一种蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置制造方法及图纸

本申请公开了一种蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置，蒸镀喷嘴包括喷嘴部和连接喷嘴部的过滤部，喷嘴部和过滤部为中空结构且过滤部的侧壁上设有多个连通孔。本申请蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置能够降低蒸镀颗粒从喷嘴部传输至基板上，同时也能够避免喷嘴被堵塞。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置
本申请涉及蒸镀工艺领域，特别是涉及一种蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置。
技术介绍
真空蒸镀法是在真空蒸镀机中放盛有有机物的坩埚，通过对其内部的电阻丝通电加热，使有机物蒸发或气化，然后向固定的基板附着并最终形成膜层。其中，蒸镀过程中的蒸发源为蒸镀点源装置，然而该蒸镀点源装置在蒸镀过程中容易产生蒸镀颗粒，该蒸镀颗粒蒸镀至基板上会导致蒸镀时长短、产品封装失效和外观不良，同时也会导致蒸镀喷嘴的堵塞。
技术实现思路
本申请提供一种蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置，以解决蒸镀过程中产生的蒸镀颗粒蒸镀至基板上导致蒸镀时长短、产品封装失效、外观不良以及蒸镀喷嘴堵塞的问题。为解决上述技术问题，本申请提出一种蒸镀喷嘴，包括：喷嘴部和连接喷嘴部的过滤部，喷嘴部和过滤部为中空结构且过滤部的侧壁上设有多个连通孔。其中，连通孔的开口大小在沿靠近喷嘴部的方向上逐渐增大。其中，过滤部包括至少两个阻挡板，至少两个阻挡板沿过滤部指向喷嘴部的方向上间隔设置于过滤部内部，阻挡板开设有多个通气孔。其中，相邻两个阻挡板上的通气孔在参考平面上的正投影彼此错位，参考平面垂直于从过滤部指向喷嘴部的方向。其中，各阻挡板的多个通气孔的分布密度沿过滤部指向喷嘴部的方向上依次增大；和/或各阻挡板的通气孔的开口大小沿过滤部指向喷嘴部的方向上依次增大。其中，蒸镀喷嘴还包括盖板组件，所述盖板组件为中空结构且与所述喷嘴部可拆卸连接；其中，盖板组件包括反射板，其中当盖板组件盖设于喷嘴部时反射板绕设于喷嘴部的外围。其中，喷嘴部和反射板呈锥台形。其中，喷嘴部设有第一扣合部，盖板组件还包括第二扣合部，第一扣合部和第二扣合部能够相互扣合。其中，连通孔为圆形孔或长条形孔。为解决上述技术问题，本申请提出一种蒸镀点源装置，包括如上述所述的蒸镀喷嘴和蒸镀坩埚，蒸镀喷嘴的过滤部嵌设于蒸镀坩埚内。本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请提供一种蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置，蒸镀喷嘴包括喷嘴部和连接喷嘴部的过滤部，喷嘴部和过滤部为中空结构，且过滤部的侧壁上设有多个连通孔，以允许过滤部外部的蒸镀气体经连通孔进入过滤部内部，并向喷嘴部传输。由于过滤部的筒壁阻挡，使得蒸镀颗粒较难从连通孔中输出，能够降低蒸镀颗粒从喷嘴部传输至基板上，同时也能避免蒸渡颗粒堵塞喷嘴部。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中：图1是本申请蒸镀喷嘴一实施例的爆炸示意图；图2是本申请过滤部第一实施例的主视图；图3是本申请过滤部第二实施例的主视图；图4是图3所示A-A的截面图；图5是图3所示B-B的截面图；图6是图3所示C-C的截面图；图7本申请盖板组件一实施例的立体图；图8是本申请蒸镀点源装置一实施例的爆炸示意图。附图标号：1、喷嘴部；11、第一扣合部；12、喷嘴口；2、过滤部；21、连通孔；3、第一阻挡板；31、中部区域；32、环形区域；321、第一通气孔；4、第二阻挡板；41、第二通气孔；5、第三阻挡板；51、遮挡部；52、辐条；53、第三通气孔；6、盖板组件；61、反射板；62、第二扣合部；7、蒸镀坩埚。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本申请的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对专利技术所提供的一种蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置做进一步详细描述。请参阅图1，图1是本申请蒸镀喷嘴一实施例的爆炸示意图。本实施例中蒸镀喷嘴包括喷嘴部1和过滤部2，喷嘴部1连接过滤部2，喷嘴部1和过滤部2为中空结构，即喷嘴部1和过滤部2处于连通状态，以使得蒸镀气体经过滤部2从喷嘴部1向基板传输。同时，过滤部2的侧壁上设有多个连通孔21，以允许过滤部2外部的蒸镀气体经连通孔21进入过滤部2内部，并向喷嘴部1传输。由于该蒸镀喷嘴和后续提及的蒸镀坩埚构成蒸镀点源装置，在蒸镀喷嘴用于蒸镀坩埚过程中，过滤部2插入至蒸镀坩埚的蒸发腔内。过滤部2的筒壁与蒸镀坩埚的侧壁之间间隔设置且不贴合，当过滤部2的筒壁上设置有多个连通孔21，以允许过滤部2外部的蒸镀气体经连通孔21进入过滤部2内部，并向喷嘴部1的喷嘴口12传输。由于蒸镀过程中，蒸镀颗粒速度和能量相对较大，过滤部2底部无连通孔21，使得大部分蒸镀颗粒直接碰撞过滤部2底部，而无法进入到过滤部2内部。但仍有少数部分蒸镀颗粒进入到过滤部2的筒壁与蒸镀坩埚的侧壁之间间隔内，由于连通孔21设置于过滤部2的筒壁阻挡，其方向与蒸镀颗粒速度方向不一致，使得蒸镀颗粒较难从连通孔21中输出，允许蒸镀气体从过滤部2外部进入过滤部2内部，并向喷嘴部1的喷嘴口12传输，从而降低蒸镀颗粒从喷嘴部1的喷嘴口12传输至基板上。上述连通孔21间隔设置于过滤部2的筒壁上，可以等间隔设置或不等间隔设置，连通孔21具体设置方式不做限定。请参阅图2，图2是本申请过滤部第一实施例的主视图。在一实施例中，结合图1，连通孔21为圆形孔或长条形孔，其中圆形孔或长条形孔均能降低蒸镀颗粒从过滤部2的侧壁蒸镀出蒸镀坩埚的概率；同时，也为蒸镀气体提供了多条蒸镀路径。当然，长条形孔还能够增大蒸镀气体流通量。优选的，圆形孔半径或长条形孔宽度小于等于3mm，能有效防止蒸镀颗粒直接从连通孔21中进入到喷嘴部1的喷嘴口12处。请继续参阅图1和图2，在蒸镀过程中，为了让更多的蒸镀气体从过滤部2进入到喷嘴部1的喷嘴口12传输，本实施例中连通孔21的开口大小即连通孔21的开口面积在沿靠近喷嘴部1的方向上逐渐增大，逐渐增大的连通孔21更利于传输更多的蒸镀气体。在实际过程中，由于位于过滤部2下部处的蒸镀颗粒相对较多，因此需要将连通孔21的开口大小设置成相对较小些，而由于连通孔21靠近喷嘴部1处存在蒸镀颗粒相对较少，因此需要将连通孔21的截面积设置成相对大些，以便于大量蒸镀气体通过，同时也能降低蒸镀颗粒从喷嘴部1的喷嘴口12传输至基板上，避免蒸渡颗粒堵塞喷嘴部1。当蒸镀喷嘴用于蒸镀坩埚的过程中，由于连通孔21的开口大小在靠近喷嘴部1的方向上逐渐增大，能够使蒸镀坩埚内的内压更加稳定，减小因内压太大而导致蒸镀不均匀的问题。在一实施例中，过滤部2包括至少两个阻挡板，至少两个阻挡板安装于过滤部2的内部。具体地，阻挡板固定于过滤部2内。至少两个阻挡板沿从过滤部2指向喷嘴部1的方向间隔设置于过滤部2内部，阻挡板开设有多个通气孔，以使得蒸镀颗粒依次先后直接碰撞阻挡板或通气孔、阻挡板等，从而降低蒸镀颗粒从喷嘴部1的喷嘴口12传输至基板上，同时也允许蒸镀气体从通气孔中传输到喷嘴部1的喷嘴口12处，为蒸镀气体提供了多条蒸镀路径。其中，阻挡板数量为两个、三个或者多个，其数量并不做限定。在蒸镀过程中，为了进一步避免蒸镀颗粒跟随本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀喷嘴，其特征在于，包括：/n喷嘴部和连接所述喷嘴部的过滤部，所述喷嘴部和所述过滤部为中空结构且所述过滤部的侧壁上设有多个连通孔。/n

