱检测同时应用在镀膜设备中，先镀膜后检测无需再将膜片取出检测。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种能够分别在同腔体内对多种不同膜料的热蒸发以及能将镀膜后的基片进行拉曼光谱检测的设备。本...
【技术保护点】
1.一种原位拉曼光谱检测的蒸发镀膜设备，其特征在于：包括端盖(1)、热蒸发腔体(2)、膜厚检测机构(3)、热蒸发机构(5)以及真空机构(4)，所述端盖(1)连接在镀膜室上，所述端盖(1)上设有拉曼检测口(6)、光电组件以及观察窗(8)，所述拉曼检测口(6)上安装有拉曼光谱检测仪，所述光电组件用于控制光电射线的开闭，所述热蒸发腔体(2)位于端盖(1)上，所述膜厚检测机构(3)、热蒸发机构(5)以及真空机构(4)均与热蒸发腔体(2)相通，所述膜厚检测机构(3)用于检测基片镀膜的厚度，所述真空机构(4)用于将热蒸发腔体(2)内进行真空，所述热蒸发机构(5)位于热蒸发腔体(2)顶部...
【技术特征摘要】
1.一种原位拉曼光谱检测的蒸发镀膜设备，其特征在于：包括端盖(1)、热蒸发腔体(2)、膜厚检测机构(3)、热蒸发机构(5)以及真空机构(4)，所述端盖(1)连接在镀膜室上，所述端盖(1)上设有拉曼检测口(6)、光电组件以及观察窗(8)，所述拉曼检测口(6)上安装有拉曼光谱检测仪，所述光电组件用于控制光电射线的开闭，所述热蒸发腔体(2)位于端盖(1)上，所述膜厚检测机构(3)、热蒸发机构(5)以及真空机构(4)均与热蒸发腔体(2)相通，所述膜厚检测机构(3)用于检测基片镀膜的厚度，所述真空机构(4)用于将热蒸发腔体(2)内进行真空，所述热蒸发机构(5)位于热蒸发腔体(2)顶部，所述热蒸发机构(5)包括动力磁力转轴(51)、挡片(52)、母水冷电极(53)、多组子水冷电极(54)以及多个蒸发舟(55)，所述蒸发舟(55)分别连接在所述母水冷电极(53)与各组所述子水冷电极(54)之间，所述动力磁力转轴(51)的一端延伸至热蒸发腔体(2)内与挡片(52)连接，所述挡片(52)的上表面与蒸发舟(55)下表面在同一水平面上，所述动力磁力转轴(51)驱动所述挡片(52)在水平面上转动以使所述挡片(52)遮挡任一一个蒸发舟(55)。
2.根据权利要求1所述一种原位拉曼光谱检测的蒸发镀膜设备，其特征在于：所述热蒸发机构(5)还包括支架(56)、支撑板(57)、平移动力源(58)以及导向轴支座(59)，所述热蒸发腔体(2)上顶部设有开口，所述支撑板(57)设置在开口上且用于封闭开口，所述动力磁力转轴(51)、母水冷电极(53)以及多组子水冷电极(54)均固定连接在支撑板(57)上，且均穿过支撑板(57)，所述支架(56)位于膜厚检测机构(3)以及真空机构(4)上，所述平移动力源(58)位于支架(56)上，所述平移动力源(58)的输出端通过导向轴支座(59)连接在支撑板(57)中心处，所述平移动力源(58)驱动所述支撑板(57)在竖直方向上运动，以使所述热蒸发腔体(2)内部的动力磁力转轴(51)、母水冷电极(53)以及多组子水冷电极(54)靠近或远离镀膜室内的基片。
3.根据权利要求1所述一种原位拉曼光谱检测的蒸发镀膜设备，其特征在于：所述真空机构(4)包括法兰焊接管(41)、第二插板阀(42)、四通管(43)以及分子泵(44)，所述法兰焊接管(41)水平连接在热蒸发腔体(2)一侧壁上，所述第二插板阀(42)连接在法兰焊接管(41)与四通管(43)之间，所述分子泵(44)连接在四通管(43)上，所述四通管(43)的一端口上还设有冷阱连接部(45)以及位于冷阱连接部(45)上的液氮输液管(46)和氮气排出管(47)。
4.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：金炯，张金徽，王山，
申请(专利权)人：浙江赛威科光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33
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