下载一种蒸发炉及双面镀膜装置的技术资料

文档序号:26452427

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本实用新型涉及一种蒸发炉,包括炉体和蒸发坩埚,蒸发坩埚设置在炉体内,炉体的顶面密闭,在炉体内设有加热丝,在炉体的底面设有炉体开孔,在蒸发坩埚的底面也设有与炉体开孔同轴的坩埚通孔,坩埚通孔位于待蒸镀部件上方,在蒸发坩埚内设有盛装蒸镀材料的坩埚...
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