坩埚制造技术

本实用新型专利技术公开了一种坩埚，包括坩埚本体、位于所述坩埚本体上的蒸发腔、包埋于所述坩埚本体内的加热元件、分别电性连接于所述加热元件两端的一对电极，所述加热元件位于所述蒸发腔的外周侧。本实用新型专利技术通过加热元件包埋于所述坩埚本体内，使得所述加热元件的外周壁与所述坩埚本体直接接触，在加热的过程中，直接通过所述坩埚本体向所述蒸发腔内进行热传递，热传递效果好；另外，所述坩埚的结构简单，便于生产，且产品良率高。

【技术实现步骤摘要】
坩埚
本技术涉及半导体制造
，特别是一种真空镀膜用的坩埚。
技术介绍
随着有机薄膜电致发光显示器件(OLED)、有机太阳能薄膜电池(OPV)等技术的发展，使得有机半导体材料的应用及需求越来越广泛。以上两种技术均需要解决有机材料在真空下加热蒸发的问题。现如今OLED照明器件主要通过蒸发镀膜的方法制备，在科研单位，高校很多科研人员在做OLED有机材料的蒸镀研究，推动了小型蒸镀设备的发展，提高研发效率并尽可能使研发设备简单，是开发小型蒸镀设备的一个重要依据。同时OPV的研发成果也正显示出其巨大的应用前景，其中有机层的制备方法有旋涂和真空蒸镀两种方法，未来有统一成真空蒸镀法的趋势。对于以上两种前沿技术而言，解决有机材料在真空中的蒸镀问题均尤为重要，开发出小型，节能，高效的蒸发坩埚是有机材料蒸镀的核心问题。如何设计一种结构简单，便于加工的坩埚是本领域亟待解决的重要问题之一。
技术实现思路
本技术的一个目的是提供一种结构简单、高效加热且便于小型化应用的坩埚。为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：<br>一种坩埚，包括本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种坩埚，其特征在于，包括：/n坩埚本体；/n位于所述坩埚本体上的蒸发腔；/n包埋于所述坩埚本体内的加热元件，所述加热元件位于所述蒸发腔的外周侧，所述加热元件位于所述坩埚本体背离所述蒸发腔的开口的一侧；/n分别电性连接于所述加热元件两端的一对电极。/n

【技术特征摘要】
1.一种坩埚，其特征在于，包括：
坩埚本体；
位于所述坩埚本体上的蒸发腔；
包埋于所述坩埚本体内的加热元件，所述加热元件位于所述蒸发腔的外周侧，所述加热元件位于所述坩埚本体背离所述蒸发腔的开口的一侧；
分别电性连接于所述加热元件两端的一对电极。


2.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述加热元件为螺旋状的加热丝。


3.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述加热元件为盘绕状的加热丝。


4.根据权利要求2或3所述的坩埚，其特征在于，所述加热丝为钨丝。


5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：武启飞，黄稳，廖良生，
申请(专利权)人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32