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一种真空蒸发源加热组件，包括加热丝、导线和绝缘壳体，其特征在于：所述加热丝绕成螺旋状，并密封在绝缘壳体内，所述导线置于绝缘壳体外，所述绝缘壳体上设有用于固定加热丝和导线连接时预留的凹槽，所述加热丝外接温度控制器来控制蒸发源温度，所述绝缘壳体...
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