一种涂层机的靶材供料机构制造技术

本发明专利技术涉及涂层机技术领域，尤其公开了一种涂层机的靶材供料机构，包括机箱、与机箱可拆卸连接的第一供料单元，机箱设有容置腔，第一供料单元用于将外界的第一靶材蒸发成进入机箱内的靶材离子；第一供料单元包括与机箱可拆卸连接并用于承载第一靶材的第一载架、设置于第一载架并用于加热蒸发第一靶材的第一加热单元、用于冷却第一载架所承载的第一靶材的第一冷却单元、设置于第一载架并作用于第一靶材蒸发后的靶材离子的第一磁铁；借助第一冷却单元冷却第一靶材，避免第一靶材温度过高而炸裂；第一靶材蒸发后的靶材离子在第一磁铁的磁场中受洛伦兹力的筛选进入容置腔内沉积在容置腔内的刀具上，提升刀具的涂层良率。

【技术实现步骤摘要】
一种涂层机的靶材供料机构
本专利技术涉及涂层机
，尤其公开了一种涂层机的靶材供料机构。
技术介绍
在工件的加工处理过程中，刀具是各种加工设备常用的基本配件之一，例如，电子产品均需要使用内置电路板，钻针就是用于在内置电路板上钻孔的常用刀具之一，为了延长钻针等刀具的使用寿命，常常需要在刀具的外侧涂设涂层。现有技术中用于提供涂层材料的构造设计不合理，一方面因温度过高而产生炸裂安全隐患，另一方面容易因涂层材料混有较多杂质而导致刀具涂层不良。
技术实现思路
为了克服现有技术中存在的缺点和不足，本专利技术的目的在于提供一种涂层机的靶材供料机构，借助第一冷却单元冷却第一靶材，避免第一靶材温度过高而炸裂；第一靶材蒸发后的靶材离子在第一磁铁的磁场中受洛伦兹力的筛选进入容置腔内沉积在容置腔内的刀具上，提升刀具的涂层良率。为实现上述目的，本专利技术的一种涂层机的靶材供料机构，包括机箱、与机箱可拆卸连接的第一供料单元，机箱设有容置腔，第一供料单元用于将外界的第一靶材蒸发成进入机箱内的靶材离子；第一供料单元包括与机箱可拆卸连接并用于承载第一靶材的第一载架、设置于第一载架并用于加热蒸发第一靶材的第一加热单元、用于冷却第一载架所承载的第一靶材的第一冷却单元、设置于第一载架并作用于第一靶材蒸发后的靶材离子的第一磁铁。进一步地，所述第一供料单元还包括转动设置于第一载架的载具、用于驱动载具转动的驱动件，载具用于承载第一靶材。进一步地，所述载具设有贯穿载具的第一冷却流道，第一冷却单元用于驱动外界的冷却流体流经第一冷却流道对载具所承载的第一靶材冷却降温。进一步地，所述载具所承载的第一靶材设有与第一冷却流道连通的靶材凹孔。进一步地，所述第一磁铁呈环形，第一磁铁套设在载具的外侧。进一步地，所述靶材供料机构包括第二供料单元，第二供料单元包括与机箱可拆卸连接并用于承载第二靶材的第二载架、设置于第二载架的第二加热单元及第二磁铁、用于冷却第二载架所承载的第二靶材的第二冷却单元，第二载架设有用于容设第二靶材并与机箱的容置腔连通的锥形孔，锥形孔靠近机箱一端的孔径大于锥形孔远离机箱一端的孔径，第二加热单元用于加热蒸发第二载架所承载的第二靶材，第二磁铁作用于第二靶材蒸发后的靶材离子；第一靶材为条状体，第二靶材为板状体。进一步地，所述第二载架可拆卸连接有锥形件，锥形孔设置在锥形件上，锥形孔贯穿锥形件，锥形件用于将第二靶材压持在第二载架上，第二靶材遮盖锥形孔远离机箱一端的开口。进一步地，所述第二载架设有第二冷却流道，第二冷却单元用于驱动外界的冷却流体流经第二冷却流道对第二载架所承载的第二靶材冷却降温。进一步地，所述第二靶材与第二载架之间形成有与第二冷却流道连通的冷却容槽。进一步地，所述机箱可拆卸连接有抽真空设备，抽真空设备用于对机箱的容置腔抽真空。本专利技术的有益效果：实际使用时，将待涂层的刀具装入到机箱的容置腔内，第一供料单元加热蒸发后的靶材离子沉积在容置腔内的刀具上实现自动涂层处理，借助第一冷却单元冷却第一靶材，避免第一靶材温度过高而炸裂；第一靶材蒸发后的靶材离子在第一磁铁的磁场中受洛伦兹力的筛选进入容置腔内沉积在容置腔内的刀具上，提升刀具的涂层良率。附图说明图1为本专利技术的立体结构示意图；图2为本专利技术的第一供料单元的立体结构示意图；图3为本专利技术的第一供料单元的剖视图；图4为本专利技术的第二供料单元的立体结构示意图；图5为本专利技术的第二供料单元的剖视图。附图标记包括：1—机箱2—第一供料单元3—第一载架4—第一磁铁5—箱体6—箱盖7—载具8—第一冷却流道9—靶材凹孔11—第二供料单元12—第二载架13—锥形孔14—锥形件15—第二冷却流道16—冷却容槽17—抽真空设备111—容置腔211—第一靶材212—第二靶材。具体实施方式为了便于本领域技术人员的理解，下面结合实施例及附图对本专利技术作进一步的说明，实施方式提及的内容并非对本专利技术的限定。请参阅图1至图5所示，本专利技术的一种涂层机的靶材供料机构，包括机箱1、与机箱1可拆卸连接的第一供料单元2，机箱1经由多个金属板围设而成，机箱1大致为中空的长方体状，机箱1设置有容置腔111，第一供料单元2用于将外界的第一靶材211蒸发成进入机箱1内的靶材离子。第一供料单元2包括与机箱1可拆卸连接并用于承载第一靶材211的第一载架3、设置在第一载架3上并用于加热蒸发第一靶材211的第一加热单元、用于冷却第一载架3所承载的第一靶材211的第一冷却单元、设置在第一载架3上并作用于第一靶材211蒸发后的靶材离子的第一磁铁4。本实施例中，机箱1包括箱体5及与箱体5转动设置的箱盖6，箱盖6用于遮盖容置腔111的开口，优选地，箱盖6与箱体5之间的转动轴线沿竖直方向延伸设置，第一载架3安装设置在箱盖6上，第一载架3所承载的第一靶材211经由箱盖6靠近箱体5的一侧显露在容置腔111内。实际使用时，将待涂层的刀具装入到机箱1的容置腔111内，第一供料单元2加热蒸发后的靶材离子沉积在容置腔111内的刀具上实现自动涂层处理，借助第一冷却单元冷却第一靶材211，避免第一靶材211温度过高而炸裂；第一靶材211蒸发后的靶材离子在第一磁铁4的磁场中受洛伦兹力的筛选进入容置腔111内沉积在容置腔111内的刀具上，提升刀具的涂层良率。所述第一供料单元2还包括转动设置在第一载架3上的载具7、用于驱动载具7转动的驱动件，载具7用于承载第一靶材211。实际使用时，第一加热单元加热蒸发第一载具7所承载的第一靶材211，同时驱动件驱动载具7带动第一靶材211转动，使得第一靶材211的外侧面均匀蒸发形成靶材离子，提升第一靶材211供应靶材离子的均匀性，辅助提升刀具的涂层良率。所述载具7上设置有贯穿载具7的第一冷却流道8，第一冷却单元用于驱动外界的冷却流体流经第一冷却流道8对载具7所承载的第一靶材211冷却降温，根据实际需要，冷却流体可以为冷却水、冷却油或冷却气体等，当然，第一冷却单元配置有用于降低冷却流体的温度的制冷件。实际使用时，第一冷却单元输送的冷却流体流经第一冷却流道8，进而带走载具7所承载的第一靶材211的热量，实现对第一靶材211的降温处理，避免第一靶材211因温度过高而炸裂。所述载具7所承载的第一靶材211设有与第一冷却流道8连通的靶材凹孔9，本实施例中，靶材凹孔9沿第一靶材211的长度方向延伸设置，靶材凹孔9为设置在第一靶材211上的内孔，如此，第一冷却单元输送的冷却流体经由第一冷却流道8直接流入靶材凹孔9内对第一靶材211进行降温处理，确保第一靶材211降温处理的及时性。所述第一磁铁4呈环形，根据实际需要，第一磁铁4可以为圆环或矩形环，第一磁铁4套设在载具7的外侧。当第一加热单元将载具7所承载的第一靶材211加热蒸发成靶材离子后，第一磁铁4的磁场作用在靶材离子上，使得靶材离子在洛伦兹力的作用下发生移本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种涂层机的靶材供料机构，包括机箱、与机箱可拆卸连接的第一供料单元，机箱设有容置腔，第一供料单元用于将外界的第一靶材蒸发成进入机箱内的靶材离子；其特征在于：第一供料单元包括与机箱可拆卸连接并用于承载第一靶材的第一载架、设置于第一载架并用于加热蒸发第一靶材的第一加热单元、用于冷却第一载架所承载的第一靶材的第一冷却单元、设置于第一载架并作用于第一靶材蒸发后的靶材离子的第一磁铁。/n

