蒸镀设备及其补料方法技术

本发明专利技术提供了一种蒸镀设备及其补料方法。所述蒸镀设备包括操作室、坩埚、熔融装置、质量监控装置以及补料控制装置。所述蒸镀设备通过质量监控装置和补料控制装置实现了坩埚内剩余蒸镀材料的质量监测以及自动进行补料程序。并且通过熔融装置预先熔融补充的蒸镀材料，防止补充的蒸镀材料对坩埚内的温度产生影响。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀设备及其补料方法
本专利技术涉及显示
，特别是一种蒸镀设备及其补料方法。
技术介绍
在OLED器件制作过程中，需要用到蒸镀制程，通过坩埚将金属材料熔融并形成蒸汽，将金属蒸汽通过掩膜版沉积在基板上，制成薄膜结构。在蒸镀过程中，需要不断将金属原材料投入坩埚中，以产生稳定的金属蒸汽，而蒸镀制程一般都在真空环境中进行，传统的补料方法为固定间隔时间进行补料。一般蒸镀腔体内含多个金属材料及坩埚，多种材料一起蒸镀，金属材料加料是一次加完料待材料蒸发完后开腔加料，由于蒸镀金属材料时，温度大于1000℃，当一种材料蒸镀完后，需降温开腔加材料，金属腔体降温慢，更换坩埚重新加材料以及生产周期较长，影响产能。有了解到在蒸镀金属材料(如Al)时，采用单独的喂料机构完成自动补料，但是对坩埚喂料时候难以保证坩埚材料受热变化量及蒸镀速率稳定，需要在补料以后手动调节功率匹配并需要长时间稳定。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种蒸镀设备及其补料方法，以解决现有技术中蒸镀设备需要人工进行补料，以及坩埚喂料时候难以保证坩埚材料受热变化量及蒸镀速率稳定，需要在补料以后手动调节功率匹配并需要长时间稳定等问题。为实现上述目的，本专利技术提供一种蒸镀设备，所述蒸镀设备包括操作室、坩埚、熔融装置、质量监控装置以及补料控制装置。所述操作室为真空腔室。所述坩埚设于所述操作室内，其用于加热气化蒸镀材料。所述熔融装置与所述坩埚连通。在熔融装置与所述坩埚之间具有一阀门。所述质量监控装置设置在所述坩埚上，所述质量监控装置用以监控所述坩埚内的蒸镀材料的质量数据并判断是否补料。所述补料控制装置与所述质量监控系统电连接，所述补料控制装置用以获取和处理所述质量监控装置发送的补料信息，并根据所述补料信息控制所述熔融装置向所述坩埚中补充所需量的熔融状态的蒸镀材料。进一步地，所述质量监控装置包括电位感应器以及第一数据处理单元。所述电位感应器设于所述坩埚的底端，所述电位感应器用以根据所述坩埚的质量变化生成对应的电参数。所述第一数据处理单元用以将所述电参数转换为蒸镀材料的质量数据，并根据质量数据判断当前质量是否低于预设临界值，若是，则生成补料信息并发送至补料控制装置。进一步地，所述补料控制装置包括质量监测器、阀门控制器以及第二数据处理单元。所述质量监测器设置在所述阀门处，所述质量检测器用于监控所述阀门通过的补料的质量，生成输送数据。所述阀门控制器与所述阀门连接，所述阀门控制器用于控制所述阀门的开启和关闭。所述第二数据处理单元用于获取所述质量监控装置发送的补料信息，并根据所述补料信息计算出需求量，并向所述阀门控制器发送开启信号，打开所述阀门进行补料。补料时，所述第二数据处理单元获取所述输送数据，并根据所述输送数据判断是否达到需求量，若是，则发送关闭信号至所述阀门控制器，关闭所述阀门停止补料。进一步地，所述熔融装置包括一加热炉、一进料口以及一出料口。所述加热炉具有至少一加热腔室。所述进料口设于所述加热炉上。所述出料口设于所述加热炉上并与所述阀门连接。进一步地，所述加热炉包括一炉体、一加热层以及一保温层。所述炉体包围形成所述加热腔室。所述加热层包围所述炉体。所述保温层包围所述加热层。进一步地，所述补料控制装置中还包括温度控制器，所述温度控制器与所述加热层连接，所述温度控制器用于控制所述加热炉的温度。所述进料口和所述出料口对应设于所述加热炉的两侧。从所述进料口到所述出料口，所述加热炉依次设有多个加热腔室。从所述进料口到所述出料口，所述加热腔室的温度依次递增。本专利技术中还提供一种蒸镀设备的补料方法，所述补料方法包括：操作室为真空状态，坩埚在所述操作室中进行蒸镀作业。熔融装置熔融蒸镀材料。所述质量监控装置监控所述坩埚内的蒸镀材料的质量数据并判断是否补料，若是，发送补料信息至补料控制装置。所述补料控制装置根据所述补料信息控制阀门的开启和关闭。当所述阀门打开，输送所述熔融装置内的蒸镀材料至所述坩埚内。当所述阀门关闭，停止输送所述熔融装内的置蒸镀材料至所述坩埚内。进一步地，所述质量监控装置监控所述坩埚内蒸镀材料步骤中包括：电位感应器感应所述坩埚中蒸镀材料的质量变化，并生成对应电参数。第一数据处理单元内设定一预设临界值。所述第一数据处理单元获取所述电参数并转换为蒸镀材料的质量数据，将所述质量数据与所述预设临界值进行比较。若所述质量数据低于所述预设临界值，则生成补料信息并发送至补料控制装置。进一步地，所述补料控制装置根据所述补料信息控制所述阀门的开启和关闭步骤中包括：第二数据处理单元获取所述补料信息，发送开启信号至所述阀门控制器，所述阀门控制器打开阀门进行补料。所述第二数据处理单元根据所述补料信息计算得出需求量。质量监测器监控所述阀门处通过的蒸镀材料质量，生成输送数据。所述第二数据处理单元获取所述输送数据，并将所述输送数据与所述需求量进行比较。当所述输送数据等于所述需求量时，所述第二数据处理单元发出关闭信号至所述阀门控制器，所述阀门控制器关闭所述阀门，停止补料。本专利技术的优点是：本专利技术的一种蒸镀设备，通过设计质量监控装置实现了坩埚内剩余蒸镀材料的质量监测，以及通过设计补料控制装置实现了自动进行补料程序，无需人为操作进行补料，解放了大量人力资源。并且所述蒸镀设备还设计了熔融装置，通过熔融装置预先熔融补充的蒸镀材料，防止补充的蒸镀材料对坩埚内的温度产生影响，保证了坩埚内材料受热稳定，提升了蒸镀速率。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例中蒸镀设备的连接结构示意图；图2为本专利技术实施例中加热炉的截面结构示意图；图3为本专利技术实施例中补料方法的流程示意图。图中部件表示如下：坩埚1；熔融装置2；加热炉21；炉体211；加热层212；保温层213；加热腔室214A、214B、214C；进料口22；出料口23；阀门3；质量监控装置4；电位感应器41；第一数据处理单元42；补料控制装置5；质量监测器51；阀门控制器52；第二数据处理单元53；温度控制器54。具体实施方式以下参考说明书附图介绍本专利技术的优选实施例，证明本专利技术可以实施，所述专利技术实施例可以向本领域中的技术人员完整介绍本专利技术，使其
技术实现思路
更加清楚和便于理解。本专利技术可以通过许多不同形式的专利技术实施例来得以体现，本专利技术的保护范围并非仅限于文中提到的实施例。在附图中，结构相同的部件以相同数字标号表示，各处结构或功能相似的组件以相似数字标号表示。附图所示的每一部件的尺寸和厚度是任意示出的，本专利技术并没有限定每个组件的尺寸和厚度。为了使图示更清晰，附图中有些地方适当夸大了部件的厚度。此外，以本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：/n操作室，其为真空腔室；/n坩埚，设于所述操作室内，其用于加热气化蒸镀材料；/n熔融装置，与所述坩埚连通；/n阀门，设于所述熔融装置与所述坩埚之间；/n质量监控装置，设置在所述坩埚上，用以监控所述坩埚内的蒸镀材料的质量数据并判断是否补料；/n补料控制装置，与所述质量监控系统电连接，所述补料控制装置用以获取和处理所述质量监控装置发送的补料信息，并根据所述补料信息控制所述熔融装置向所述坩埚中补充所需量的熔融状态的蒸镀材料。/n

