一种蒸镀装置制造方法及图纸

本申请公开了一种蒸镀装置，蒸镀装置包括盒体、若干个蒸镀源和若干个反射板，盒体设有上方为敞口的腔体；若干个蒸镀源位于腔体内，且若干个蒸镀源设置有若干个朝上的喷嘴；若干个反射板搭接于腔体内壁，反射板上表面设有敞口朝上且沿反射板长度方向延伸的反射凹槽，反射凹槽内开设有若干个贯通孔，若干个喷嘴从对应的若干个贯通孔中伸出且突出于反射板表面。本申请蒸镀装置能够阻止蒸镀物质生长于反射板上，进而能够阻止蒸镀物质层叠于喷嘴上。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀装置
本申请涉及蒸镀设备
，特别是涉及一种蒸镀装置。
技术介绍
蒸镀装置用于对蒸镀物质进行蒸发和喷射，以在基板上形成有机膜。然而，现有技术中的蒸镀装置存在蒸镀物质堆积造成喷嘴堵孔的问题。
技术实现思路
本申请提供一种蒸镀装置，以解决长时间蒸镀过程中，蒸镀物质堆积造成喷嘴堵孔的问题。为解决上述技术问题，本申请提出一种蒸镀装置，包括：盒体，设有上方为敞口的腔体；若干个蒸镀源，位于腔体内，且设置有朝上的若干个喷嘴；若干个反射板，搭接于腔体内壁，反射板上表面设有敞口朝上且沿反射板长度方向延伸的反射凹槽，反射凹槽内开设有若干个贯通孔，若干个喷嘴从对应的若干个贯通孔中伸出且突出于反射板表面。其中，反射凹槽的敞口在反射板宽度方向上的宽度大于等于69mm，且小于等于79mm。此种设置方式可进一步阻止蒸镀物质搭接于喷嘴处。其中，反射凹槽的槽底在反射板宽度方向上的宽度大于等于46mm，且小于等于55mm。此种设置方式可进一步阻止蒸镀物质搭接于喷嘴处。其中，反射凹槽在反射板宽度方向的纵截面形状为倒置等腰梯形。此种设置方式有利于均匀化地降低蒸镀物质对喷嘴的影响。其中，贯通孔在反射板宽度方向的宽度大于等于25mm，且小于等于29mm。通过将贯通孔设置在此范围内，便于将喷嘴设置于其中。其中，反射板包括第一反射区域、第二反射区域和第三反射区域，第二反射区域位于第一反射区域和第三反射区域之间，第一反射区域和第三反射区域为两层反射板层，第二反射区域为小于等于三层反射板层。提供了反射板的一种可实施方式。其中，第二反射区域为三层反射板层。此种设置方式使得腔体内的温度达到能够将蒸镀物质蒸发。其中，蒸镀装置包括：冷却板，至少部分覆盖反射板外周，冷却板上形成有至少一个冷却槽，反射板部分区域、反射凹槽、贯通孔和喷嘴均位于冷却槽内。其中，冷却槽在反射板长度方向的长度大于等于1297mm，且小于等于1307mm；和/或，冷却槽在反射板宽度方向的宽度大于等于88mm，且小于等于98mm。此种设置方式通过增大冷却槽的面积，将反射板上正对冷却槽周围的蒸镀物质挥发，防止蒸镀物质从冷却槽周围向中间喷嘴处层叠。其中，喷嘴突出于反射板表面的高度大于等于13mm，且小于等于15mm。此种设置方式能在避免蒸镀物质蒸镀的角度发生变化的基础上进一步降低蒸镀物质搭接于喷嘴上。本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请提供一种蒸镀装置，在反射板上表面设有敞口朝上且沿反射板长度方向延伸的反射凹槽，反射凹槽内开设有若干个贯通孔，若干个喷嘴从对应的若干个贯通孔中伸出且突出于反射板表面，增大了喷嘴与反射板上表面之间的间隔距离，以阻止蒸镀物质在反射板其宽度方向上的堆积。通过上述方式，能够阻止蒸镀物质生长于反射板上，进而能够阻止蒸镀物质层叠于喷嘴上。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中：图1是本申请蒸镀装置第一实施例的立体示意图；图2是本申请蒸镀装置第二实施例的截面图；图3是本申请反射板第一实施例的平面图；图4是本申请反射板第二实施例的局部立体图；图5是本申请反射板第三实施例的爆炸示意图；图6是本申请冷却板第一实施例的平面图；图7是本申请冷却板第二实施例的立体图。附图标号：1、盒体；11、腔体；2、蒸镀源；21、喷嘴；3、反射板；31、反射凹槽；32、贯通孔；33、第一反射区域；34、第二反射区域；35、第三反射区域；4、冷却板；41、冷却槽；5、反射框架；6、角度限位板。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本申请的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对专利技术所提供的一种蒸镀装置做进一步详细描述。