【技术实现步骤摘要】
一种真空蒸发源加热组件
本技术涉及电加热
，具体涉及一种真空蒸发源加热组件。
技术介绍
有机镀膜系统是将待成膜的有机分子置于坩埚中在真空下加热使其气化蒸发，最终在工件或基片表面成核生长成膜的过程。在蒸镀过程中，传统的蒸发源加热丝在加热时容易变形导致加热不均匀，且蒸发源加热丝常暴露在外，容易接触其他部位，引起短路。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种带有绝缘壳体、能稳定加热的真空蒸发源加热组件。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种真空蒸发源加热组件，包括加热丝、导线和绝缘壳体，所述加热丝绕成螺旋状，并密封在绝缘壳体内，所述导线置于绝缘壳体外，所述绝缘壳体上设有用于固定加热丝和导线连接时预留的凹槽，所述绝缘壳体内中间靠近加热丝处设有温度传感器。进一步的，所述绝缘壳体为石英材质。进一步的，所述加热丝为钨丝、钨丝合金等高熔点金属。进一步的，所述加热丝外接温度控制器来控制蒸发源温度。本技术的有益效果是：在传统的蒸发源加热丝外套上了绝缘壳体，加热丝...
【技术保护点】
1.一种真空蒸发源加热组件，包括加热丝、导线和绝缘壳体，其特征在于：所述加热丝绕成螺旋状，并密封在绝缘壳体内，所述导线置于绝缘壳体外，所述绝缘壳体上设有用于固定加热丝和导线连接时预留的凹槽，所述绝缘壳体内中间靠近加热丝处设有温度传感器。/n
【技术特征摘要】
1.一种真空蒸发源加热组件，包括加热丝、导线和绝缘壳体，其特征在于：所述加热丝绕成螺旋状，并密封在绝缘壳体内，所述导线置于绝缘壳体外，所述绝缘壳体上设有用于固定加热丝和导线连接时预留的凹槽，所述绝缘壳体内中间靠近加热丝处设有温度传感器。
2.根据权利要求1所述的一种真空蒸发...
【专利技术属性】
技术研发人员：王燕东，王文冲，迟力峰，
申请(专利权)人：苏州驰鸣纳米技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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