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：
操作室，其为真空腔室；
坩埚，设于所述操作室内，其用于加热气化蒸镀材料；
熔融装置，与所述坩埚连通；
阀门，设于所述熔融装置与所述坩埚之间；
质量监控装置，设置在所述坩埚上，用以监控所述坩埚内的蒸镀材料的质量数据并判断是否补料；
补料控制装置，与所述质量监控系统电连接，所述补料控制装置用以获取和处理所述质量监控装置发送的补料信息，并根据所述补料信息控制所述熔融装置向所述坩埚中补充所需量的熔融状态的蒸镀材料。


2.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述质量监控装置包括：
电位感应器，设于所述坩埚的底端，所述电位感应器用以根据所述坩埚的质量变化生成对应的电参数；
第一数据处理单元，用以将所述电参数转换为蒸镀材料的质量数据，并根据质量数据判断当前质量是否低于预设临界值，若是，则生成补料信息并发送至补料控制装置。


3.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述补料控制装置包括：
质量监测器，设置在所述阀门处，所述质量检测器用于监控所述阀门通过的补料的质量，生成输送数据；
阀门控制器，与所述阀门连接，用于控制所述阀门的开启和关闭；
第二数据处理单元，用于获取所述质量监控装置发送的补料信息，并根据所述补料信息计算出需求量，并向所述阀门控制器发送开启信号，打开所述阀门进行补料；
补料时，所述第二数据处理单元获取所述输送数据，并根据所述输送数据判断是否达到需求量，若是，则发送关闭信号至所述阀门控制器，关闭所述阀门停止补料。


4.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述熔融装置包括：
加热炉，其具有至少一加热腔室；
进料口，设于所述加热炉上；
出料口，设于所述加热炉上并与所述阀门连接。


5.如权利要求4所述的蒸镀设备，其特征在于，所述加热炉包括：
一炉体，包围形成所述加热腔室；
一加热层，包围所述炉体；
一保温层，包围所述加热层。


6.如权利要求5所述的蒸镀...

【专利技术属性】
技术研发人员：张磊，
申请(专利权)人：TCL华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44