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀喷嘴，其特征在于，包括：
喷嘴部和连接所述喷嘴部的过滤部，所述喷嘴部和所述过滤部为中空结构且所述过滤部的侧壁上设有多个连通孔。


2.根据权利要求1所述的蒸镀喷嘴，其特征在于，所述连通孔的开口大小在沿靠近所述喷嘴部的方向上逐渐增大。


3.根据权利要求1所述的蒸镀喷嘴，其特征在于，所述过滤部包括至少两个阻挡板，所述至少两个阻挡板沿所述过滤部指向所述喷嘴部的方向上间隔设置于所述过滤部内部，所述阻挡板开设有多个通气孔。


4.根据权利要求3所述的蒸镀喷嘴，其特征在于，相邻两个所述阻挡板上的通气孔在参考平面上的正投影彼此错位，所述参考平面垂直于从所述过滤部指向所述喷嘴部的方向。


5.根据权利要求3所述的蒸镀喷嘴，其特征在于，
各所述阻挡板的所述多个通气孔的分布密度沿所述过滤部指向所述喷嘴部的方向上依次增大；和/或
各所述阻挡板的所述通气...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄永振，张红信，王晓强，贾凯，陈闻凯，王会，赵景训，闵卿旭，
申请(专利权)人：云谷固安科技有限公司，
类型：发明
国别省市：河北;13