【技术实现步骤摘要】
一种真空样品台
一种真空样品台。
技术介绍
传统的样品台一般都固定安装于真空中，不便于样品的取放。另外，一些实验还需要将样品上的电极外连进行原位电学测量，需要一定的操作空间。
技术实现思路
为解决现有技术中的问题，本技术提供以下技术方案：一种真空样品台，包括真空腔、样品放置台、伸缩杆、磁耦合驱动装置和抽空装置，其特征在于，所述伸缩杆套接于所述磁耦合驱动装置内，所述磁耦合驱动装置于所述真空腔的侧壁密封连接，所述伸缩杆远离所述磁耦合驱动装置的一端设置有所述样品放置台，远离所述磁耦合驱动装置一端的所述真空腔侧壁设有可开闭的密封门，所述伸缩杆通过所述磁耦合驱动装置的控制伸缩和旋转，并且可通过所述密封门伸出所述真空腔，所述真空腔顶部设有观察窗，所述抽空装置设于所述真空腔侧壁。进一步地，所述磁耦合驱动装置包括磁耦合电机和连接管，所述伸缩杆套接并贯穿所述连接管，所述连接管于所述伸缩杆接触面密封处理。进一步地，所述真空腔为非透明遮光的304不锈钢材质。进一步地，所述观察窗与所述真空腔的接触面设有密封垫...
【技术保护点】
1.一种真空样品台，包括真空腔（1）、样品放置台（2）、伸缩杆（3）、磁耦合驱动装置（4）和抽空装置（5），其特征在于，所述伸缩杆（3）套接于所述磁耦合驱动装置（4）内，所述磁耦合驱动装置（4）与所述真空腔（1）的侧壁密封连接，所述伸缩杆（3）远离所述磁耦合驱动装置（4）的一端设置有所述样品放置台（2），远离所述磁耦合驱动装置（4）一端的所述真空腔（1）侧壁设有可开闭的密封门（11），所述伸缩杆（3）通过所述磁耦合驱动装置（4）的控制伸缩和旋转，并且可通过所述密封门（11）伸出所述真空腔（1），所述真空腔（1）顶部设有观察窗（12），所述抽空装置（5）设于所述真空腔（1）侧壁。/n
【技术特征摘要】
1.一种真空样品台，包括真空腔（1）、样品放置台（2）、伸缩杆（3）、磁耦合驱动装置（4）和抽空装置（5），其特征在于，所述伸缩杆（3）套接于所述磁耦合驱动装置（4）内，所述磁耦合驱动装置（4）与所述真空腔（1）的侧壁密封连接，所述伸缩杆（3）远离所述磁耦合驱动装置（4）的一端设置有所述样品放置台（2），远离所述磁耦合驱动装置（4）一端的所述真空腔（1）侧壁设有可开闭的密封门（11），所述伸缩杆（3）通过所述磁耦合驱动装置（4）的控制伸缩和旋转，并且可通过所述密封门（11）伸出所述真空腔（1），所述真空腔（1）顶部设有观察窗（12），所述抽空装置（5）设于所述真空腔（1）侧壁。
2.根据权利要求1所述的一种真空样品台，其特征在于，所述磁耦合驱动装置（4）包括磁耦合电机（41）和连接管（42），所述伸...
【专利技术属性】
技术研发人员：王燕东，王文冲，迟力峰，
申请(专利权)人：苏州驰鸣纳米技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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