专利技术人长期研究发现，在长时间的蒸镀过程中，蒸镀物质极易生长，爬到喷嘴口上，出现蒸镀物质堵孔，影响有机膜厚度的均一性，进而导致色坐标(chromaticitycoordinate，CIE)超出产品规格，色偏(JustNoticeableColorDifference，JNCD)超出规格，最终导致产品报废；同时，出现堵孔难以通过其他方法进行重新校准膜厚，只能开腔进行人为处理，影响整体的蒸镀时长，导致产能下降，发生时会造成大批量产品报废。基于此，本申请提供了一种蒸镀装置，以解决上述问题，具体如下所示。请参阅图1、图2、图3和图4，图1是本申请蒸镀装置第一实施例的立体示意图；图2是本申请蒸镀装置第二实施例的截面图(未示出反射凹槽)；图3是本申请反射板第一实施例的平面图；图4是本申请反射板第二实施例的局部立体图。本实施例蒸镀装置包括盒体1和若干个蒸镀源2，盒体1设有上方为敞口的腔体11，若干个蒸镀源2位于腔体11内，蒸镀源2内放置有蒸镀物质，用于在基板上形成有机膜。其中蒸镀源2可以为线性蒸镀源等。若干个蒸镀源2设置有若干个朝上的喷嘴21，加热升温后的蒸镀物质从喷嘴21蒸镀于基板上，蒸镀源2上的喷嘴21数量可以为一个或者多个，其数量根据实际情况进行设定。蒸镀装置还包括若干个反射板3，若干个反射板3搭接于腔体11内壁。当蒸镀装置只蒸镀一种蒸镀物质时，可以为一个腔体，其中反射板搭接于腔体两侧上，当然也可以设置多个腔体，只蒸镀一种蒸镀物质。当蒸镀装置蒸镀多种蒸镀物质时，盒体1内的腔体11分隔成多个不同的分腔体，每个分腔体内设置有对应的蒸镀源2，每个分腔体内壁搭接反射板3。蒸镀装置中的腔体和反射板数量在此不做限定。由于反射板3其宽度方向短于其长度方向，使得反射板3其宽度方向上极易堆积蒸镀物质，慢慢地蒸镀物质会搭接于喷嘴21上，因此本实施例在反射板3上表面设有反射凹槽31，其中反射凹槽31呈敞口朝上且沿反射板3长度方向延伸，以阻止蒸镀物质在反射板3其宽度方向上的堆积。具体地，通过在反射凹槽31内开设有若干个贯通孔32，若干个喷嘴21从对应的若干个贯通孔32中伸出，增大了喷嘴21与反射板3上表面之间间隔距离，蒸镀物质先堆积于反射凹槽31内。而反射凹槽31内设置有贯通孔32，贯通孔32与腔体11连通，腔体11内部分热量通过贯通孔32直接对堆积于反射凹槽31中部分蒸镀物质进行加热，使之蒸发，进而阻止蒸镀物质在喷嘴21处堆积，从而阻止蒸镀物质层叠于喷嘴21上，防止喷嘴21堵孔。同时，本实施例中若干个喷嘴21突出于反射板3表面，使得蒸镀物质达到一定高度后，才能实现蒸镀物质在喷嘴21的搭接，进而可进一步阻止蒸镀物质搭接于喷嘴21处。上述贯通孔32的大小需要根据喷嘴21数量以及其分布情况而设定。如蒸镀源上喷嘴21数量为两端密集而中间稀疏时，分布于反射凹槽31上两端贯通孔32的大小大于其中间贯通孔32的大小，在此不做限定，只要贯通孔32能够配合喷嘴21即可。为了本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：/n盒体，设有上方为敞口的腔体；/n若干个蒸镀源，位于所述腔体内，且设置有朝上的若干个喷嘴；/n若干个反射板，搭接于所述腔体内壁，所述反射板上表面设有敞口朝上且沿所述反射板长度方向延伸的反射凹槽，所述反射凹槽内开设有若干个贯通孔，所述若干个喷嘴从对应的所述若干个贯通孔中伸出且突出于所述反射板表面。/n

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：
盒体，设有上方为敞口的腔体；
若干个蒸镀源，位于所述腔体内，且设置有朝上的若干个喷嘴；
若干个反射板，搭接于所述腔体内壁，所述反射板上表面设有敞口朝上且沿所述反射板长度方向延伸的反射凹槽，所述反射凹槽内开设有若干个贯通孔，所述若干个喷嘴从对应的所述若干个贯通孔中伸出且突出于所述反射板表面。


2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述反射凹槽的敞口在所述反射板宽度方向上的宽度大于等于69mm，且小于等于79mm。


3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述反射凹槽的槽底在所述反射板宽度方向上的宽度大于等于46mm，且小于等于55mm。


4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述反射凹槽在所述反射板宽度方向的纵截面形状为倒置等腰梯形。


5.根据权利要求1-4任一所述的蒸镀装置，其特征在于，所述贯通孔在所述反射板宽度方向的宽度大于等于25mm，且小于等于29mm。


6.根据权利要求1-4...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾凯，黄永振，
申请(专利权)人：云谷固安科技有限公司，
类型：发明
国别省市：河北;13