一种蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置制造方法及图纸

本申请公开了一种蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置，蒸镀喷嘴包括喷嘴部和连接喷嘴部的过滤部，喷嘴部和过滤部为中空结构且过滤部的侧壁上设有多个连通孔。本申请蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置能够降低蒸镀颗粒从喷嘴部传输至基板上，同时也能够避免喷嘴被堵塞。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置
本申请涉及蒸镀工艺领域，特别是涉及一种蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置。
技术介绍
真空蒸镀法是在真空蒸镀机中放盛有有机物的坩埚，通过对其内部的电阻丝通电加热，使有机物蒸发或气化，然后向固定的基板附着并最终形成膜层。其中，蒸镀过程中的蒸发源为蒸镀点源装置，然而该蒸镀点源装置在蒸镀过程中容易产生蒸镀颗粒，该蒸镀颗粒蒸镀至基板上会导致蒸镀时长短、产品封装失效和外观不良，同时也会导致蒸镀喷嘴的堵塞。
技术实现思路
本申请提供一种蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置，以解决蒸镀过程中产生的蒸镀颗粒蒸镀至基板上导致蒸镀时长短、产品封装失效、外观不良以及蒸镀喷嘴堵塞的问题。为解决上述技术问题，本申请提出一种蒸镀喷嘴，包括：喷嘴部和连接喷嘴部的过滤部，喷嘴部和过滤部为中空结构且过滤部的侧壁上设有多个连通孔。其中，连通孔的开口大小在沿靠近喷嘴部的方向上逐渐增大。其中，过滤部包括至少两个阻挡板，至少两个阻挡板沿过滤部指向喷嘴部的方向上间隔设置于过滤部内部，阻挡板开设有多个通气孔。其中，相邻两个阻挡板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀喷嘴，其特征在于，包括：/n喷嘴部和连接所述喷嘴部的过滤部，所述喷嘴部和所述过滤部为中空结构且所述过滤部的侧壁上设有多个连通孔。/n

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀喷嘴，其特征在于，包括：
喷嘴部和连接所述喷嘴部的过滤部，所述喷嘴部和所述过滤部为中空结构且所述过滤部的侧壁上设有多个连通孔。


2.根据权利要求1所述的蒸镀喷嘴，其特征在于，所述连通孔的开口大小在沿靠近所述喷嘴部的方向上逐渐增大。


3.根据权利要求1所述的蒸镀喷嘴，其特征在于，所述过滤部包括至少两个阻挡板，所述至少两个阻挡板沿所述过滤部指向所述喷嘴部的方向上间隔设置于所述过滤部内部，所述阻挡板开设有多个通气孔。


4.根据权利要求3所述的蒸镀喷嘴，其特征在于，相邻两个所述阻挡板上的通气孔在参考平面上的正投影彼此错位，所述参考平面垂直于从所述过滤部指向所述喷嘴部的方向。


5.根据权利要求3所述的蒸镀喷嘴，其特征在于，
各所述阻挡板的所述多个通气孔的分布密度沿所述过滤部指向所述喷嘴部的方向上依次增大；和/或
各所述阻挡板的所述通气...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄永振，张红信，王晓强，贾凯，陈闻凯，王会，赵景训，闵卿旭，
申请(专利权)人：云谷固安科技有限公司，
类型：发明
国别省市：河北;13