本实用新型专利技术涉及薄膜成型技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括储料机构、送料机构和蒸发机构，储料机构包括储料腔体和储料加热单元，储料腔体的上端和下端分别设置有储料进料口和储料出料口，储料加热单元用于将固体材料加热至熔融态。送料机构包括连通器和送料加热单元，连通器的一端与储料出料口相连通，送料加热单元加热连通器内的熔融态材料。蒸发机构包括蒸发腔体，蒸发腔体的下端设置有与连通器的另一端相连通的蒸发进料口，蒸发腔体的上端设置有蒸发出料口，熔融态材料转化为气态，并从蒸发出料口排出，在此过程中，连通器一直处于动态平衡状态，确保材料不会长时间高温裂解，且能保证不开腔持续批量生产。
【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀装置
本技术涉及薄膜成型
，尤其涉及一种蒸镀装置。
技术介绍
目前，有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，简称OLED)又称为有机电激光显示，通常采用蒸镀设备制备OLED屏。蒸镀设备通过将有机材料和金属材料加热，并使之气化蒸发，以实现在玻璃基板上形成镀膜。OLED材料加热后有两类情况，第一类是直接升华，第二类是先熔化再蒸发。针对第二类先熔化再蒸发的材料，通常是对整个坩埚内的材料进行加热。然而长期的高温环境对材料的稳定性要求很高，在高温环境下对材料进行长时间的高温加热，容易造成材料的裂解，变质等，进而降低产品的良率和可靠性。此外，在蒸镀过程中，传统的补料方法为固定时间间隔定时补料，但由于蒸汽的产生和消耗受加热温度的影响较大，现有的补料方法不能够满足实际工况需求，容易造成缺料停机，严重影响工作效率。因此，亟待需要一种针对第二类有机蒸发材料进行处理的蒸镀装置以解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种蒸镀装置，以解决现有技术中在蒸镀过程中材料容易裂解变质以及不能实时补料，以及材料在坩埚或线源中的因余量变化带来吸热量变化导致的加热部件功率和蒸镀速率控制复杂等问题。为实现上述目的，提供以下技术方案：一种蒸镀装置，包括：储料机构，包括储料腔体和储料加热单元，所述储料腔体的上端设置有储料进料口，所述储料腔体的下端设置有储料出料口，所述储料腔体用于盛放待添加的固体材料，所述储料加热单元用于将所述固体材料加热至熔融态；r>送料机构，包括连通器和送料加热单元，所述连通器的一端与所述储料出料口相连通以使所述熔融态材料能够流入所述连通器，所述送料加热单元用于将所述连通器内的所述熔融态材料加热保持温度均匀；蒸发机构，包括蒸发腔体，所述蒸发腔体的下端设置有与所述连通器的另一端相连通的蒸发进料口，所述蒸发腔体的上端设置有蒸发出料口，所述送料机构输送来的材料能够进入所述蒸发腔体并转化为气态，所述气态材料从所述蒸发出料口排出。作为蒸镀装置的优选方案，所述储料腔体的出料口形状为上宽下窄的筒状，所述储料出料口设置在所述储料腔体的缩口端。作为蒸镀装置的优选方案，所述储料加热单元包括加热件，所述加热件设置在所述储料出料口处，用于将所述储料出料口处的固体材料加热至熔融态，以控制出料口的进料能力。作为蒸镀装置的优选方案，所述加热件为加热网，所述加热网设置在所述储料出料口处且其外壁与所述储料出料口的内壁固定连接，所述熔融态材料能够通过所述加热网上的网孔流入所述连通器。作为蒸镀装置的优选方案，所述加热件为加热板，所述加热板上设置有漏料孔，所述加热板设置在所述储料出料口处且其外壁与所述储料出料口的内壁固定连接，所述熔融态材料能够通过所述加热板上的漏料孔流入所述连通器。作为蒸镀装置的优选方案，所述漏料孔设置有挡片和驱动机构，所述驱动机构能够控制所述挡片遮挡所述漏料孔，以控制所述漏料孔的大小。作为蒸镀装置的优选方案，所述储料机构还包括震动件，所述震动件安装在所述储料腔体上，用于振动所述储料腔体以使所述储料腔体内的固体材料流至所述储料出料口处。作为蒸镀装置的优选方案，所述震动件设置在所述储料出料口处。作为蒸镀装置的优选方案，所述送料加热单元包括加热罩，所述加热罩包裹在所述连通器的外壁上。作为蒸镀装置的优选方案，所述蒸发机构还包括蒸发加热单元，所述蒸发加热单元包裹在所述蒸发腔体的外壁上。当所述蒸发腔体为点源蒸发腔体时，所述连通器的进料口高度大于所述连通器出料口的高度，且所述储料出料口的高度大于所述蒸发进料口的高度，所述储料出料口的高度小于所述蒸发出料口的高度；当所述蒸发腔体为线源蒸发腔体时，所述蒸发机构还包括加热腔体，所述线源蒸发腔体通过所述加热腔体与所述连通器的出料口相连通，且所述储料出料口的高度大于所述加热腔体的进料口的高度，所述储料出料口的高度小于所述加热腔体的出料口的高度。与现有技术相比，本技术的有益效果为：本技术提供的蒸镀装置，包括储料机构、蒸发机构和送料机构，通过送料机构中的连通器将储料机构中的储料腔体和蒸发机构中的蒸发腔体相连通，可实现系统的自动连续加料，使连通器一直处于动态平衡状态，确保材料不会长时间高温裂解，且能保证不开腔持续批量生产，能够提高工作效率。