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一种原位拉曼光谱检测的蒸发镀膜设备，包括端盖、热蒸发腔体、膜厚检测机构、热蒸发机构以及真空机构，端盖连接在镀膜室上，端盖上设有拉曼检测口、光电组件以及观察窗，热蒸发腔体位于端盖上，膜厚检测机构、膜厚检测机构用于检测基片镀膜的厚度，真空机构用...
该专利属于浙江赛威科光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江赛威科光电科技有限公司授权不得商用。

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