一种蒸镀设备和蒸镀方法技术

本发明专利技术实施例提供了一种蒸镀设备和蒸镀方法，该蒸镀设备包括：至少一个轨道、至少一个蒸发源和至少两个作业单元。蒸发源沿轨道运动，作业单元设置在轨道的正上方且各作业单元在轨道上的正投影不交叠，作业单元用于放置待蒸镀基板，蒸发源沿轨道运动时经过各作业单元下方一次。本申请提供的蒸镀设备，由于蒸发源经过各作业单元下方一次，避免现有技术中的蒸发源往、返经过两次作业单元，能够有效减小对待蒸镀基板的热辐射，从而进一步避免基板受损。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀设备和蒸镀方法
本专利技术涉及显示
，具体涉及了一种蒸镀设备和蒸镀方法。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)显示技术是一种极具发展前景的显示技术，利用该技术制作的显示面板具有自发光、超轻薄、宽视角、响应速度快、低功耗及可实现柔性显示等优点而被广泛应用于显示领域。OLED显示器件具体包括阳极、空穴传输层、发光层、电子传输层、阴极等基本膜层，各膜层通过真空蒸镀的方式在基板上成膜。然而，现有的蒸镀设备存在了对基板热辐射多而导致基板受损的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术实施例提供了一种蒸镀设备和蒸镀方法，以改善现有技术中的蒸镀设备存在的基板热辐射多的问题。本专利技术一实施例中提供了一种蒸镀设备，包括：至少一个轨道；至少一个蒸发源，所述蒸发源沿所述轨道运动；以及，至少两个作业单元，所述作业单元设置在所述轨道的正上方且各所述作业单元在所述轨道上的正投影不交叠，所述作业单元用于放置待蒸镀基板；其中，所述蒸发源沿所述轨道运动时经过各所述作业单元下方一次。在一个实施例中，所述轨道为闭合轨道。此种设置方式可以使得蒸发源可以在轨道上进行循环运动，避免了蒸发源在轨道上进行安装和拆卸所耗费的时间，提高了生产效率。在一个实施例中，所述轨道的形状包括矩形、圆形或三角形。此种设置方式提供了轨道的多种可实施方式。在一个实施例中，所述轨道为非闭合轨道，且所述蒸发源沿所述轨道运动的起点位于所述轨道的端点。此种设置方式可以方便的对蒸发源进行更换，同时可根据蒸镀设备设计非闭合轨道的运行路线，提高可行性。在一个实施例中，包括：两个所述轨道；和两个所述蒸发源，两个所述蒸发源与两个所述轨道一一对应设置。本实施例提供了蒸镀设备的一种可实施方式，两个蒸发源可用于蒸镀不同的物质，提高了蒸镀效率，减少了蒸镀腔室的数量。在一个实施例中，两个所述轨道均为闭合轨道；优选地，两个所述轨道同心设置。此种设置方式可有效提高设备的紧凑性，能最大限度的利用该蒸镀设备的内部空间。在一个实施例中，两个所述轨道均为非闭合轨道，且两个所述蒸发源沿所述轨道运动的起点分别位于两个所述轨道的端点。本实施例提供了蒸镀设备的轨道一种可实施方式。此种设置方式可以方便的对蒸发源进行更换，同时可根据蒸镀设备设计非闭合轨道的运行路线，提高可行性。在一个实施例中，两个所述轨道其中之一为闭合轨道，另一为非闭合轨道；沿所述非闭合轨道运动的蒸发源的运动起点位于所述非闭合轨道的端点。提供了蒸镀设备的轨道的一种可实施方式，可以有效减少相邻轨道间的相互干扰。本专利技术实施例还提供了一种蒸镀方法，包括：提供至少一个轨道、至少一个蒸发源和至少两个作业单元，所述作业单元设置在所述轨道的正上方且各所述作业单元在所述轨道上的正投影不交叠；将待蒸镀基板放置在所述作业单元上；启动所述蒸发源沿所述轨道运动，所述蒸发源沿所述轨道运动时经过各所述作业单元下方一次。提供了一种蒸镀方法的可实施方式。在一个实施例中，包括：提供至少两个所述轨道和至少两个所述蒸发源，至少两个所述蒸发源与至少两个所述轨道一一对应设置；所述启动所述蒸发源沿所述轨道运动的步骤包括，分别启动每个所述蒸发源沿所述轨道运动，可保证相邻两个蒸发源之间不会相互影响；优选地，相邻两个所述蒸发源的启动时间间隔为60s-180s，通过此种设置方式可有效在保证蒸发源蒸镀效率的基础上，能有效提高蒸发源的蒸镀质量。本专利技术实施例提供了一种蒸镀设备和蒸镀方法，该蒸镀设备包括：至少一个轨道、至少一个蒸发源和至少两个作业单元，蒸发源沿轨道运动，作业单元设置在轨道的正上方且各作业单元在轨道上的正投影不交叠，作业单元用于放置待蒸镀基板，蒸发源沿轨道运动时经过各作业单元下方一次。本申请的蒸镀设备，能够有效减小对待蒸镀基板的热辐射，从而进一步避免基板受损。附图说明图1所示为现有技术中的蒸镀设备的结构示意图。图2所示为本专利技术一实施例提供的一种蒸镀设备的结构示意图。图3所示为本专利技术一实施例提供的另一种蒸镀设备的结构示意图。