【技术实现步骤摘要】
一种蒸发炉及双面镀膜装置
本技术属于蒸发镀膜
，特别涉及一种蒸发炉及双面镀膜装置。
技术介绍
现有的蒸发镀膜常用单面镀膜方式，在需要双面镀膜的场合，需要增加复杂的换面设备才能进行双面镀膜，势必增加设备占地面积和提高制造成本。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于，提供一种结构简单的蒸发炉及双面镀膜装置，在现有单面镀膜装置上进行改造就可以实现双面镀膜，占用体积小，制造成本低。本技术是这样实现的，提供一种蒸发炉，包括炉体和蒸发坩埚，蒸发坩埚设置在炉体内，炉体的顶面密闭，在炉体内设有加热丝，在炉体的底面设有炉体开孔，在蒸发坩埚的底面也设有与炉体开孔同轴的坩埚通孔，坩埚通孔位于待蒸镀部件上方，在蒸发坩埚内设有盛装蒸镀材料的坩埚容腔，位于坩埚容腔内的蒸镀材料的蒸发气体通过坩埚通孔和炉体开孔后向下沉积到部件表面并蒸镀沉积成所需要的镀层。进一步地，在坩埚容腔内设有对蒸镀材料进行搅拌的搅拌装置。进一步地，所述搅拌装置包括磁力控制系统和由多个磁力座和弹簧圈组成的磁力旋转座，弹簧圈套接在磁力座...
【技术保护点】
1.一种蒸发炉，其特征在于，包括炉体和蒸发坩埚，蒸发坩埚设置在炉体内，炉体的顶面密闭，在炉体内设有加热丝，在炉体的底面设有炉体开孔，在蒸发坩埚的底面也设有与炉体开孔同轴的坩埚通孔，坩埚通孔位于待蒸镀部件上方，在蒸发坩埚内设有盛装蒸镀材料的坩埚容腔，位于坩埚容腔内的蒸镀材料的蒸发气体通过坩埚通孔和炉体开孔后向下沉积到部件表面并蒸镀沉积成所需要的镀层。/n
【技术特征摘要】
1.一种蒸发炉，其特征在于，包括炉体和蒸发坩埚，蒸发坩埚设置在炉体内，炉体的顶面密闭，在炉体内设有加热丝，在炉体的底面设有炉体开孔，在蒸发坩埚的底面也设有与炉体开孔同轴的坩埚通孔，坩埚通孔位于待蒸镀部件上方，在蒸发坩埚内设有盛装蒸镀材料的坩埚容腔，位于坩埚容腔内的蒸镀材料的蒸发气体通过坩埚通孔和炉体开孔后向下沉积到部件表面并蒸镀沉积成所需要的镀层。
2.如权利要求1所述的一种蒸发炉，其特征在于，在坩埚容腔内设有对蒸镀材料进行搅拌的搅拌装置。
3.如权利要求2所述的一种蒸发炉，其特征在于，所述搅拌装置包括磁力控制系统和由多个磁力座和弹簧圈组成的磁力旋转座，弹簧圈套接在磁力座的外缘，在每个磁力座底部设置安装孔，在安装孔的底部设置有磁铁，对应地在蒸发坩埚上设置凸起的磁力棒，磁力座通过安装孔活动地套接在磁力棒上，在磁力棒底部所对应的炉体内设置磁力柱，磁力控制系统通过磁力柱变换磁力棒的极性，以驱动磁力旋转座绕其所在的磁力棒转动。
4.如权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：杭州纤纳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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