成膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种成膜装置，该成膜装置通过磁铁吸附掩膜而将掩膜固定在基板上，经由所述掩膜对所述基板进行成膜，其特征在于，所述成膜装置具备磁力施加机构，所述磁力施加机构包括：磁轭板；磁铁，所述磁铁安装在所述磁轭板的朝向蒸镀源侧的第一面上，用于隔着所述基板对掩模施加磁力；肋部，所述肋部直接设置在所述磁轭板的与所述第一面相反一侧的第二面上；以及磁场强度调整机构，所述磁场强度调整机构设置在所述磁轭板的所述第二面上，通过对所述磁轭板相对于所述基板的倾斜进行调整来调整磁场强度。

【技术实现步骤摘要】
成膜装置
本技术涉及一种成膜装置，尤其涉及一种成本低廉且能够容易调整磁轭板倾斜的成膜装置。
技术介绍
最近，作为平板显示装置，有机EL显示装置备受关注。有机EL显示装置的元件具备在两个相向的电极(阴极、阳极)之间形成有产生发光的有机物层的基本构造。有机EL显示装置元件的有机物层以及电极层以下述方式形成：使通过对设置在成膜装置的腔室的下部的蒸镀源进行加热而蒸发的蒸镀材料通过形成有像素图案的掩模而蒸镀于在腔室上部放置的基板的下表面。在这样的朝上蒸镀方式的成膜装置的腔室内，基板由基板保持架保持，在基板的上部设置有静电卡盘，通过向静电卡盘施加电压而使基板的上表面吸附于静电卡盘。通过使被静电卡盘吸附的基板相对于掩模在水平方向上相对移动，从而进行对基板和掩模的相对位置进行调节的对准工序。在将进行了上述对准的基板载置于掩模的上表面的状态下，使磁板从基板的上部下降并使磁板隔着静电卡盘与基板的上表面抵接。在磁板通过隔着基板向掩模施加磁力而使基板和掩模紧贴之前，利用使磁板等在水平方向上移动的对准台对磁板与掩模之间的水平相对位置进行调节。但是，该调节仅是对磁板与掩模在水平方向上的相对位置进行调节，没有考虑磁板相对于基板或掩模的倾斜问题。另外，近年来，随着有机EL显示装置的大面积化，基板、掩模以及用于向掩模施加磁力的磁板的面积也变大。这就导致安装磁板的磁轭板的面积也变大，而其厚度较薄，因此，磁轭板容易产生弯曲起伏等自身的变形，导致磁场不稳定、吸附性能产生偏差。为了使磁板能够均匀地向掩模施加磁力，获得良好的基板与掩模之间的紧贴精度，需要使磁板整面平整且相对于基板平行，因此，用于安装磁板的磁轭板也必须整面平整且平行于基板。为了解决这一问题，提出有如下方案：在磁轭板的安装磁铁的一侧的相反侧设置安装板以用于安装磁轭板，在安装板的上方设置肋结构来加强安装板的强度，在安装板和磁轭板分别设置对应的螺钉孔，通过螺钉将二者彼此固定。另外，在安装板与磁轭板之间还设置有磁轭板倾斜调节螺钉。在安装板设有用于安装该磁轭板倾斜调节螺钉的螺纹孔。将螺钉拧入安装板的螺纹孔并突出抵接于磁轭板，由此调节磁轭板与安装板之间的间隙，进而调节磁轭板相对于基板的倾斜。通过上述设置，能够以安装板与肋的刚性为基准，通过磁轭板倾斜调节螺钉来修正磁轭板的倾斜以及弯曲起伏等。但是，由于需要设置安装板及大量的磁轭板倾斜调节螺钉，因此用于调整磁轭板倾斜的结构的部件数量较多，成本较高，并且，需要同时对磁轭板的倾斜及弯曲起伏进行调整，操作工序也变得复杂，作业性变差。
技术实现思路
本技术是为了解决上述课题而作出的，其主要目的在于提供一种成本低廉且能够容易调整磁轭板倾斜的成膜装置。为了实现上述目的，本技术采用的技术方案如下：一种成膜装置，所述成膜装置通过磁铁吸附掩膜而将掩膜固定在基板上，经由所述掩膜对所述基板进行成膜，其特征在于，所述成膜装置具备磁力施加机构，所述磁力施加机构包括：磁轭板；磁铁，所述磁铁安装在所述磁轭板的朝向蒸镀源侧的第一面上，用于隔着所述基板对掩模施加磁力；肋部，所述肋部直接设置在所述磁轭板的与所述第一面相反一侧的第二面上；以及磁场强度调整机构，所述磁场强度调整机构设置在所述磁轭板的所述第二面上，通过对所述磁轭板相对于所述基板的倾斜进行调整来调整磁场强度。优选的是，所述肋部一体形成于所述磁轭板。优选的是，所述肋部包括：第一肋部，所述第一肋部配置在所述磁轭板的长度方向的两端部；以及第二肋部，所述第二肋部跨越所述磁轭板的中央部地配置在所述第一肋部之间。优选的是，所述磁场强度调整机构是具有螺纹机构的调整区块。优选的是，所述调整区块至少在所述磁轭板的角部设置有四处。优选的是，所述调整区块具备连结构件和用于安装并固定连结构件的连结构件安装部，通过使所述连结构件旋转来调整所述磁轭板相对于所述基板的倾斜。优选的是，所述连结构件包括螺栓和调整套筒，所述调整套筒在内部形成有供螺栓穿过的贯通孔，在外周面上形成有用于与悬挂框架的内螺纹接合的外螺纹，并且具有与所述螺栓的头部的下表面抵接的凸缘部。