图4所示为本专利技术一实施例提供的还一种蒸镀设备的结构示意图。图5所示为本专利技术一实施例提供的又一种蒸镀设备的结构示意图。图6所示为本专利技术一实施例提供的再一种蒸镀设备的结构示意图。图7所示为本专利技术一实施例提供的又一种蒸镀设备的结构示意图。图8所示为本专利技术一实施例提供的一种蒸镀方法的步骤示意图。附图标记：100-蒸镀设备；10-蒸发源；20-轨道；30-作业单元；40-基板；A-端点。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然所描述的实施例仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他的实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术，而不是指示所指的装置或元件必须具有特定的方位，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，下面所描述的本专利技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。专利技术人经过长期的研究发现，现有技术中的蒸镀设备存在对基板热辐射多而导致基板受损的问题。具体可参见图1，图1所示为现有技术中的蒸镀设备的结构示意图。该蒸镀设备100包括：蒸发源10、轨道20和作业单元30(port)，其中，作业单元30设置在轨道20的正上方，用于放置待蒸镀基板40(图中未示出)，蒸发源10可沿轨道20运动。示例性的，蒸发源10的运动方向如图1中的箭头方向所示，在其他实施例中，蒸发源10的运动方向还可以是箭头的反方向，具体可根据实际情况进行设置。该蒸发源10“U”型扫描的方式使得蒸发源10必须往、返经过两次作业单元30，增加了高温源对待蒸镀基板40的热辐射量，从而容易导致基板40受损。基于此，本申请提供了一种蒸镀设备和蒸镀方法，能够有效减小蒸发源对待蒸镀基板的热辐射，从而进一步避免基板受损，具体如下所示。本专利技术一实施例中提供了一种蒸镀设备，具体可参见图2，图2所示为本专利技术一实施例提供的一种蒸镀设备的结构示意图，该蒸镀设备100具体包括至少一个蒸发源10、至少一个轨道20和至少两个作业单元30。其中，作业单元30设置在轨道20的正上方，且用于放置待蒸镀基板40(图中未示出)，各作业单元30在轨道20上的正投影不交叠；蒸发源10可沿轨道20运动；蒸发源10沿轨道20运动时经过各作业单元30下方一次。示例性的，蒸发源10的运动方向如图2中的箭头方向所示，可见，蒸发源10的运动方向为顺时针方向，在其他实施例中，蒸发源10的运动方向本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：/n至少一个轨道；/n至少一个蒸发源，所述蒸发源沿所述轨道运动；以及，/n至少两个作业单元，所述作业单元设置在所述轨道的正上方且各所述作业单元在所述轨道上的正投影不交叠，所述作业单元用于放置待蒸镀基板；/n其中，所述蒸发源沿所述轨道运动时经过各所述作业单元下方一次。/n

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：
至少一个轨道；
至少一个蒸发源，所述蒸发源沿所述轨道运动；以及，
至少两个作业单元，所述作业单元设置在所述轨道的正上方且各所述作业单元在所述轨道上的正投影不交叠，所述作业单元用于放置待蒸镀基板；
其中，所述蒸发源沿所述轨道运动时经过各所述作业单元下方一次。


2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述轨道为闭合轨道。


3.根据权利要求1或2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述轨道的形状包括矩形、圆形或三角形。


4.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述轨道为非闭合轨道，且所述蒸发源沿所述轨道运动的起点位于所述轨道的端点。


5.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，包括：
两个所述轨道和两个所述蒸发源，两个所述蒸发源与两个所述轨道一一对应设置。


6.根据权利要求5所述的蒸镀设备，其特征在于，两个所述轨道均为闭合轨道；
优选地，两个所述轨道同心设置。


7.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：颜明哲，
申请(专利权)人：云谷固安科技有限公司，
类型：发明
国别省市：河北;13