一种衬底基板沉积面朝上放置的有机真空沉积系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种衬底基板沉积面朝上放置的有机真空沉积系统，包括真空腔体，所述真空腔体的底部贯穿有样品架，所述样品架的表面与真空腔体固定连接，所述样品架的顶部固定连接有衬底基板，所述衬底基板的顶部活动连接有薄膜沉积衬底，所述薄膜沉积衬底的顶部活动连接有遮挡板。本实用新型专利技术通过衬底基板、薄膜沉积衬底、遮挡板和样品架的配合使用，能够实现解决有机功能器件中使用遮挡板过程中遮挡板因重力而变形，从而导致图案失真的情况，而且有利于放置多个任意形状的衬底而无需固定，能够方便地取放样品，更好的增加了装置的便利性，提高了纳米镀膜工作的效率，更好的增加了装置的实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种衬底基板沉积面朝上放置的有机真空沉积系统
本技术涉及纳米镀膜
，具体为一种衬底基板沉积面朝上放置的有机真空沉积系统。
技术介绍
纳米镀膜是一种汽车镀膜美容，其漆面保护效果十分明显，可以避免车漆氧化，达到漆面增亮、抗酸碱、抗氧化、抗紫外线等多重功效，现有的有机真空沉积系统在有机功能器件中遮挡板会因重力而变形，从而导致图案失真，而且样品需要固定，取放困难。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种衬底基板沉积面朝上放置的有机真空沉积系统，具备在使用遮挡板的过程中不受重力影响且取样方便的优点，解决了现有的有机真空沉积系统在有机功能器件中遮挡板会因重力而变形，从而导致图案失真，而且样品需要固定，取放困难的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种衬底基板沉积面朝上放置的有机真空沉积系统，包括真空腔体，所述真空腔体的底部贯穿有样品架，所述样品架的表面与真空腔体固定连接，所述样品架的顶部固定连接有衬底基板，所述衬底基板的顶部活动连接有薄膜沉积衬底，所述薄膜沉积衬底的顶部活动连接有遮挡板。优选的，所述样品架的形本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种衬底基板沉积面朝上放置的有机真空沉积系统，包括真空腔体(1)，其特征在于：所述真空腔体(1)的底部贯穿有样品架(2)，所述样品架(2)的表面与真空腔体(1)固定连接，所述样品架(2)的顶部固定连接有衬底基板(3)，所述衬底基板(3)的顶部活动连接有薄膜沉积衬底(4)，所述薄膜沉积衬底(4)的顶部活动连接有遮挡板(5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种衬底基板沉积面朝上放置的有机真空沉积系统，包括真空腔体(1)，其特征在于：所述真空腔体(1)的底部贯穿有样品架(2)，所述样品架(2)的表面与真空腔体(1)固定连接，所述样品架(2)的顶部固定连接有衬底基板(3)，所述衬底基板(3)的顶部活动连接有薄膜沉积衬底(4)，所述薄膜沉积衬底(4)的顶部活动连接有遮挡板(5)。


2.根据权利要求1所述的一种衬底基板沉积面朝上放置的有机真空沉积系统，其特征在于：所述样品架(2)的形状为长方体，所述衬底基板(3)的形状为长方体，且样品架(2)底面的长度和宽度均小于衬底基板(3)的长度和宽度。


3.根据权利要求1所述的一种衬...

【专利技术属性】
技术研发人员：王燕东，王文冲，迟力峰，
申请(专利权)人：苏州驰鸣纳米技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32