优选的是，在所述连结构件安装部形成有具有供所述螺栓接合的内螺纹部的凸台部，在所述连结构件安装部的端部设置有贯通孔，通过将螺钉穿过该贯通孔并紧固于所述磁轭板而将所述连结构件安装部固定于所述磁轭板。优选的是，经由与所述连结构件连结的所述悬挂框架而将所述磁轭板悬挂于所述腔室内。根据本技术的上述结构，通过将肋部直接设置在磁轭板上，从而极大地提高了磁轭板的强度及刚性，不用设置安装板就能够消除磁轭板自身的弯曲起伏，不再需要针对弯曲起伏进行调整。因此，可以省去增强磁轭板强度的安装板，从而可以减少磁力施加机构的部件数量，能够降低成本。另外，通过在磁轭板上设置上述那样的调整区块，仅通过对例如四处的调整区块进行操作就能够调整整个磁轭板的倾斜，能够简化磁轭板倾斜的调整操作，从而能够更加容易地使磁轭板相对于基板成为平行。由此，安装在磁轭板的朝向蒸镀源侧的第一面上的磁铁也会与基板成为平行，结果，磁铁相对于掩模产生的磁场均匀稳定，磁铁施加于掩模的磁力均匀稳定，能够使掩模均匀地吸附在基板上，从而提高成膜精度。附图说明图1是有机EL显示装置的生产线的一部分的示意图。图2是成膜装置的示意图。图3是省略了连结构件及悬挂框架等的本技术的磁力施加机构的立体图。图4是本技术的磁力施加机构中的磁场强度调整机构的剖视立体图。图5是本技术的磁力施加机构中的磁场强度调整机构的示意图。附图标记说明10:基板20:腔室21:基板保持台22:掩模保持台221：掩模23:基板吸附机构24:磁力施加机构241：磁轭板242：磁铁243：肋部2431：第一肋部2432：第二肋部244：磁场强度调整机构(调整区块)2441：连结构件2441a：调整螺栓2441b：调整套筒2442：连结构件安装部2442a：凸台部2442b：第一固定板部2442c：第二固定板部245：悬挂框架246：悬挂构件具体实施方式以下，参照附图说明本技术的优选的实施方式。不过，以下的实施方式仅是示例性示出本技术的优选结构，并未将本技术的范围限定于这些结构。图1是示意性示出有机EL显示装置的显示面板的生产线的结构的一部分的俯视图。如图1所示，电子设备的生产线一般具有多个成膜室11、12、输送室13。在输送室13内设有保持基板10并对其进行输送的输送机器人14。输送机器人14例如是具备在多关节臂上安装有保持基板的机械手的构造的机器人，向各成膜室进行基板10的输入/输出。在各成膜室11、12中分别设有成膜装置。与本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种成膜装置，所述成膜装置通过磁铁吸附掩膜而将掩膜固定在基板上，经由所述掩膜对所述基板进行成膜，其特征在于，/n所述成膜装置具备磁力施加机构，所述磁力施加机构包括：/n磁轭板；/n磁铁，所述磁铁安装在所述磁轭板的朝向蒸镀源侧的第一面上，用于隔着所述基板对掩模施加磁力；/n肋部，所述肋部直接设置在所述磁轭板的与所述第一面相反一侧的第二面上；以及/n磁场强度调整机构，所述磁场强度调整机构设置在所述磁轭板的所述第二面上，通过对所述磁轭板相对于所述基板的倾斜进行调整来调整磁场强度。/n

【技术特征摘要】
1.一种成膜装置，所述成膜装置通过磁铁吸附掩膜而将掩膜固定在基板上，经由所述掩膜对所述基板进行成膜，其特征在于，
所述成膜装置具备磁力施加机构，所述磁力施加机构包括：
磁轭板；
磁铁，所述磁铁安装在所述磁轭板的朝向蒸镀源侧的第一面上，用于隔着所述基板对掩模施加磁力；
肋部，所述肋部直接设置在所述磁轭板的与所述第一面相反一侧的第二面上；以及
磁场强度调整机构，所述磁场强度调整机构设置在所述磁轭板的所述第二面上，通过对所述磁轭板相对于所述基板的倾斜进行调整来调整磁场强度。


2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，
所述肋部一体形成于所述磁轭板。


3.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，
所述肋部包括：
第一肋部，所述第一肋部配置在所述磁轭板的长度方向的两端部；以及
第二肋部，所述第二肋部跨越所述磁轭板的中央部地配置在所述第一肋部之间。


4.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，
所述磁场强度调整机构是具有螺纹机构的调整区块。


5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：小川雄太，山根彻，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，
类型：新型
国别省市：日本;JP