【技术特征摘要】
1.一种涂层机的靶材供料机构，包括机箱、与机箱可拆卸连接的第一供料单元，机箱设有容置腔，第一供料单元用于将外界的第一靶材蒸发成进入机箱内的靶材离子；其特征在于：第一供料单元包括与机箱可拆卸连接并用于承载第一靶材的第一载架、设置于第一载架并用于加热蒸发第一靶材的第一加热单元、用于冷却第一载架所承载的第一靶材的第一冷却单元、设置于第一载架并作用于第一靶材蒸发后的靶材离子的第一磁铁。


2.根据权利要求1所述的涂层机的靶材供料机构，其特征在于：所述第一供料单元还包括转动设置于第一载架的载具、用于驱动载具转动的驱动件，载具用于承载第一靶材。


3.根据权利要求2所述的涂层机的靶材供料机构，其特征在于：所述载具设有贯穿载具的第一冷却流道，第一冷却单元用于驱动外界的冷却流体流经第一冷却流道对载具所承载的第一靶材冷却降温。


4.根据权利要求3所述的涂层机的靶材供料机构，其特征在于：所述载具所承载的第一靶材设有与第一冷却流道连通的靶材凹孔。


5.根据权利要求2所述的涂层机的靶材供料机构，其特征在于：所述第一磁铁呈环形，第一磁铁套设在载具的外侧。


6.根据权利要求1所述的涂层机的靶材供料机构，其特征在于：所述靶材供料机构包...

【专利技术属性】
技术研发人员：王俊锋，王锋，袁明，
申请(专利权)人：广东鼎泰机器人科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44