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对本技术实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本技术实施例的内容和这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例提供的第一种蒸镀装置的结构示意图；图2为本技术实施例提供的第二种蒸镀装置的结构示意图；图3为本技术实施例提供的第一种储料机构的结构示意图；图4为本技术实施例提供的第二种储料机构的结构示意图。附图标记：11-储料腔体；111-储料进料口；112-储料出料口；12-加热件；121-加热网；122-加热板；13-螺旋状震动件；14-震动件；211-蒸发进料口；212-蒸发出料口；213-点源蒸发腔体；214-线源蒸发腔体；215-加热腔体；221-点源蒸发加热单元；222-线源蒸发加热单元；31-连通器；32-送料加热单元。具体实施方式为了使本领域技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或是本产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，或者用于区分不同结构或部件，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。如图1-图2所示，本实施例提供了一种蒸镀装置，包括储料机构、蒸发机构和送料机构，其中，储料机构包括储料腔体11和储料加热单元，储料腔体11的上端设置有储料进料口111，储料腔体11的下端设置有储料出料口112，储料腔体11用于盛放待添加的固体材料，储料加热单元12用于将固体材料加热至熔融态。送料机构包括连通器31和送料加热单元32，连通器31的一端与本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：/n储料机构，包括储料腔体(11)和储料加热单元，所述储料腔体(11)的上端设置有储料进料口(111)，所述储料腔体(11)的下端设置有储料出料口(112)，所述储料腔体(11)用于盛放待添加的固体材料，所述储料加热单元用于将所述固体材料加热至熔融态；/n送料机构，包括连通器(31)和送料加热单元(32)，所述连通器(31)的一端与所述储料出料口(112)相连通以使所述熔融态材料能够流入所述连通器(31)，所述送料加热单元(32)用于将所述连通器(31)内的所述熔融态材料加热保持温度均匀；/n蒸发机构，包括蒸发腔体，所述蒸发腔体的下端设置有与所述连通器(31)的另一端相连通的蒸发进料口(211)，所述蒸发腔体的上端设置有蒸发出料口(212)，所述送料机构输送来的材料能够进入所述蒸发腔体并转化为气态，所述气态材料从所述蒸发出料口(212)排出。/n
【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：
储料机构，包括储料腔体(11)和储料加热单元，所述储料腔体(11)的上端设置有储料进料口(111)，所述储料腔体(11)的下端设置有储料出料口(112)，所述储料腔体(11)用于盛放待添加的固体材料，所述储料加热单元用于将所述固体材料加热至熔融态；
送料机构，包括连通器(31)和送料加热单元(32)，所述连通器(31)的一端与所述储料出料口(112)相连通以使所述熔融态材料能够流入所述连通器(31)，所述送料加热单元(32)用于将所述连通器(31)内的所述熔融态材料加热保持温度均匀；
蒸发机构，包括蒸发腔体，所述蒸发腔体的下端设置有与所述连通器(31)的另一端相连通的蒸发进料口(211)，所述蒸发腔体的上端设置有蒸发出料口(212)，所述送料机构输送来的材料能够进入所述蒸发腔体并转化为气态，所述气态材料从所述蒸发出料口(212)排出。
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述储料腔体(11)的出料口形状为上宽下窄的筒状，所述储料出料口(112)设置在所述储料腔体(11)的缩口端。
3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述储料加热单元包括加热件(12)，所述加热件(12)设置在所述储料出料口(112)处，用于将所述储料出料口(112)处的固体材料加热至熔融态，以控制出料口的进料能力。
4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热件(12)为加热网(121)，所述加热网(121)设置在所述储料出料口(112)处且其外壁与所述储料出料口(112)的内壁固定连接，所述熔融态材料能够通过所述加热网(121)上的网孔流入所述连通器(31)。
5.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王浩，祝晓钊，朱凯，梁舰，王徐亮，
申请(专利权)人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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