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一种蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置制造方法及图纸
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下载一种蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置的技术资料
文档序号:26409072
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本申请公开了一种蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置,蒸镀喷嘴包括喷嘴部和连接喷嘴部的过滤部,喷嘴部和过滤部为中空结构且过滤部的侧壁上设有多个连通孔。本申请蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置能够降低蒸镀颗粒从喷嘴部传输至基板上,同时也能够避免喷嘴被堵塞。...
该专利属于云谷(固安)科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过云谷(固安)科技有限公司授权不得商用。
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