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一种真空样品台制造技术
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下载一种真空样品台的技术资料
文档序号:24199705
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一种真空样品台,包括真空腔、样品放置台、伸缩杆、磁耦合驱动装置和真空泵系统,其特征在于,所述伸缩杆套接于所述磁耦合驱动装置内,所述磁耦合驱动装置于所述真空腔的侧壁密封连接,所述伸缩杆远离所述磁耦合驱动装置的一端设置有所述样品放置台,远离所述...
该专利属于苏州驰鸣纳米技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州驰鸣纳米技术有限公司授权不得商用。
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